ЭлСктронная конфигурация ΠΈ атомная структура

Π’ основС соврСмСнной микроэлСктроники Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ элСмСнт, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ часто Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Β«ΠΏΠΈΡ‰Π΅ΠΉΒ» для Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ»ΡŽΡ†ΠΈΠΈ β€” ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. ПониманиС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ этот ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π² производствС процСссоров, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ погруТСния Π² Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ. Атом крСмния, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ порядковый Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€ 14 Π² пСриодичСской Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ распрСдСлСниСм элСктронов ΠΏΠΎ энСргСтичСским уровням, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ опрСдСляСт всС Π΅Π³ΠΎ физичСскиС ΠΈ химичСскиС свойства.

Π€ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ элСктронная Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π° крСмния записываСтся ΠΊΠ°ΠΊ 1sΒ² 2sΒ² 2p⁢ 3sΒ² 3pΒ². Π­Ρ‚Π° запись Π½Π΅ просто пСрСчисляСт количСство элСктронов, ΠΎΠ½Π° раскрываСт структуру Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, Π³Π΄Π΅ находятся Π΄Π²Π° элСктрона Π½Π° 3s-ΠΎΡ€Π±ΠΈΡ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ Π΄Π²Π° Π½Π° 3p-орбиталях. ИмСнно эти Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… элСктрона Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΊΠ°Π½Π΄ΠΈΠ΄Π°Ρ‚ΠΎΠΌ для создания ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… структур, способных ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ элСктричСским Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ с нСвСроятной Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

Если Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌ Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ состоянии, ΠΎΠ½ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ сСбя ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ частица с ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ энСргиСй ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Однако Π² Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅Π»Π΅, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ пластины, ситуация ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСняСтся. Атомы Π²Ρ‹ΡΡ‚Ρ€Π°ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ³ΡƒΡŽ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ, ΠΈ ΠΈΡ… внСшниС элСктроны Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‚ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ, образуя ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ связи.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ЭлСктронная конфигурация Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ΅ отличаСтся ΠΎΡ‚ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ структуры Π² кристаллС. НС ΠΏΡƒΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ Ρ‚Π΅ΠΎΡ€Π΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Ρƒ с Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ элСктронов Π² Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅Π»Π΅.

ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ являСтся Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρƒ крСмния Ρ€ΠΎΠ²Π½ΠΎ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… элСктрона. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт Π΅ΠΌΡƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€Π°ΡΠ΄Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ структуру, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ Π°Ρ‚ΠΎΠΌ связан с Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€ΡŒΠΌΡ сосСдями. Вакая симмСтрия обСспСчиваСт Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ кристалла ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ энСргСтичСских ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ°Ρ….

Гибридизация ΠΎΡ€Π±ΠΈΡ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ кристалличСская Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ°

Когда Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ крСмния ΡΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ для формирования кристалла, происходит процСсс, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΎΡ€Π±ΠΈΡ‚Π°Π»Π΅ΠΉ. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ с 3s-подуровня ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π½Π° ΠΏΡƒΡΡ‚ΡƒΡŽ 3p-ΠΎΡ€Π±ΠΈΡ‚Π°Π»ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ… эквивалСнтных Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΡ€Π±ΠΈΡ‚Π°Π»Π΅ΠΉ spΒ³. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс критичСски Π²Π°ΠΆΠ΅Π½, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ Π²Ρ‹Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ всСх Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… элСктронов ΠΈ позволяСт ΡΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ связи.

Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠΌ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ становится алмазоподобная кубичСская Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ°. Π’ этой структурС ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ Π°Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€ΡŒΠΌΡ сосСдями, располоТСнными Π² Π²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΠ½Π°Ρ… тСтраэдра. Вакая гСомСтрия ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΡ‚Ρ‚Π°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ элСктронными ΠΎΠ±Π»Π°ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ обСспСчиваСт ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Π² ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΌ монокристаллС. ИмСнно эта Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ° слуТит Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ для всСх микросхСм.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ связСй Π² Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ΅ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ зависит ΠΎΡ‚ энСргии, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ для ΠΈΡ… Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π°. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ нСдостаточно для Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π° всСх связСй, поэтому чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ сСбя ΠΊΠ°ΠΊ диэлСктрик ΠΈΠ»ΠΈ слабый ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ. Однако ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ свСтом элСктроны ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ для ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости.

Π­Ρ‚ΠΎ явлСниС Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π² основС Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ΄Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ солнСчных Π±Π°Ρ‚Π°Ρ€Π΅ΠΉ. Если Π²Ρ‹ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Π΅Ρ‚Π΅ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскиС свойства ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ° Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ spΒ³ являСтся ΠΎΡ‚ΠΏΡ€Π°Π²Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ для Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π»ΡŽΠ±Ρ‹Ρ… примСсных эффСктов.

πŸ“Š Какой аспСкт структуры крСмния Π²Π°ΠΌ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ интСрСсСн?
Гибридизация ΠΎΡ€Π±ΠΈΡ‚Π°Π»Π΅ΠΉ
Зонная структура
ВСмпСратурная ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ
ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ

Зонная тСория ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ ΠΎΡ‚ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΠΈ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅Π»Π°, ΠΌΡ‹ сталкиваСмся с понятиСм Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹. Π’ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ΅ элСктроны Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ дискрСтныС энСргСтичСскиС ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΠΈ, Π½ΠΎ Π² кристаллС эти ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΠΈ Ρ€Π°ΡΡ‰Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½Ρ‹Π΅ полосы, ΠΈΠ»ΠΈ Π·ΠΎΠ½Ρ‹. Для крСмния Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ 1.12 эВ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 300 К.

Π­Ρ‚Π° Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° являСтся Β«Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ сСрСдиной» для элСктроники. Если Π±Ρ‹ Π·ΠΎΠ½Π° Π±Ρ‹Π»Π° слишком ΡƒΠ·ΠΊΠΎΠΉ, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π²Π΅Π» Π±Ρ‹ сСбя ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, ΠΈ транзисторы Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³Π»ΠΈ Π±Ρ‹ Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ. Если Π±Ρ‹ ΠΎΠ½Π° Π±Ρ‹Π»Π° слишком ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΉ, ΠΊΠ°ΠΊ Ρƒ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΈΠ»ΠΈ крСмния, для пробоя Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π±Ρ‹ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Π΅ напряТСния. Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·ΠΎΠ½Ρ‹ 1.12 эВ позволяСт эффСктивно ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ элСктронов, создавая логичСскиС состояния Β«0Β» ΠΈ Β«1Β».

ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ кристалла Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ элСктронов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ, ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости. На мСстС ΡƒΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠ΅Π³ΠΎ элСктрона образуСтся Π΄Ρ‹Ρ€ΠΊΠ° β€” ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ заряда. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Π² чистом ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ количСство элСктронов ΠΈ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ всСгда ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ опрСдСляСт Π΅Π³ΠΎ свойства ΠΊΠ°ΠΊ собствСнного ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ микросхСмы собствСнныС носитСли заряда ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ устройства ΠΈΠ· строя.

ПониманиС Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ структуры Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ для расчСта характСристик ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ транзисторов. Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ эти Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ для модСлирования повСдСния ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… напряТСниях ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°Ρ…, обСспСчивая Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ слоТных ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм.

πŸ’‘

ΠŸΡ€ΠΈ расчСтС Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° Ρ‡ΠΈΠΏΠ° всСгда ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ с ростом Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ собствСнная ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ крСмния растСт ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΡŽ.

Π›Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктронных свойств

Чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ сам ΠΏΠΎ сСбС ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π΅Π½ для элСктроники, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ слишком ΠΌΠ°Π»Π° ΠΈ Π½Π΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Π°. Магия происходит ΠΏΡ€ΠΈ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ примСсСй β€” процСссС, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Добавляя Π² ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… элСмСнтов, ΠΌΡ‹ ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСняСм количСство свободных носитСлСй заряда.

Если ввСсти Π² ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ пятивалСнтных элСмСнтов (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, фосфор P ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΡ‹ΡˆΡŒΡΠΊ As), Ρƒ Π½ΠΈΡ… появится ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ «лишний» элСктрон, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π΅ смоТСт ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ участиС Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… связСй. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ элСктрон становится свободным ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ пСрСмСщаСтся ΠΏΠΎ кристаллу. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» называСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ n-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° (ΠΎΡ‚ negative), Π³Π΄Π΅ основными носитСлями ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ элСктроны.

Напротив, Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов (Π±ΠΎΡ€ B, Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ Ga, ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ In) создаСт «нСдостаток» элСктрона, Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΊΡƒ. Π’ этом случаС основным носитСлСм заряда становится Π΄Ρ‹Ρ€ΠΊΠ°, ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π°Π΅Ρ‚ свойства ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° p-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° (ΠΎΡ‚ positive). ИмСнно комбинация областСй n-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΈ p-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹, транзисторы ΠΈ слоТныС логичСскиС элСмСнты.

ΠšΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ примСсСй опрСдСляСт ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ проводимости. МалСйшиС измСнСния Π² количСствС Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² примСси ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π½Π° порядки. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°ΠΌ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ Π½Π°ΡΡ‚Ρ€Π°ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ, ΠΎΡ‚ ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… силовых ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅ΠΉ Π΄ΠΎ высокочастотных усилитСлСй.

β˜‘οΈ ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ процСсса лСгирования

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° свойств крСмния ΠΈ Π΅Π³ΠΎ примСсСй

Для наглядности сравним основныС физичСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ чистого крСмния ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΉ с Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Π­Ρ‚ΠΈ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ микросхСм ΠΈ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ΅ ΠΈΡ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… характСристик.

ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ с фосфором (n-Ρ‚ΠΈΠΏ) ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ с Π±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ (p-Ρ‚ΠΈΠΏ)
Основной Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ заряда Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΈ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΊΠΈ (Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»-Π²ΠΎ) Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Ρ‹ Π”Ρ‹Ρ€ΠΊΠΈ
ΠŸΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктронов (см²/В·с) ~1400 ~1350 ~480
ΠŸΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ (см²/В·с) ~450 ΠšΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ ΠΌΠ°Π»Π° ~450
ЭнСргия ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ примСси (эВ) β€” ~0.045 ~0.045
Π’ΠΈΠΏ проводимости БобствСнная ЭлСктронная Дырочная

Как Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρ‹, ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктронов Π² ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ подвиТности Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚, ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ n-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ транзисторы ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‚ быстрСС ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ мСньшСС сопротивлСниС, Ρ‡Π΅ΠΌ p-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… гСомСтричСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°Ρ…. ЭлСктронная Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π° ΠΈ структура Π·ΠΎΠ½ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ Π΄ΠΈΠΊΡ‚ΡƒΡŽΡ‚ эти различия Π² Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠ΅ носитСлСй заряда.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹ (CMOS), Π³Π΄Π΅ n-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈ p-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ транзисторы Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΏΠ°Ρ€Π΅. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ минимального энСргопотрСблСния Π² статичСском Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· транзисторов всСгда Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ высокой ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ примСсСй (Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ) ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒΡΡ эффСкт выроТдСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° запрСщСнная Π·ΠΎΠ½Π° суТаСтся, ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ вСсти сСбя ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π».

ВлияниС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²

Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… устройств Π½Π΅Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ связана с Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠΌ. Π‘ ростом Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ увСличиваСтся количСство Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Π² Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Ρƒ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… связСй ΠΈ Ρ€ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠ°Ρ€ элСктрон-Π΄Ρ‹Ρ€ΠΊΠ°. Π­Ρ‚ΠΎ явлСниС называСтся собствСнной ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ сопротивлСниС чистого крСмния ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚, Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΎΠ½ΠΎ растСт. Для Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ситуация слоТнСС: сначала рост Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ носитСлСй, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ дальнСйшСм Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ рост собствСнной проводимости, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€Π΅ управляСмости ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ.

Π’Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠ΅ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ радиация ΠΈΠ»ΠΈ мСханичСскиС напряТСния, Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ структуру. ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ напряТСниС ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°Ρ…, ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСмых Π² MEMS-тСхнологиях. ПониманиС этих эффСктов Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ для создания Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… устройств, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π² ΡΠΊΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условиях.

Если Π²Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅ устройство для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π² условиях высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ критичСской Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ собствСнная ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ высокой, Ρ‡Ρ‚ΠΎ транзистор пСрСстанСт Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π» Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… микросхСм.

Как Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° влияСт Π½Π° ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ напряТСниС транзистора?

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ напряТСниС Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π° (Vth) ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ ΠΈ сниТСнию быстродСйствия логичСских элСмСнтов.

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ наноструктуры

По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ транзисторов Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±ΠΎΠ², классичСскиС прСдставлСния ΠΎ элСктронных Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π°Ρ… Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‚ ΡΡ‚Π°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ с ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ эффСктами. Π’ структурах Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² нСсколько Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² элСктроны Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ сСбя Π½Π΅ ΠΊΠ°ΠΊ частицы, Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹, проявляя Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Ρ‹.

Π­Ρ‚ΠΎ явлСниС, извСстноС ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, становится Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ процСссоров с Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 7 Π½ΠΌ. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ слой Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π°, вызывая Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ. ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ Π²Ρ‹Π½ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½Ρ‹ ΠΈΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокой диэлСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (high-k диэлСктрики) для Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‹ диоксида крСмния.

Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ остаСтся основным ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ благодаря ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ производства ΠΈ пониманию Π΅Π³ΠΎ свойств. Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π² области ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… вычислСний ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Ρ‹. Π’ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°Ρ…, созданных ΠΈΠ· крСмния, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΏΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ элСктронами, Ρ‡Ρ‚ΠΎ являСтся основой для создания ΠΊΡƒΠ±ΠΈΡ‚ΠΎΠ².

Π‘ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π΅ микроэлСктроники, вСроятно, Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ связано с гСтСроструктурами, Π³Π΄Π΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ комбинируСтся с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ галлия. Однако Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ знания ΠΎΠ± элСктронной структурС крСмния ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠΉ для всСх этих ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΉ. Π‘Π΅Π· понимания Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ сСбя элСктроны Π² 3s ΠΈ 3p орбиталях, Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Π½ΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ соврСмСнный ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€.

πŸ’‘

НСсмотря Π½Π° появлСниС Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ остаСтся Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ благодаря ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ балансу ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, подвиТности носитСлСй ΠΈ тСхнологичСской зрСлости производства.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ FinFET ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ связан с элСктронной структурой?

FinFET β€” это трСхмСрная структура транзистора, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π» ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Β«ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΈΠΊΠ°Β». Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ элСктронов ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, сохраняя ΠΏΡ€ΠΈ этом прСимущСства ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

Часто Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ вопросы

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π° Π½Π΅ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ?

Π£Π³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ (Π°Π»ΠΌΠ°Π·) ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ слишком ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΡƒΡŽ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ½Ρƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ изолятором ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ слишком ΡƒΠ·ΠΊΡƒΡŽ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ½Ρƒ ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ большим ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠ°ΠΌ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°. ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ идСальноС ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅.

ΠœΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π»ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ свСрхпроводником?

Π’ чистом Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… условиях β€” Π½Π΅Ρ‚. Однако ΠΏΡ€ΠΈ сильном Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСмСнтами ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»ΡΡ‚ΡŒ свСрхпроводящиС свойства, хотя Π½Π° ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ΅ это ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎ.

Как элСктронная Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π° влияСт Π½Π° Ρ†Π²Π΅Ρ‚ крСмния?

Π¦Π²Π΅Ρ‚ крСмния обусловлСн Π΅Π³ΠΎ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹. ЭнСргия, ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ 1.12 эВ, соотвСтствуСт инфракрасному Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Ρƒ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π΅Π½ для Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ свСта ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ, отраТая Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ спСктра, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ‚ Π΅ΠΌΡƒ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-сСрый мСталличСский блСск.

Π§Ρ‚ΠΎ происходит с элСктронными орбиталями ΠΏΡ€ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ?

ΠŸΡ€ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ примСси ΠΈΡΠΊΠ°ΠΆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ, создавая Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ энСргСтичСскиС ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΠΈ Π² Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅. Π­Ρ‚ΠΈ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΠΈ располоТСны ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ ΠΊ Π·ΠΎΠ½Π΅ проводимости (для Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡ€ΠΎΠ²) ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ (для Π°ΠΊΡ†Π΅ΠΏΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²), облСгчая ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ элСктронов.