ΠΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π’ΠΎΠΊΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ΅Π·Π° β ΡΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΏΠ°Π·Ρ, ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈ, ΡΠΎΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π² ΡΠ΅Ρ Ρ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. ΠΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°.
ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΎΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠΊ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π§ΠΠ£ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΡΠΏΠΏΠΎΡΡΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎ-ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΈΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½Π°Π»Π°Π΄ΠΊΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ΅Ρ Π°ΠΌΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°.
Π ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΌΡ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ ΡΡΠ΅Π·, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°Ρ , ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ. ΠΡ ΡΠ·Π½Π°Π΅ΡΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΠ±ΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ², Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°.
Π’ΠΈΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π· Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ
ΠΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°Ρ , Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΡ. Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΏΠ°Π»ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ. ΠΠ°Π»ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΎΡΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΡΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΠΉ.
ΠΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ, Π½Π°ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ², Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΎΠΊ, Π³Π΄Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ΅Π·Π°. Π ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΊΠΎΠΏΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ Π½Π° ΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ Π±Π΅Π· ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΠ½Π΅ΠΌΠ°ΡΠΈΠΊΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠΌ.
ΠΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅Π³ΠΎΡΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠ±ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ ΡΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π·Π°ΡΡΠΏΠΈΠ²ΡΡΡΡΡ ΡΠ΅ΠΆΡΡΡΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΡ, Π° Π½Π΅ Π²Π΅ΡΡ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡ ΡΡΠ΅Π·Ρ, ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π°. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠ² ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠΆΠ°Π²ΠΊΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ Π² ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ΅.
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΊ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠΌ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠΎΠΌ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΊ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ. ΠΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ Π²Π΅ΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ , ΡΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π°.
ΠΠ»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π·Ρ Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π½Π°Π»ΠΈΠΏΠ°Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ Π·Π°ΠΊΠ°Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π»ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ³ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π·Π°ΠΌ ΠΈΠ· Π±ΡΡΡΡΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ (HSS), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΡΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ°Ρ .
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° (TiN) ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ-ΡΠΈΡΠ°Π½Π° (AlTiN), Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΄Π»Π΅Π²Π°ΡΡ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ. ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΠ΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ³Π»Ρ Π·Π°ΡΠΎΡΠΊΠΈ
ΠΠ΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ΅Π·Ρ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ β ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΡΠ³ΠΎΠ», ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΡΠΆΠΊΠΈ ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΡΡΡ ΡΡ ΠΎΠ΄Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΡΠ³ΠΎΠ» ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ, Π½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΌΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°ΠΌΠΈ.
Π£Π³ΠΎΠ» Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΄Π΅ ΡΡΡΡΠΆΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ. ΠΠ»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΡΡ Π²Π°Π»ΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π·Ρ Ρ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ³Π»ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π°, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΠΈΠ± Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΠ΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΡΠ³Π»ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΡΠΌ, ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΠΈΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π·ΡΠ±ΡΠ΅Π² ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎΡΡΡ Ρ ΠΎΠ΄Π°. Π€ΡΠ΅Π·Ρ Ρ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ ΡΠΈΡΠ»ΠΎΠΌ Π·ΡΠ±ΡΠ΅Π² ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ Π²ΡΠ·ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΄Π° ΡΡΡΡΠΆΠΊΠΈ. ΠΠ°ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ², ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ·ΡΠ±ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ° ΠΈ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
ΠΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°
ΠΠ°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ Π² ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ΅ β Π·Π°Π»ΠΎΠ³ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠ² ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, VDI 30 ΠΈΠ»ΠΈ VDI 40. ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π·Ρ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.
ΠΡΠΈ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ Π² ΠΏΠ°ΡΡΠΎΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ°Π²ΠΊΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΡΠ»Π΅Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΠ·Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΠ»Π΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Ρ Π²ΠΎΡΡΠΎΠ²ΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΡ ΡΠ·Π»Π°. ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ Π·Π°ΡΡΠΆΠΊΡ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ΅ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ².
ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠ² Ρ Π§ΠΠ£ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, Π³Π΄Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½Π° ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡ ΠΈ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ΅ΠΉ. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΈ, ΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠ° Π±ΠΈΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠΈ.
βοΈ ΠΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠ° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π·Ρ
ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ
Π ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ»ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΈΠ½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Π·Π°ΠΆΠΈΠΌΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΡΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Π΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠ±Π΅Π΄ΠΈΡΠ΅ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ISO 40) ΡΠΈΡΡΠ° ΠΈ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Π½Π΅ΡΠΎΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π±ΠΈΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎ 0,05 ΠΌΠΌ.
Π Π΅ΠΆΠΈΠΌΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ
ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ β ΡΡΠΎ Π±Π°Π»Π°Π½Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ, ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΎΠΉ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»Ρ ΠΈ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π·Π°. ΠΠ»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π· ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ Π±ΡΡΡΡΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ. ΠΡΠ΅Π½Π΅Π±ΡΠ΅ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°ΡΠΈΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΎΡΠΊΠΎΠ»Ρ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ.
Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π° ΡΠ°ΠΊ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠ΅Π·Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π»Π° Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ Π·ΡΠ±Π°. Π‘Π»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ°Π»Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π·Π°ΡΡΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ ΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Ρ ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π° ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ β ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΌΠΊΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ ΠΊ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌ, ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΡΠΉΡΠ΅ ΠΈΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠΊ-ΠΏΡΠΈΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅-ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ-Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ°.
ΠΠ»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° ΡΠ΅Π·Π° ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠΏΡΡΠΊ, Π½ΠΎ Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΡΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΡ. Π ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Π°Ρ Π²ΡΡΠΎΡΠ° ΡΡΠ΅Π·Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΡΠΈ ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠΉΡΠ΅ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ (Π‘ΠΠ), Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π΅ΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅ΡΠ΅ Ρ ΡΡΠ³ΡΠ½ΠΎΠΌ. ΠΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π»Π΅Π²Π°Π΅Ρ ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ².
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π·
ΠΠ»Ρ ΡΠ΄ΠΎΠ±ΡΡΠ²Π° Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΡΡΠ΅ΡΡ Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠΏ ΡΡΠ΅Π·Ρ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΡΠΊ Π±ΡΠ°ΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
| ΠΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» | Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ ΡΠΈΠΏ ΡΡΠ΅Π·Ρ | ΠΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ | ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ° |
|---|---|---|---|
| ΠΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΠ°Π»Ρ | Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½Π°Ρ Ρ 4-6 Π·ΡΠ±ΡΡΠΌΠΈ | TiAlN | Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ, Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠ° |
| ΠΠ΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ°Ρ ΡΡΠ°Π»Ρ | Π€ΡΠ΅Π·Π° ΠΈΠ· Π±ΡΡΡΡΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ | N (Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ) ΠΈΠ»ΠΈ TiN | ΠΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ, ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠ° |
| ΠΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ | ΠΠ°Π»ΡΡΠ΅Π²Π°Ρ ΡΡΠ΅Π·Π° Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π³ΠΎΠΌ | ZrN ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ, Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π²ΡΠ»Π΅Ρ |
| Π§ΡΠ³ΡΠ½ | Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½Π°Ρ Π±Π΅Π· ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ | AlTiN | Π‘ΡΡ Π°Ρ ΡΠ΅Π·ΠΊΠ°, Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΠ° |
| ΠΠ°ΠΊΠ°Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΡΡΠ°Π»Ρ | Π€ΡΠ΅Π·Π° ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° | ΠΠ»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ | ΠΠ°Π»Π°Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π°, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠ° |
ΠΠ΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠΈ
Π Π°Π±ΠΎΡΠ° Ρ ΡΡΠ΅Π·ΠΎΠΉ Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΡΡ . ΠΠ°ΡΠ΅Π³ΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ΡΡΡΡΡ ΠΊ Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉΡΡ ΡΡΠ΅Π·Π΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΆΠΊΠΈ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΡΠΏΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»Ρ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠΈΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ ΠΏΡΡΠ°ΠΉΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΠΈΠΉΡΡ ΡΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ΅Π·Ρ ΡΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΌ Ρ ΠΎΠ΄Π΅. ΠΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π·Π°ΠΊΠ»ΠΈΠ½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π²ΠΌΠ΅ ΡΡΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠΈ.
ΠΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΎΠΊ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½Π°Ρ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ° ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ·Π»Π°. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΡΠ΅ΡΠ΅ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΡ, Π½Π΅ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅ΡΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΈΡΠ΅ Π½Π°ΡΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈ. ΠΠΈΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 0,02 ΠΌΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ· ΡΡΡΠΎΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½. Π Π΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ·Π»ΠΎΠ².
ΠΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ³Π½ΠΎΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΄Π° ΡΡΡΡΠΆΠΊΠΈ. ΠΠ°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡΠ°ΡΡΡ ΡΡΡΡΠΆΠΊΠ° Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅Π·Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅Π΄ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΌΠ°ΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠΆΠ°ΡΡΠΉ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΆΠΊΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΈΡΠ΅ Π·Π° ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ ΡΡΡΡΠΆΠΊΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π· Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠΈΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ, ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°Ρ Π΅Π³ΠΎ Π² ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. ΠΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ. Π’ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΡΠ΅Π·ΠΎΠΉ Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°.
Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π§ΠΠ£ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΡΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ. ΠΠ½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π΄Π°ΠΏΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ Π² ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, ΠΏΡΠΎΠ΄Π»Π΅Π²Π°Ρ ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΏΠ°ΡΡΡΡ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ.
ΠΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²Π°ΠΌ ΠΎΡΡΠ°Π²Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΊΡΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. ΠΠ΅ Π±ΠΎΠΉΡΠ΅ΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ Π½ΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΠΏΠ°ΠΌΠΈ ΡΡΠ΅Π·, Π½ΠΎ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΠΉΡΠ΅ Ρ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² Π½Π° Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ . ΠΠΎΠΌΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ β ΡΡΠΎ ΠΊΠ»ΡΡ ΠΊ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌΡ ΠΈ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ΡΡ Ρ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΎΠ³Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠ°ΡΠΏΠΎΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
ΠΠ°ΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ΅Π·Π° Π»ΡΡΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ²?
ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ² Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ΅ Π»ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π·Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΡ Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ½ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ΅Π·Π°.
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ° Π½Π° ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ?
ΠΠ°, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡΠΎΠ½Π΅. ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Ρ Π²ΠΎΡΡΠΎΠ²ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ.
ΠΠ°ΠΊ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π·Π°ΡΡΠΏΠΈΠ²ΡΡΡΡΡ ΡΡΠ΅Π·Ρ?
ΠΡΠ΅ΠΌΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΡΠΌΠΈ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π»ΠΈ Π³ΡΡΠ±ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄Ρ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΈ β ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΠΊΠΈ.
ΠΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π»ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ?
ΠΠ»Ρ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° (TiN) ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π°-Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ (TiAlN), Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Π΅Ρ Π½Π°Π»ΠΈΠΏΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π½Π° ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π².