ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β€” это Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ соврСмСнной Ρ†ΠΈΠ²ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π», Π±Π΅Π· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ нСмыслимы Π½ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Ρ‹, Π½ΠΈ солнСчныС Π±Π°Ρ‚Π°Ρ€Π΅ΠΈ, Π½ΠΈ слоТныС систСмы связи. Однако Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ людСй ΠΎΡˆΠΈΠ±ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ это Π½Π΅Ρ‡Ρ‚ΠΎ искусствСнноС, созданноС Π² лабораториях ΠΈΠ· слоТных химичСских соСдинСний. На самом Π΄Π΅Π»Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ€ΠΈΠ»Π° Π½Π°ΠΌ этот элСмСнт Π² ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… количСствах, ΠΈ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ Π½Π° вопрос Β«ΠΈΠ· Ρ‡Π΅Π³ΠΎ сдСлан ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ» Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π½Π° повСрхности, Ссли Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ химичСский состав Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Ρ‹.

Π’ чистом Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π² ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ этот элСмСнт практичСски Π½Π΅ встрСчаСтся ΠΈΠ·-Π·Π° Π΅Π³ΠΎ высокой химичСской активности. Он всСгда связан с кислородом ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтами, образуя ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΈΠ½Π΅Ρ€Π°Π»Ρ‹. ИмСнно поэтому процСсс получСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° для ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‡ΠΈΠΏΠΎΠ² начинаСтся Π½Π΅ с Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡ΠΈ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎΠΉ Ρ€ΡƒΠ΄Ρ‹, Π° с ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ самого распространСнного Π½Π° ΠΏΠ»Π°Π½Π΅Ρ‚Π΅ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ β€” пСска ΠΈ Π³ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄, содСрТащих диоксид крСмния.

ПониманиС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΈΠ· Ρ‡Π΅Π³ΠΎ состоит исходноС ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅, критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ химичСской ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ. ΠžΡ‚ чистоты исходной ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ зависят свойства ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Π°, Π±ΡƒΠ΄ΡŒ Ρ‚ΠΎ поликристалличСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ для солнСчных ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ монокристалличСский слиток для процСссоров. Π”Π°Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ Ρ€Π°Π·Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ этот ΠΏΡƒΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ пСска Π΄ΠΎ высокотСхнологичного издСлия.

ΠŸΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ΅ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅: ΠšΠ²Π°Ρ€Ρ† ΠΈ ПСсок

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ источником крСмния являСтся ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹ΠΉ пСсок ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ Π·Π°Π»Π΅ΠΆΠΈ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†ΠΈΡ‚Π°. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ состоят прСимущСствСнно ΠΈΠ· ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π° (SiO2), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ прСдставляСт собой кристалличСский диоксид крСмния. Для мСталлургичСских Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ пСсок с высоким содСрТаниСм ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π°, Π³Π΄Π΅ примСси Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠΈΠ½Π΅Ρ€Π°Π»ΠΎΠ² свСдСны ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡƒΠΌΡƒ. ИмСнно ΠΈΠ· Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… Π·Π°Π»Π΅ΠΆΠ΅ΠΉ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ для дальнСйшСго производства.

Однако Π½Π΅ любой пСсок ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для производства ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ пСсок, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²Π΅, содСрТит слишком ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ органичСских Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π³Π»ΠΈΠ½ ΠΈ солСй. Для получСния тСхничСского крСмния трСбуСтся ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ с содСрТаниСм SiO2 Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 98-99%. Π”ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ вСдСтся Π² спСциализированных ΠΊΠ°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π°Ρ…, Π³Π΄Π΅ гСологичСскиС условия ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» высокой чистоты Π±Π΅Π· нСобходимости слоТной ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠΈ.

ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²ΠΎΠΉ характСристикой ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ являСтся Π΅Π³ΠΎ кристалличСская структура ΠΈ отсутствиС посторонних примСсСй, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ алюминий. Если Π² пСскС ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, это ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ измСнСниям Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° ΠΈ физичСских свойств ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΎΡ‚ΠΏΡ€Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ Π½Π° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Π±ΠΎΡ€ ΠΈ сортировку.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: НС ΠΏΡƒΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹ΠΉ пСсок для ΡΡ‚Π΅ΠΊΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ с пСском, ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ для ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΠΈ. ВрСбования ΠΊ чистотС SiO2 Π² этих отраслях ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ тСхничСского крСмния

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ этапом прСвращСния пСска Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» являСтся процСсс восстановлСния Π² Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ…. Π˜Π·ΠΌΠ΅Π»ΡŒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ† ΡΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ с восстановитСлями β€” Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒ, кокс ΠΈΠ»ΠΈ дрСвСсныС Ρ‰Π΅ΠΏΠΊΠΈ. БмСсь загруТаСтся Π² ΠΏΠ΅Ρ‡ΡŒ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ воздСйствиСм элСктричСской Π΄ΡƒΠ³ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° достигаСт 2000Β°C. Π’ этих условиях кислород связываСтся с ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π° чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ выдСляСтся Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅.

РСакция выглядит ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ: SiO2 + 2C β†’ Si + 2CO. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» называСтся тСхничСским ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ мСталлургичСского качСства (MG-Si). Π•Π³ΠΎ чистота составляСт ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 98-99%, Ρ‡Ρ‚ΠΎ достаточно для производства Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… сплавов ΠΈΠ»ΠΈ силиконов, Π½ΠΎ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎ нСдостаточно для элСктроники. Π’ Π½Π΅ΠΌ всС Π΅Ρ‰Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ примСси ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, алюминия, ΠΊΠ°Π»ΡŒΡ†ΠΈΡ ΠΈ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

Для Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ тСхничСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ являСтся лишь ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠΌ. Он Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ дальнСйшСй Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ очистки, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½ΠΈΡ‡Ρ‚ΠΎΠΆΠ½Ρ‹Π΅ количСства примСсСй ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ структуру ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. На этом этапС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» часто ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ элСмСнты для измСнСния Π΅Π³ΠΎ свойств, Ссли конСчная Ρ†Π΅Π»ΡŒ β€” созданиС сплавов.

πŸ“Š Какой ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ ΠΈΠ· крСмния Π²Π°ΠΌ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ интСрСсСн?
ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ
Π‘ΠΎΠ»Π½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ
Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ‹
ΠΠ»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ сплавы

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ очистки Π΄ΠΎ поликристалла

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ тСхничСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ чистоты 99,9999% (ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅). Π‘Π°ΠΌΡ‹ΠΉ распространСнный ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ β€” процСсс БимСнса. Π’ Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ этого процСсса тСхничСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ€Π΅Π°Π³ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ с соляной кислотой, образуя трихлорсилан β€” Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ΅ соСдинСниС. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ Π³Π°Π· Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ очищаСтся ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ многоступСнчатой ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³ΠΎΠ½ΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ примСси с высокой Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

ΠžΡ‡ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ трихлорсилан подаСтся Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€, Π³Π΄Π΅ нагрСваСтся Π΄ΠΎ высокой Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π² присутствии Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π½ΠΈΡ‚Π΅ΠΉ крСмния. ΠŸΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ химичСскоС осаТдСниС чистого крСмния Π½Π° эти Π½ΠΈΡ‚ΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ постСпСнно ΡƒΡ‚ΠΎΠ»Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ, ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡΡΡŒ Π² стСрТни поликристалличСского крСмния. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» выглядит ΠΊΠ°ΠΊ блСстящиС Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ кристаллы, Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ сломанныС ΠΊΠ°ΠΌΠ½ΠΈ, ΠΈ являСтся основой для выращивания монокристаллов.

БущСствуСт ΠΈ Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ β€” процСсс с использованиСм силана (SiH4), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ позволяСт Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‡ΡŒ высокой чистоты, Π½ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ строгих ΠΌΠ΅Ρ€ бСзопасности ΠΈΠ·-Π·Π° взрывоопасности Π³Π°Π·Π°. Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° часто зависит ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Ρ‡ΠΈΠΊΠ° ΠΈ доступного оборудования Π½Π° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π΅. Π’ любом случаС, Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° остаСтся ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ½Π΅ΠΉ β€” ΡƒΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ всС Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹, ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅ крСмния.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ получСния поликристалличСского крСмния ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ энСргозатратСн. Π­Π½Π΅Ρ€Π³ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ производства ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ½Π½Ρ‹ чистого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ, сравнимых с ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ нСбольшого Π³ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° Π·Π° сутки.

Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ монокристалличСской структуры

ПослС получСния поликристалличСского крСмния наступаСт этап выращивания монокристалла. Для этого ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ кусочСк поликристалличСского крСмния плавится Π² Ρ‚ΠΈΠ³Π»Π΅, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΈΠ· расплава ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ вытягиваСтся Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠ° β€” нСбольшой кристалл Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ. По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ вытягивания расплав кристаллизуСтся, образуя Π΄Π»ΠΈΠ½Π½Ρ‹ΠΉ цилиндричСский слиток с идСальной Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ структурой.

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ контроля Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ скорости вращСния слитка. Π›ΡŽΠ±ΠΎΠ΅ ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ появлСнию Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ сдСлаСт ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ для производства микросхСм. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ слиток, ΠΈΠ»ΠΈ инголь, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ разрСзаСтся Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ пластины β€” пластины-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ (wafers), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ становятся основой для Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ².

Π’Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ этапом являСтся Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π² расплав Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ микроскопичСскиС количСства Π±ΠΎΡ€Π° ΠΈΠ»ΠΈ фосфора. Π­Ρ‚ΠΎ мСняСт элСктричСскиС свойства ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, дСлая Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° (p-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΈΠ»ΠΈ n-Ρ‚ΠΈΠΏΠ°). Π‘Π΅Π· этого шага ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ оставался Π±Ρ‹ изолятором ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ, нСспособным Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ логичСскиС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

β˜‘οΈ ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° слитка для Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

Π₯имичСский состав ΠΈ примСси

НСсмотря Π½Π° Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ основной элСмСнт β€” это ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π² Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅ всСгда ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ слСдовыС количСства Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… вСщСств. Π’ тСхничСском ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ это ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ, алюминий, ΠΊΠ°Π»ΡŒΡ†ΠΈΠΉ, Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½ ΠΈ Π±ΠΎΡ€. Π’ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ примСси ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² долях Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Ρ€Π΄ (ppb). Π”Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π°Ρ‚ΠΎΠΌ Π±ΠΎΡ€Π° Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² крСмния ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ элСктричСскоС сопротивлСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° Π½ΠΈΠΆΠ΅ дСмонстрируСт Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ΅ содСрТаниС примСсСй Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²ΠΈΠ΄Π°Ρ… крСмния:

Π’ΠΈΠ΄ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si), % Π–Π΅Π»Π΅Π·ΠΎ (Fe) Алюминий (Al) Π‘ΠΎΡ€ (B)
ΠšΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹ΠΉ пСсок 98-99 0.5-2.0 0.1-0.5 Π‘Π»Π΅Π΄Ρ‹
ВСхничСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ 98-99.5 0.01-0.1 0.01-0.1 0.001
ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ 99.9999+ <0.00001 <0.00001 <0.00001
ΠœΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π» 99.9999999+ Π‘Π»Π΅Π΄Ρ‹ Π‘Π»Π΅Π΄Ρ‹ ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ

Анализ химичСского состава проводится с использованиСм спСктромСтрии ΠΈ масс-спСктромСтрии. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ Π²Ρ‹ΡΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ элСмСнтов, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ·Π°Ρ… ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±Ρ€Π°ΠΊΠ° Π² производствС Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ². ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ этапС производства являСтся ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ.

ΠžΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ ΠΎΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²

Часто Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΡƒΡ‚Π°Π½ΠΈΡ†Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ (Silicon) ΠΈ силиконом (Silicone). Π­Ρ‚ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, хотя ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‰ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρƒ. ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β€” это химичСский элСмСнт, Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ‹ ΠΆΠ΅ β€” это синтСтичСскиС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, Π² основС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Ρ†Π΅ΠΏΠΎΡ‡ΠΊΠ° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² крСмния ΠΈ кислорода, Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ с органичСскими Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ°ΠΌΠΈ.

Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ для создания Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠΊΠΎΠ², смазок ΠΈ изоляционных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² благодаря своСй гибкости ΠΈ тСрмостойкости. Π’ Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для создания ТСстких структур, проводящих элСктричСство ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ эту Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° для ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ стоит ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ являСтся Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎ распространСнности элСмСнтом Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Π΅ послС кислорода. Π­Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ стратСгичСски Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ рСсурсом, Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ. Π”ΠΎΡΡ‚ΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ Π³Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ поставок, Π½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ очистки остаСтся Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ для ΡƒΠ΄Π΅ΡˆΠ΅Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ.

πŸ’‘

Если Π²Π°ΠΌ Π½ΡƒΠΆΠ΅Π½ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для высокотСмпСратурных ΠΏΠ΅Ρ‡Π΅ΠΉ, Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°ΠΉΡ‚Π΅ издСлия ΠΈΠ· ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄Π° крСмния, Π° Π½Π΅ чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β€” ΠΎΠ½ плавится ΠΏΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ свойства окислСния.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² соврСмСнной индустрии

Благодаря ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ свойствам, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ нашСл ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ практичСски Π²ΠΎ всСх сфСрах Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ. Основная ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ β€” микроэлСктроника, Π³Π΄Π΅ ΠΈΠ· Π½Π΅Π³ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ процСссоры, ΠΏΠ°ΠΌΡΡ‚ΡŒ ΠΈ логичСскиС схСмы. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ½ являСтся ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ для фотоэлСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, производящСй солнСчныС ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ.

Π’ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ€Π°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ стали ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ° для создания Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… сплавов с ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»ΠΈΡ‚Π΅ΠΉΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ свойствами. Π’ химичСской ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΠ½ слуТит основой для производства силиконов, силикатов ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Π² ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²Π΅ ΠΈ Π±Ρ‹Ρ‚Ρƒ.

По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ развития Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ трСбования ΠΊ чистотС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° растут. Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ процСссоры с тСхпроцСссом Π² нСсколько Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ крСмния с практичСски идСальной Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΎΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎ стимулируСт Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² очистки ΠΈ выращивания кристаллов, дСлая процСсс производства всС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоТным ΠΈ высокотСхнологичным.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ?

Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ Π±Ρ‹Π» ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, Π½ΠΎ Ρƒ Π½Π΅Π³ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ сущСствСнный нСдостаток: ΠΎΠ½ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ нСустойчивым ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ…. ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Π΅Π΅ ΠΈ дСшСвлС Π² производствС.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с чистым ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΌ состоянии Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ прСдостороТности, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ мСлкая ΠΏΡ‹Π»ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π΄Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Ρ‹Ρ…Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΉ. Π’ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ систСмы Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π°.

ΠŸΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ развития ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²

Π₯отя ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ остаСтся ΠΊΠΎΡ€ΠΎΠ»Π΅ΠΌ элСктроники, исслСдоватСли Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‚ Π½Π°Π΄ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ смогут Π΅Π³ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ. ΠšΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния (SiC) ΠΈ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ галлия (GaN) ΡƒΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² силовой элСктроникС для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с высокими напряТСниями ΠΈ частотами. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ эффСктивныС зарядныС устройства ΠΈ элСктромобили.

Однако для Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° логичСских Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡƒΡ€Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ Ρ†Π΅Π½Π°/качСство. Π Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ 3D-нанСсСния ΠΈ использования крСмния Π½Π° изоляторС (SOI) ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΡΡ‚ΡŒ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρ‹ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ. Π‘ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π΅ крСмния связано Π½Π΅ с Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΎΠΉ, Π° с ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² слоТныС систСмы.

Π‘Π½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ энСргопотрСблСния ΠΏΡ€ΠΈ очисткС ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ пСска β€” ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ соврСмСнных Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ внСдрСния Π·Π°ΠΌΠΊΠ½ΡƒΡ‚Ρ‹Ρ… Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ² производства ΠΈ использования возобновляСмых источников энСргии.

πŸ’‘

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β€” это Π½Π΅ искусствСнный ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π», Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ пСсок. ΠšΠ»ΡŽΡ‡ ΠΊ Π΅Π³ΠΎ использованию Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ очистки ΠΈ выращивания ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… кристаллов.

Из Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ сдСлан ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² чистом Π²ΠΈΠ΄Π΅?

Π’ чистом Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β€” это химичСский элСмСнт (Si), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π² ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ встрСчаСтся Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ соСдинСний, прСимущСствСнно диоксида крСмния (пСска ΠΈ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π°). Для получСния чистого ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° трСбуСтся химичСскоС восстановлСниС ΠΈΠ· этих соСдинСний.

МоТно Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях?

ВСорСтичСски Π΄Π°, Π½ΠΎ это Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с высокими Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°ΠΌΠΈ (Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 2000Β°C) ΠΈ опасными химичСскими Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ (соляная кислота, Ρ…Π»ΠΎΡ€). Π’ Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° нСвозмоТности ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ чистоту ΠΈ условия синтСза.

Бколько Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ процСсс очистки пСска Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°?

ΠŸΠΎΠ»Π½Ρ‹ΠΉ Ρ†ΠΈΠΊΠ» производства ΠΎΡ‚ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡ΠΈ пСска Π΄ΠΎ получСния Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… пластин-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… мСсяцСв Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ³ΠΎΠ΄Π°. Π‘Π°ΠΌ процСсс очистки Π³Π°Π·Π° ΠΈ выращивания кристалла Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ Π½Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈ, Π½ΠΎ логистика ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π΅ врСмя.

Π’ Ρ‡Π΅ΠΌ Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ тСхничСским ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ?

ВСхничСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ чистоту ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 99% ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΠΈ ΠΈ производствС силиконов. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ чистоту 99,9999999% ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π΅ΠΌΡƒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ элСктричСский Ρ‚ΠΎΠΊ Π±Π΅Π· искаТСний, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ микросхСм.