ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π ΠΌΠΈΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π½Π΅ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠΎΠ»Ρ Π΄Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. ΠΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΠΌΡΠΉ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π° ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ Si (ΠΎΡ Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ silicium), ΡΡΠΎΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠΎΡΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅, ΡΡΡΡΠΏΠ°Ρ Π»ΠΈΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ. ΠΠ»Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°, ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠ° ΠΏΠΎ Π»ΠΈΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ Π°Π±ΡΡΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ», Π° ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², ΠΎΡ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ³ΡΠ½Π° Π΄ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ².
ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Si ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ Π»ΠΈΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ. ΠΠ΅Π· ΡΡΠ΅ΡΠ° Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ³ΡΠ½ΠΎΠ². ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ, Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π»ΠΈ ΡΡΠ³ΡΠ½ ΠΌΡΠ³ΠΊΠΈΠΌ ΠΈ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ, ΠΈΠ»ΠΈ ΠΆΠ΅ ΠΎΠ½ ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ Π±Π΅Π»ΡΠΌ ΠΈ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΌ, Π½Π΅ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ Π»ΠΈΡΡΡ.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π», Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ. Π ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΎΠ½ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ΅ΡΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π±Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ, ΡΡΡΡΠΏΠ°Ρ Π»ΠΈΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Ρ ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Si ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 1414 Β°C, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠΌ Π΄Π»Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ², Π½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ Π² ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ .
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°: ΠΎΠ½ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ ΠΊ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΈΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π²ΡΡΠ΅ 800 Β°C ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiOβ), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π°ΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»ΡΡΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π°ΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅, Π³Π΄Π΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π°Π½Π½Ρ.
Π£Π½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ. Π ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π΅ ΠΎΠ½ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ, Π° ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΡΠΎ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ: ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, Π²Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ Π·Π΅ΡΠ½Π° ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·.
Π ΠΎΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΠ³ΡΠ½Π° ΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΈ
Π ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ Si ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ²-ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½Π΅Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π±ΡΠ°ΠΊΡ. Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°Ρ Π΅Π³ΠΎ Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π²ΡΠΏΠ»ΡΠ²Π°ΡΡ Π² ΡΠ»Π°ΠΊ. ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½ΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.
ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΡΠ΅ΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠ³ΡΠ½Ρ, Π³Π΄Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°ΡΡ 3-4%. ΠΠ΄Π΅ΡΡ ΠΎΠ½ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ β ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° Π² ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΡΠ°ΡΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ. ΠΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ ΡΡΠ³ΡΠ½Ρ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ Π³Π°ΡΠΈΡΡ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΆΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ, ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΡΠ°Π½Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΈΡΠ°, ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡΡ Π±Π΅Π»ΡΠΉ ΡΡΠ³ΡΠ½, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π°ΡΠΊΠ΅ ΡΡΠ³ΡΠ½Π° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Si Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠΊΠΈ. Π Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ ΠΈ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΉ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½Ρ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ³ΡΠ½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Ρ Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΠ³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ Π² Π΄ΡΠ³Π΅.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ°Π»ΠΈ Π²ΡΡΠ΅ 0,5% Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ Π΅Π΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ²Π°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ, Π΄Π΅Π»Π°Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½ ΠΏΡΠΈ Π±ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ : ΠΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ
Π ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ². ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ° Si ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠΈΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΎΠΊ. Π‘ΠΏΠ»Π°Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ-ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½) β ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π° Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ.
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π΄Π²Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠ° ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ΅ΡΠ²Π°Ρ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° β Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ, Π³Π΄Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Si ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎ 12%. ΠΠ½ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΎΡΠ°Ρ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° β Π·Π°ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΡ 12% Π΄ΠΎ 20% ΠΈ Π²ΡΡΠ΅. ΠΠ½ΠΈ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ (ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ) ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π°ΡΡΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ½ΡΠΈΡ. ΠΡΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΈΠ³Π»ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π½Π° Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½ΠΈΡΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΡΡ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠ΅Π· ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΡ Π·Π°ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠ»Π°Π² Π±ΡΠ» Π±Ρ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² Π½Π°Π³ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ·Π»Π°Ρ , ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΡΡΠ½ΠΈ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ.
βοΈ ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π°
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π»ΠΈΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ
ΠΠΈΡΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Si ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ². ΠΠ·-Π·Π° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΠΈ (Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅) ΠΈ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ Π»ΠΈΠΊΠ²Π°ΡΠΈΠΈ (ΡΠ°ΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°. Π‘Π»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΠΈ, Π° ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ β ΠΊ Π½Π΅Π΄ΠΎΠ»ΠΈΠ²Π°ΠΌ ΠΈ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΡΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½Π°ΠΌ.
ΠΡΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΡΠ³ΡΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ² Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ. Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ Π±ΡΡΡΡΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π±ΡΡΡΡΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΡ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ.
Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΡ ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠΈ Si Π½Π° ΡΡΠ°Π΄ΠΊΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. Π‘ΠΏΠ»Π°Π²Ρ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΡ ΠΏΡΠΈ Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠ΄Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠΈΡΡΡΠΌ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π»ΡΡ. ΠΡΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΡΠ²Π°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ
ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (>2%) Π² ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ Π³ΠΎΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π°ΡΠΊΠ΅ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠΊ Π² ΠΌΠ΅ΠΆΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅. Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΠ3) Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π²ΡΠ³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Π²ΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΠΎΡΡΡ, Π½Π΅ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Si ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². Π ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Β«ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠΌΒ» β ΠΎΠ½ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΠΊΡΠΎΡΠΈΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΊΠ°ΡΠΊΠ΅.
Π Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΡΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ, Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΡΠΊΠ° ΠΈΠ· SiOβ. ΠΡΠ»ΠΈ ΡΡΠ° ΠΊΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΊΡ, ΠΎΠ½Π° ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡΡ ΠΎΡΠ°Π³ΠΎΠΌ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ.
ΠΡΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ Π² ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ³ΠΎΡΠ°ΡΡ Π±ΡΡΡΡΠ΅Π΅, ΡΠ΅ΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΡΠΈΡ ΡΡ: Π·Π°ΠΊΠ»Π°Π΄Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡ Si Ρ Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ. Π Π°ΡΡΠ΅Ρ Π²Π΅Π΄Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
| Π’ΠΈΠΏ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° | Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Si (%) | ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° | ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ |
|---|---|---|---|
| Π‘Π΅ΡΡΠΉ ΡΡΠ³ΡΠ½ | 2.0 β 4.0 | Π₯ΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ, Π³Π°ΡΠΈΡ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΈ | ΠΠ»ΠΎΠΊΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΎΠ², ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ½Ρ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠ² |
| Π‘ΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ (ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ) | 11 β 13 | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ, Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΠΎΡΡΡ | ΠΠΎΡΠΏΡΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΡΡΡΠΊΠΈ |
| Π‘ΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ (Π·Π°ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ) | 16 β 20 | ΠΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ | ΠΠΎΡΡΠ½ΠΈ ΠΠΠ‘, ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ |
| ΠΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΠ°Π»Ρ | 0.1 β 0.5 | ΠΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ | ΠΡΠΌΠ°ΡΡΡΠ°, Π±Π°Π»ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ° |
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ Π·Π°ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°ΠΌΠΈ (Si > 12%) ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡΡ (ΡΡΡΠΎΠ½ΡΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΡΡΠΈΠΉ), ΠΈΠ½Π°ΡΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΊΠ° Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π³ΡΡΠ±ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄ΠΈΡΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΠΈΡ ΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ°, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΈΠ΄Ρ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΡΡ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΡ.
ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π½Π°ΡΠΊΠ° ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ . ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΡ (SiC), ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Silicon Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π²ΡΡΠ΅ 1000 Β°C, Π³Π΄Π΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ ΡΠΆΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π²ΡΡΡΡ.
Π ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΡΠ±Π΅ΡΠ΅ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π‘Π²ΠΎΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΎΠ½ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅Ρ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π² Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π°ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΠΈ, Π³Π΄Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ.
Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π»ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ 3D-ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ Ρ Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Si, Π³Π΄Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ, Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ β ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ·Π»ΠΎΠ² Π±Π΅Π· ΡΠ²Π°ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ.
ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ, Π° ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΌΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΠΠ‘Π’ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ. ΠΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΌΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π·Π°ΠΊΡΠΏΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡ ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠΊΠΎΠΉ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΎΠΊ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Si ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΡΡΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ. ΠΠ³ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΈΠ³Π½ΠΎΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, Π½ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅. ΠΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°, Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Ρ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π±Π°Π»ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΡΡΠ°.
ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ Ρ Si Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π΅, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠ°ΠΌ ΠΈΠ·Π±Π΅Π³Π°ΡΡ Π±ΡΠ°ΠΊΠ°, ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ Π²ΡΡΠΎΡΠ°ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°. ΠΡΠ΄Ρ ΡΠΎ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ½Ρ ΠΈΠ· ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π°, ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³Π° Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ.
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ. ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΈΡΡ Π·Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π² ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈ Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΡΡΠ°Π²Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ°ΠΊΠΎΠ²Π° ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΡΠ΅ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ³ΡΠ½Π° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ?
ΠΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΡΠ΅ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ³ΡΠ½Π° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (3-4%) ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 1450-1500 Β°C. ΠΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, Π° ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ β ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π²ΡΠ³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Ρ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΡΡΠ΄Π½Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ?
ΠΠ·-Π·Π° Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ². ΠΠ½ΠΈ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΈΠ·Π½Π°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΡΡΡΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠ²Π°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π»ΠΈ?
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ²Π°, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠ΅ 0,5-0,8% ΠΎΠ½ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½ Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π±ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π° ΠΈ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½ΠΎ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ?
ΠΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ β ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² (Π½Π°ΡΡΠΈΡ, ΡΡΡΠΎΠ½ΡΠΈΡ) Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΈΠ³ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠΉ Π½Π° Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½ΠΈΡΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΡΡ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°.