Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΈΡ€ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²

Вся соврСмСнная цифровая цивилизация дСрТится Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΡƒΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ элСмСнтС, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ Π² ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΌ пСскС Π½Π° пляТС. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β€” Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΏΠΎ распространСнности химичСский элСмСнт Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Π΅, послС кислорода. Однако ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π² вашСм смартфонС ΠΈΠ»ΠΈ сСрвСрС, ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ отличаСтся ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄ Π½ΠΎΠ³Π°ΠΌΠΈ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ прСвращСния ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ пСска Π² свСрхчистый ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для Intel Core ΠΈΠ»ΠΈ AMD Ryzen Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ Π½Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… энСргозатрат.

МногиС ΠΎΡˆΠΈΠ±ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ этот ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… "ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½Π΅Π²Ρ‹Ρ… ΡˆΠ°Ρ…Ρ‚Π°Ρ…". На самом Π΄Π΅Π»Π΅ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ΠΌ слуТит диоксид крСмния (SiO2), содСрТащийся Π² ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠΌ пСскС ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°Ρ…. Π“Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡŽ β€” минимальноС содСрТаниС примСсСй ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, алюминия ΠΈ Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄Π½Π° частица загрязнитСля ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΡ€Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ слой Π½Π° кристаллС.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ мСстороТдСния ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ

ΠšΡ€ΡƒΠΏΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΠ΅ запасы качСствСнного ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ пСска сосрСдоточСны Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Ρ€Π΅Π³ΠΈΠΎΠ½Π°Ρ… ΠΏΠ»Π°Π½Π΅Ρ‚Ρ‹, Π³Π΄Π΅ гСологичСскиС условия ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ слои с высокой ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ чистого SiO2. Π›ΠΈΠ΄Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π΅ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ для ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΠΈ ΠΈ химичСской ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ БША, ΠšΠΈΡ‚Π°ΠΉ, Бразилия ΠΈ Россия. Π’ БША, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΡˆΡ‚Π°Ρ‚ ΠœΠΈΠ½Π½Π΅ΡΠΎΡ‚Π° ΠΈ Висконсин славятся своими высокосортными пСсками, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡΠΊΡΠΏΠΎΡ€Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ всСму ΠΌΠΈΡ€Ρƒ.

ОсобоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ мСстороТдСния с кристалличСским ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅ΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ мСньшС энСргии для ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ. Π’ России Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ запасы располоТСны Π² ΠšΠ°Ρ€Π΅Π»ΠΈΠΈ, Π½Π° Π£Ρ€Π°Π»Π΅ ΠΈ Π² Π˜Ρ€ΠΊΡƒΡ‚ΡΠΊΠΎΠΉ области. ИмСнно ΠΈΠ· этих Π½Π΅Π΄Ρ€ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ для производства крСмния мСталлургичСского класса, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ отправляСтся Π½Π° Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΡƒΡŽ очистку.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Ρƒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π΅ΠΉ Ρ€ΡƒΠ΄Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ. ΠœΠ΅ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ дСлятся Π½Π° ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ ΠΊΠ°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π·Π΅ΠΌΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, Π½ΠΎ для производства процСссоров ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½Π° Π½Π΅ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° залСгания, Π° химичСский состав ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹. Если Π² пСскС слишком ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π»ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ»ΡŽΠ΄Ρ‹, Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ для изготовлСния элСктронных Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ².

ΠžΡ‚ пСска ΠΊ мСталлургичСскому ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΡŽ

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ этап прСобразования β€” это ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ крСмния мСталлургичСского класса (MG-Si). Π­Ρ‚ΠΎ происходит Π² гигантских Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… элСктричСских ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ…, Π³Π΄Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° достигаСт 2000 градусов ЦСльсия. БмСсь ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ пСска ΠΈ восстановитСля (ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ это кокс, дрСвСсный ΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ нСфтяной кокс) плавится, ΠΈ кислород отщСпляСтся, оставляя чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ чистоту ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 98–99%. Π­Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ достаточно для производства Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… сплавов ΠΈΠ»ΠΈ солнСчных ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Π΅ΠΉ Π±ΡŽΠ΄ΠΆΠ΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ сСгмСнта, Π½ΠΎ для микропроцСссоров Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ загрязнСний нСдопустим. Π’ структурС кристалла ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ Π΅Π³ΠΎ изолятором ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ, Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ с Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ характСристиками. ИмСнно здСсь начинаСтся магия химичСской ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΠΈ.

ΠžΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΠ° Π΄ΠΎ элСктронного класса

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ мСталлургичСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для процСссоров, Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ слоТной химичСской очисткС, Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ БимСнса. Π‘Ρ‹Ρ€ΡŒΠ΅ Ρ€Π΅Π°Π³ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ с хлористым Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, образуя трихлорсилан β€” ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ΅ соСдинСниС, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ пСрСгоняСтся Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½Π½Π°Ρ…. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ дистилляции позволяСт ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Ρ€Π΄Π½Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΈ примСсСй.

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ поликристалличСскиС стСрТни ΠΈΠ· крСмния высокой чистоты. Чистота Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° достигаСт 99,9999999% (9N) ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Ρ€Π΄ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² крСмния приходится Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ° постороннСго элСмСнта. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ чистоты Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ для создания p-n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² транзисторах соврСмСнного Nvidia GPU ΠΈΠ»ΠΈ Apple M-series.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ очистки Π΄ΠΎ уровня 9N ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ использования ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² оборудования (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ стСкла), Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ само Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ стало источником загрязнСния.

πŸ“Š Какой ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π²Π°ΠΌ интСрСснСС ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΠΎ?
ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΡ‹ очистки (Π₯имия)
Π’Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ монокристаллов
Литография ΠΈ созданиС Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ²
Полная Ρ†Π΅ΠΏΠΎΡ‡ΠΊΠ° производства

Π’Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ монокристалличСских слитков

ПослС получСния поликристалличСского крСмния наступаСт этап формирования Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΠΎ кристалла. Для этого ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ. ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ плавится Π² Ρ‚ΠΈΠ³Π»Π΅ ΠΈΠ· высокочистого ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π°, ΠΈ Π² расплав опускаСтся Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠ° β€” нСбольшой кристалл крСмния ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ эта Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ поднимаСтся ΠΈ вращаСтся.

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ формируСтся цилиндричСский слиток β€” ΠΈΠ½Π³ΠΎΡ‚, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ прСдставляСт собой ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ монокристалл. Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… кристаллов со Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ увСличивался: ΠΎΡ‚ 100 ΠΌΠΌ Π² 80-Ρ… Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ… Π΄ΠΎ соврСмСнных 300 ΠΌΠΌ (12 дюймов). Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡƒΠΆΠ΅ освоСны ΠΈ 450 ΠΌΠΌ пластины, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ нашли массового примСнСния ΠΈΠ·-Π·Π° слоТности оборудования.

На этом этапС Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ происходит Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ β€” Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ строго Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… примСсСй (Π±ΠΎΡ€Π° ΠΈΠ»ΠΈ фосфора), Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π·Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ исходный Ρ‚ΠΈΠΏ проводимости крСмния. Π‘Π΅Π· этого шага транзисторы просто Π½Π΅ смогут ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚ΡŒΡΡ, выполняя логичСскиС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ввСдСния примСсСй измСряСтся Π² частях Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Ρ€Π΄.

πŸ’‘

Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ кристалла опрСдСляСт количСство Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²Ρ‹Ρ€Π΅Π·Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ· ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ пластины, ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ всСго производства.

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎ пластин ΠΈ транспортировка

Π’Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ слитки Ρ€Π°ΡΠΏΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ диски β€” ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ пластины (wafer). Π­Ρ‚ΠΎ дСлаСтся Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠΈΠ»Π°ΠΌΠΈ с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. ПослС распила пластины проходят ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ стала идСально Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΎΠΉ, ΠΊΠ°ΠΊ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ. Π›ΡŽΠ±Π°Ρ микроскопичСская Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Π±Ρ€Π°ΠΊΡƒ ΠΏΡ€ΠΈ нанСсСнии фоторСзиста.

Π“ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ пластины ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π΅ΠΉΠ½Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Ρ„Π°Π±Ρ€ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎ производству Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ² (Ρ„Π°Π±Π»Ρ‹). Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ сами Ρ‡ΠΈΠΏΡ‹ Π½Π΅ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ Π² ΡˆΠ°Ρ…Ρ‚Π°Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΠΎ производству поликрСмния. Π”ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π° ΠΈ очистка часто гСографичСски ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ ΠΎΡ‚ Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ. НапримСр, ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‚ΠΎ Π² Π‘Ρ€Π°Π·ΠΈΠ»ΠΈΠΈ, ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π΅Π½ΠΎ Π² Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΈ, Π° пластина ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π° Π² БША.

Логистика ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… пластин Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ особого внимания ΠΊ чистотС Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° ΠΈ вибрациям. ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ‚Ρ€Π°Π½ΡΠΏΠΎΡ€Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… кассСтах (FOUP), ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ с ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСдой. Π›ΡŽΠ±ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ‹Π»ΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 0,1 ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡƒΠ½ΠΈΡ‡Ρ‚ΠΎΠΆΠΈΡ‚ΡŒ слой процСссора.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π»Ρ‹Π΅ пластины?

ΠšΡ€ΡƒΠ³Π»Π°Ρ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° обусловлСна ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ кристалл вытягиваСтся Π² Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€. ΠšΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ кристаллы ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ слоТнСС ΠΈ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅, Π° ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π»Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ эффСктивнСС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ тСрмичСских Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π°Ρ….

Π‘Ρ‚Ρ€Π°Π½Ρ‹-Π»ΠΈΠ΄Π΅Ρ€Ρ‹ Π² Ρ†Π΅ΠΏΠΎΡ‡ΠΊΠ΅ поставок

Π₯отя ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ добываСтся Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… странах, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π΄ΠΎ уровня элСктронного класса сосрСдоточСна Π² ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ числС ΡŽΡ€ΠΈΡΠ΄ΠΈΠΊΡ†ΠΈΠΉ. ΠšΠΈΡ‚Π°ΠΉ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π² Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π΅ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ ΠΈ производствС мСталлургичСского крСмния, контролируя Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π³Π»ΠΎΠ±Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… поставок. Однако этап прСвращСния Π² ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ высокой чистоты ΠΈ Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ кристаллов распрСдСлСн ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π―ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠ΅ΠΉ, Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΉ, Π’Π°ΠΉΠ²Π°Π½Π΅ΠΌ ΠΈ БША.

ЯпонскиС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Shin-Etsu ΠΈ Sumco, историчСски ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π»ΠΈΠ΄Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ Π² производствС ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… пластин. Они ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ тСхнологиями очистки ΠΈ выращивания кристаллов, доступ ΠΊ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½. Π­Ρ‚ΠΎ создаСт Π³Π΅ΠΎΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ индустрии ΠΎΡ‚ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ поставок ΠΈΠ· этих Ρ€Π΅Π³ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ².

Π‘Ρ‚Ρ€Π°Π½Π° Основная Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π² Ρ†Π΅ΠΏΠΎΡ‡ΠΊΠ΅ ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹Π΅ особСнности
ΠšΠΈΡ‚Π°ΠΉ Π”ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π° ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ, MG-Si ΠšΡ€ΡƒΠΏΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΠ΅ запасы, низкая ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ
БША ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π», пластины ВысокиС Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ очистки, R&D
Япония ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ (Wafer) ΠœΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ΄Π΅Ρ€ ΠΏΠΎ качСству ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΡƒ пластин
ГСрмания ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹, ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ВысокоточноС производство ΠΈ химичСская ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ГСополитичСская ситуация ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° Π΄ΠΎΡΡ‚ΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ. Π˜ΠΌΠΏΠΎΡ€Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΡˆΠ»ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ эмбарго ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Π³Π»ΠΎΠ±Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ€ΡˆΡ€ΡƒΡ‚Ρ‹ поставок крСмния, Ρ‡Ρ‚ΠΎ отраТаСтся Π½Π° стоимости ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… процСссоров.

πŸ’‘

Π’Π΅ΡΡŒ Ρ†ΠΈΠΊΠ» ΠΎΡ‚ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡ΠΈ пСска Π΄ΠΎ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ пластины Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ 3 Π΄ΠΎ 6 мСсяцСв, трСбуя Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ контроля Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ этапС.

ЭкологичСскиС аспСкты ΠΈ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π΅

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎ крСмния для процСссоров β€” это энСргоСмкий процСсс. ΠŸΠ΅Ρ‡ΠΈ для получСния мСталлургичСского крСмния Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ количСства элСктроэнСргии, поэтому Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ часто строят рядом с Π“Π­Π‘ ΠΈΠ»ΠΈ АЭБ. ΠžΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΠ° Π΄ΠΎ элСктронного класса Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ химичСскиС ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ слоТной ΡƒΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

Π’ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΡΠ»ΡŒ сталкиваСтся с Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° Π½Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ пластины (450 ΠΌΠΌ) ΠΈΠ»ΠΈ использования Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния (SiC) ΠΈ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ галлия (GaN) для силовой элСктроники. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΌΠΈ характСристиками для высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΈ напряТСний, Π½ΠΎ ΠΈΡ… производство Π΅Ρ‰Π΅ слоТнСС ΠΈ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π° ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ крСмния.

β˜‘οΈ ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° Π·Π½Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎ производствС крСмния

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

ΠŸΡƒΡ‚ΡŒ крСмния ΠΎΡ‚ простого пСска Π΄ΠΎ ΠΌΠΎΠ·Π³Π° соврСмСнного ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π° β€” это Ρ‚Ρ€ΠΈΡƒΠΌΡ„ матСриаловСдСния ΠΈ химичСской ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΠΈ. ΠšΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ этап, ΠΎΡ‚ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° мСстороТдСния Π΄ΠΎ Ρ„ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π±Π΅Π·ΡƒΠΏΡ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ исполнСния. ПониманиС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π³Π΄Π΅ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ эти ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΡΠΎΠ·Π½Π°Ρ‚ΡŒ Ρ†Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ устройства Π² Π½Π°ΡˆΠΈΡ… Ρ€ΡƒΠΊΠ°Ρ… ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ глобальной индустрии элСктроники.

Π‘ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π΅ отрасли зависит ΠΎΡ‚ способности Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ источники ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ ΠΈ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ процСссы очистки, дСлая ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ энСргозатратными. Пока Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΡ‹ остаСмся зависимыми ΠΎΡ‚ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΈΡ… мСстороТдСний высококачСствСнного ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π° ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ.

Π“Π΄Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ основной ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹ΠΉ пСсок?

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ мСстороТдСния находятся Π² БША (ΠœΠΈΠ½Π½Π΅ΡΠΎΡ‚Π°, Висконсин), Π‘Ρ€Π°Π·ΠΈΠ»ΠΈΠΈ, России (ΠšΠ°Ρ€Π΅Π»ΠΈΡ, Π£Ρ€Π°Π») ΠΈ ΠšΠΈΡ‚Π°Π΅. ΠšΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ пСсок ΠΈΠΌΠ΅Π» минимальноС содСрТаниС примСсСй.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ?

Для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ транзисторов трСбуСтся кристалличСская Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ° Π±Π΅Π· Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°. Π›ΡŽΠ±Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅ΡΡŒ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ свойства, прСвращая ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π² изолятор. Чистота Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ 9N (99,9999999%).

ВсС Π»ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ пластины Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· пСска?

Π”Π°, исходным ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ΠΌ всСгда являСтся диоксид крСмния (SiO2), ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΠΊΠ°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ ΠΈΠ· ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ пСска ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄. Π˜ΡΠΊΡƒΡΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ синтСз крСмния ΠΈΠ· Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… элСмСнтов экономичСски нСцСлСсообразСн.