ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΡΡΠΎ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ²ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π», Π±Π΅Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π΅ΠΌΡΡΠ»ΠΈΠΌΡ Π½ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΡ, Π½ΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΈ, Π½ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ Π»ΡΠ΄Π΅ΠΉ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠΎ Π½Π΅ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ Π΄Π΅Π»Π΅ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈΠ»Π° Π½Π°ΠΌ ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π² ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ , ΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅Ρ Π½Π° Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ Β«ΠΈΠ· ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π½ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ» Π»Π΅ΠΆΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π·Π½Π°ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡ.
Π ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ·-Π·Π° Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ½ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Ρ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π΄Π»Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠΎΠ² Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ Ρ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΠΈ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΄Ρ, Π° Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Π½Π΅ΡΠ΅ ΡΡΡΡΡ β ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° ΠΈ Π³ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ΄, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΈΠ· ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΡΡΠ΅, ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠ΄Ρ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°, Π±ΡΠ΄Ρ ΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠΊ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ°Π²Π°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠΎΡ ΠΏΡΡΡ ΠΎΡ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ.
ΠΠ΅ΡΠ²ΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΡΡΠ΅: ΠΠ²Π°ΡΡ ΠΈ ΠΠ΅ΡΠΎΠΊ
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅ Π·Π°Π»Π΅ΠΆΠΈ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠΈΡΠ°. ΠΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ° (SiO2), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°, Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΡ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π·Π°Π»Π΅ΠΆΠ΅ΠΉ Π΄ΠΎΠ±ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΡΠ΅ Π΄Π»Ρ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π½Π΅ Π»ΡΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²Π΅, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, Π³Π»ΠΈΠ½ ΠΈ ΡΠΎΠ»Π΅ΠΉ. ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΡΡΠ΅ Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ SiO2 Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 98-99%. ΠΠΎΠ±ΡΡΠ° ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΡΡ Π²Π΅Π΄Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΊΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ°Ρ , Π³Π΄Π΅ Π³Π΅ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ Π±Π΅Π· Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΠ²ΠΊΠΈ.
ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΈ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ. ΠΡΠ»ΠΈ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΎΡΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠΎΠΉ Π½Π° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ ΡΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΡΠ±ΠΎΡ ΠΈ ΡΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠ΅ ΠΏΡΡΠ°ΠΉΡΠ΅ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ΅ΠΊΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ, ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ. Π’ΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΈΡΡΠΎΡΠ΅ SiO2 Π² ΡΡΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² Π΄ΡΠ³ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ . ΠΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠ²Π°ΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Ρ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ β ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ³ΠΎΠ»Ρ, ΠΊΠΎΠΊΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΡΠ΅Π²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠΊΠΈ. Π‘ΠΌΠ΅ΡΡ Π·Π°Π³ΡΡΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΡΠ³ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ 2000Β°C. Π ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π° ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅.
Π Π΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΠΈΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ: SiO2 + 2C β Si + 2CO. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° (MG-Si). ΠΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 98-99%, ΡΡΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠ², Π½ΠΎ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. Π Π½Π΅ΠΌ Π²ΡΠ΅ Π΅ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°.
ΠΠ»Ρ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠΌ. ΠΠ½ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΉ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½ΠΈΡΡΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΠ° ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΡΡ ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ², Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Π»Ρ β ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ².
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠΈΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡΠΈΡΡΠΈΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ 99,9999% (ΠΈ Π²ΡΡΠ΅). Π‘Π°ΠΌΡΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ β ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π‘ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. Π Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΡΠΈΡ Π»ΠΎΡΡΠΈΠ»Π°Π½ β Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠΎΡ Π³Π°Π· Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΡΡΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΠΎΠ½ΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ.
ΠΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΡΠΈΡ Π»ΠΎΡΡΠΈΠ»Π°Π½ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡ, Π³Π΄Π΅ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ Π½ΠΈΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΡΡΠΈ Π½ΠΈΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΎΠ»ΡΠ°ΡΡΡΡ, ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΡ Π² ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π±Π»Π΅ΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ, Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΌΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠ°ΠΌΠ½ΠΈ, ΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΈ Π°Π»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ β ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΠ»Π°Π½Π° (SiH4), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° Π²Π·ΡΡΠ²ΠΎΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π³Π°Π·Π°. ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° ΡΠ°ΡΡΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π·Π°ΠΊΠ°Π·ΡΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π΅. Π Π»ΡΠ±ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅, Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ½Π΅ΠΉ β ΡΠ±ΡΠ°ΡΡ Π²ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ, ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠ·Π°ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½. ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ½Π½Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌΡΡ Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π·Π° ΡΡΡΠΊΠΈ.
Π€ΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π°ΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ°ΠΏ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊΡΡΠΎΡΠ΅ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡΡΡ Π² ΡΠΈΠ³Π»Π΅, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΊΠ° β Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠΊ Ρ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ.
ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠ°. ΠΡΠ±ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π½Π΅ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠΊ, ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½Π³ΠΎΠ»Ρ, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ΅Π·Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ β ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ (wafers), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ Π±ΡΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ².
ΠΠ°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π² Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π±ΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ°. ΠΡΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, Π΄Π΅Π»Π°Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° (p-ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈΠ»ΠΈ n-ΡΠΈΠΏΠ°). ΠΠ΅Π· ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π³Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π²Π°Π»ΡΡ Π±Ρ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ, Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠΌ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
βοΈ ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΈ
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ β ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π² ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π΅ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ². Π ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠΉ, ΡΠΈΡΠ°Π½ ΠΈ Π±ΠΎΡ. Π ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΡΡΡΡ Π² Π΄ΠΎΠ»ΡΡ Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄ (ppb). ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π°ΡΠΎΠΌ Π±ΠΎΡΠ° Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° Π½ΠΈΠΆΠ΅ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π²ΠΈΠ΄Π°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ:
| ΠΠΈΠ΄ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° | ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si), % | ΠΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ (Fe) | ΠΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ (Al) | ΠΠΎΡ (B) |
|---|---|---|---|---|
| ΠΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ | 98-99 | 0.5-2.0 | 0.1-0.5 | Π‘Π»Π΅Π΄Ρ |
| Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ | 98-99.5 | 0.01-0.1 | 0.01-0.1 | 0.001 |
| ΠΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ | 99.9999+ | <0.00001 | <0.00001 | <0.00001 |
| ΠΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» | 99.9999999+ | Π‘Π»Π΅Π΄Ρ | Π‘Π»Π΅Π΄Ρ | ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ |
ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡ-ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ Π²ΡΡΠ²ΠΈΡΡ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ΄ΠΎΠ·Π°Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±ΡΠ°ΠΊΠ° Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΈΠΏΠΎΠ². ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ.
ΠΡΠ»ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²
Π§Π°ΡΡΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΡΠ°Π½ΠΈΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ (Silicon) ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌ (Silicone). ΠΡΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, Ρ ΠΎΡΡ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΡΡΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ ΠΆΠ΅ β ΡΡΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ, Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠ° Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠ΅ΡΠ΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ ΡΡ Ρ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ°ΠΌΠΈ.
Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠΌΠ°Π·ΠΎΠΊ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ. Π ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ. ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ.
Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠΎΡΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΡΡΠ°ΡΠ΅Π³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΎΠΌ, Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ. ΠΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΡΡΡ Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠΊ, Π½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π΅ΡΠ΅Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Π°ΠΌ Π½ΡΠΆΠ΅Π½ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΠΉΡΠ΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π° Π½Π΅ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΎΠ½ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ
ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π°ΡΠ΅Π» ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ β ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°, Π³Π΄Π΅ ΠΈΠ· Π½Π΅Π³ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ, ΠΏΠ°ΠΌΡΡΡ ΠΈ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡ Π΅ΠΌΡ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ½ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ.
Π ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. Π Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ½ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²Π΅ ΠΈ Π±ΡΡΡ.
ΠΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΈΡΡΠΎΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠ°ΡΡΡΡ. Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ Ρ ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ. ΠΡΠΎ ΡΡΠΈΠΌΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΈ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², Π΄Π΅Π»Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΌ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ?
ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ Π±ΡΠ» ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, Π½ΠΎ Ρ Π½Π΅Π³ΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊ: ΠΎΠ½ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΌ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ . ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½Π΅Π΅ ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²Π»Π΅ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΠΈΡΡΡΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠ»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°Π·Π΄ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΡΡ Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΉ. Π ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π°.
ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²
Π₯ΠΎΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΠ»Π΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π½Π°Π΄ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΡ. ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC) ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ (GaN) ΡΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ Π·Π°ΡΡΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΠΈ.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π½Π°/ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ. Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ 3D-Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠ΅ (SOI) ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΡΡ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ. ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Π½Π΅ Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΎΠΉ, Π° Ρ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ.
Π‘Π½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° β ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π³Π»Π°Π²Π½ΡΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΠΌΠΊΠ½ΡΡΡΡ ΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π», Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ. ΠΠ»ΡΡ ΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ Π² ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΈ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
ΠΠ· ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π½ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅?
Π ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΡΡΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ (Si), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° ΠΈ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°). ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ.
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ?
Π’Π΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π°, Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ (Π²ΡΡΠ΅ 2000Β°C) ΠΈ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ (ΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ°, Ρ Π»ΠΎΡ). Π Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π°.
Π‘ΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°?
ΠΠΎΠ»Π½ΡΠΉ ΡΠΈΠΊΠ» ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΎΡ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ΅Π² Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ³ΠΎΠ΄Π°. Π‘Π°ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ Π³Π°Π·Π° ΠΈ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ Π½Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈ, Π½ΠΎ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΡΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ.
Π ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ?
Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 99% ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠ². ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ 99,9999999% ΠΈ Π²ΡΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊ Π±Π΅Π· ΠΈΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ.