ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°
Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Β«ΠΏΠΈΡΠ΅ΠΉΒ» Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ β ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΠ΅Ρ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ³ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΡ. ΠΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ 14 Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½ΡΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
Π€ΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π·Π°ΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ 1sΒ² 2sΒ² 2pβΆ 3sΒ² 3pΒ². ΠΡΠ° Π·Π°ΠΏΠΈΡΡ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΎΠ½Π° ΡΠ°ΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ, Π³Π΄Π΅ Π½Π°Ρ
ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ Π΄Π²Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° Π½Π° 3s-ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ Π΄Π²Π° Π½Π° 3p-ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΡ
. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ
ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠ°Π½Π΄ΠΈΠ΄Π°ΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΡ
ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Ρ Π½Π΅Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ.
ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌ Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ, ΠΎΠ½ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΉΡΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ° Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΡΠΈΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ. ΠΡΠΎΠΌΡ Π²ΡΡΡΡΠ°ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² ΡΡΡΠΎΠ³ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ, ΠΈ ΠΈΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅. ΠΠ΅ ΠΏΡΡΠ°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅.
ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎ, ΡΡΠΎ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΠ²Π½ΠΎ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΅ΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠ΄ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ Π°ΡΠΎΠΌ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΌΡ ΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΠΌΠΈ. Π’Π°ΠΊΠ°Ρ ΡΠΈΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ°Ρ .
ΠΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ°
ΠΠΎΠ³Π΄Π° Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°ΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΉ Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ Ρ 3s-ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΡΡΡΡΡ 3p-ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ
ΡΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ
Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ
ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»Π΅ΠΉ spΒ³. ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ΅Π½, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ Π²ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π²ΡΠ΅Ρ
Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΠΈΠ΄Π΅Π½ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ.
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Π°Ρ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ°. Π ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ Π°ΡΠΎΠΌ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ΅Π½ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΌΡ ΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΠΌΠΈ, ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π² Π²Π΅ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠ΄ΡΠ°. Π’Π°ΠΊΠ°Ρ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΠΎΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠ° ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ° ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΈΡ ΡΠ°Π·ΡΡΠ²Π°. ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·ΡΡΠ²Π° Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ»Π°Π±ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ.
ΠΡΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ
Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΠΈΠ·ΡΡΠ°Π΅ΡΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ° Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ spΒ³ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠΏΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π»ΡΠ±ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ
ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ
ΠΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Ρ ΠΎΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΊ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π°, ΠΌΡ ΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. Π ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ Π΄ΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ, Π½ΠΎ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ ΡΡΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΏΠ»ΡΡΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ, ΠΈΠ»ΠΈ Π·ΠΎΠ½Ρ. ΠΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½Π° ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ 1.12 ΡΠ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 300 Π.
ΠΡΠ° Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Β«Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠΉΒ» Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΠ»ΠΈ Π±Ρ Π·ΠΎΠ½Π° Π±ΡΠ»Π° ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ, ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π²Π΅Π» Π±Ρ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, ΠΈ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³Π»ΠΈ Π±Ρ Π·Π°ΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ. ΠΡΠ»ΠΈ Π±Ρ ΠΎΠ½Π° Π±ΡΠ»Π° ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΉ, ΠΊΠ°ΠΊ Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π±Ρ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ. Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·ΠΎΠ½Ρ 1.12 ΡΠ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Β«0Β» ΠΈ Β«1Β».
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ° ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΡΡΠΊΠ° β ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ. ΠΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΈ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈΠ· ΡΡΡΠΎΡ.
ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΡΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°Ρ , ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Ρ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ.
ΠΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ° ΡΠΈΠΏΠ° Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΠΉΡΠ΅, ΡΡΠΎ Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΡ.
ΠΠ΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²
Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ΅Π±Π΅ ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π΅Π½ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ°Π»Π° ΠΈ Π½Π΅ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½Π°. ΠΠ°Π³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ β ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅, Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΌΡ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°.
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Π²Π΅ΡΡΠΈ Π² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΡΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΎΡΡΠΎΡ P ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΡΡΡΡΠΊ As), Ρ Π½ΠΈΡ
ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Β«Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠΉΒ» ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π΅ ΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ. ΠΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ n-ΡΠΈΠΏΠ° (ΠΎΡ negative), Π³Π΄Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ.
ΠΠ°ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ², Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Ρ
Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² (Π±ΠΎΡ B, Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ Ga, ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ In) ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ Β«Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊΒ» ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ Π΄ΡΡΠΊΡ. Π ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π΄ΡΡΠΊΠ°, ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° p-ΡΠΈΠΏΠ° (ΠΎΡ positive). ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ n-ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈ p-ΡΠΈΠΏΠ° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ, ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ.
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ°Π»Π΅ΠΉΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°ΠΌ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π½Π°ΡΡΡΠ°ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ, ΠΎΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ.
βοΈ ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ
ΠΠ»Ρ Π½Π°Π³Π»ΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. ΠΡΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ΅ ΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ.
| ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ | Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) | ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΌ (n-ΡΠΈΠΏ) | ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ (p-ΡΠΈΠΏ) |
|---|---|---|---|
| ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° | ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠΊΠΈ (ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»-Π²ΠΎ) | ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ | ΠΡΡΠΊΠΈ |
| ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² (ΡΠΌΒ²/ΠΒ·Ρ) | ~1400 | ~1350 | ~480 |
| ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ (ΡΠΌΒ²/ΠΒ·Ρ) | ~450 | ΠΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ ΠΌΠ°Π»Π° | ~450 |
| ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ (ΡΠ) | β | ~0.045 | ~0.045 |
| Π’ΠΈΠΏ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ | Π‘ΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ | ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ | ΠΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ |
ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ, ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ, ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ n-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π±ΡΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ p-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°Ρ . ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π° ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π·ΠΎΠ½ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π΄ΠΈΠΊΡΡΡΡ ΡΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΡ Π² Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°.
ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡ (CMOS), Π³Π΄Π΅ n-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ p-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² ΠΏΠ°ΡΠ΅. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° Π·Π°ΠΊΡΡΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ (Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ) ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ Π²ΡΡΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° ΡΡΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ, ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ Π²Π΅ΡΡΠΈ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π».
ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ²
Π Π°Π±ΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Π½Π΅ΡΠ°Π·ΡΡΠ²Π½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π° Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠΌ. Π‘ ΡΠΎΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ°Π·ΡΡΠ²Ρ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½-Π΄ΡΡΠΊΠ°. ΠΡΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ, Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ. ΠΠ»Ρ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΈΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π΅: ΡΠ½Π°ΡΠ°Π»Π° ΡΠΎΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠΌ.
ΠΠ½Π΅ΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π·ΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ°Ρ , ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² MEMS-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΡ . ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ .
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ Π·Π°ΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²Π΅ΡΡ Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π» ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ.
ΠΠ°ΠΊ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°?
ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ° (Vth) ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ² ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ².
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ
ΠΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±ΠΎΠ², ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π°Ρ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ ΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ. Π ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π²Π΅Π΄ΡΡ ΡΠ΅Π±Ρ Π½Π΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΡ.
ΠΡΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 7 Π½ΠΌ. ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ°, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠΊΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ. ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ Π²ΡΠ½ΡΠΆΠ΄Π΅Π½Ρ ΠΈΡΠΊΠ°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ (high-k Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ) Π΄Π»Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ². Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΡ. Π ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ , ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΏΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠΎΠ².
ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎ, Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π½Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ± ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ
ΡΡΠΈΡ
ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²Π°ΡΠΈΠΉ. ΠΠ΅Π· ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π΅Π΄ΡΡ ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π² 3s ΠΈ 3p ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΡ
, Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π½ΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅Ρ.
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ Π±Π°Π»Π°Π½ΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π·ΡΠ΅Π»ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ FinFET ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ?
FinFET β ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π» ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Β«ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΈΠΊΠ°Β». ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π»ΡΡΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
Π§Π°ΡΡΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π° Π½Π΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ?
Π£Π³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ (Π°Π»ΠΌΠ°Π·) ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠΎΠΊΡΡ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅. ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ·ΠΊΡΡ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠ°ΠΌ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠΎΠΆΠ΅Ρ Π»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ?
Π ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ β Π½Π΅Ρ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, Ρ ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅ ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ.
ΠΠ°ΠΊ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π° Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠ²Π΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ?
Π¦Π²Π΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ°Ρ 1.12 ΡΠ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌΡ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Ρ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π΄Π»Ρ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ, ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ Π΅ΠΌΡ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ΅ΡΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π±Π»Π΅ΡΠΊ.
Π§ΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ?
ΠΡΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΠΈΡΠΊΠ°ΠΆΠ°ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ Π² Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ ΠΊ Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ (Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠΎΠ²) ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ (Π΄Π»Ρ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ²), ΠΎΠ±Π»Π΅Π³ΡΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ².