ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ нанСсСния Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ являСтся Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π² соврСмСнном ΠΌΠ°ΡˆΠΈΠ½ΠΎΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ микроэлСктроникС. Когда говорят ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·ΡƒΠΌΠ΅Π²Π°ΡŽΡ‚ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ‚ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π΄ΠΎ сотСн ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½. Π­Ρ‚Π° тСхнология позволяСт ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ свойства Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Π½Π΅ мСняя Π΅Π³ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ структуры.

БущСствуСт мноТСство ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ свои физичСскиС ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΡ‹ ΠΈ области примСнСния. ΠžΡ‚ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ способа зависит адгСзия покрытия, Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ химичСская ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π° Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚, Π½ΠΎ ΠΈ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскиС процСссы, происходящиС Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π° Ρ„Π°Π·.

ЀизичСскиС основы процСсса ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхностСй

Π›ΡŽΠ±Π°Ρ опСрация ΠΏΠΎ нанСсСнию покрытия начинаСтся с Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π‘Π΅Π· идСально ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ повСрхности сцСплСниС слоСв Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ нСдостаточным, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ быстрому ΠΎΡ‚ΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ проходят Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· нСсколько стадий очистки: ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ масСл, оксидных ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΈ мСханичСских загрязнСний.

Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΉΠ½ΡƒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ, химичСскоС Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΡŽ. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‡ΡŒ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ ΠΈ наносимым ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΌ. Если ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ слишком гладкая, адгСзия ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ, Ссли слишком ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π°Ρ β€” Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΡƒΡ‚ "ΠΏΠΈΠΊΠΈ", ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€ΠΎΡŽΡ‚ΡΡ слоСм Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ.

На этом этапС Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ провСряСтся гСомСтрия Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ. Π›ΡŽΠ±Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ base-metal ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‡Π°Π³Π°ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ напряТСний послС нанСсСния покрытия. ОсобСнно ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½Π° чистота ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, Π³Π΄Π΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ микроскопичСская частица ΠΏΡ‹Π»ΠΈ способна Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Ρ†Π΅Π»ΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ слоя.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠžΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠΈ масСл ΠΈΠ»ΠΈ смазочных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° повСрхности Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΡ€ Π² ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ сдСлаСт Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρƒ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ нСэффСктивной.

Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ тСрмичСского ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ напылСния

Π‘Π°ΠΌΡ‹ΠΌ распространСнным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ для восстановлСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ создания толстых Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв являСтся тСрмичСскоС Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π’ этом процСссС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» (ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ°) расплавляСтся Π² ΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ элСктричСской Π΄ΡƒΠ³Π΅ ΠΈ с высокой ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ направляСтся Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ здСсь являСтся Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° плавлСния ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ частиц.

БущСствуСт нСсколько основных разновидностСй тСрмичСского напылСния. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π³Π°Π·, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°Π΅Ρ‚ частицы Π΄ΠΎ свСрхвысоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ„Ρ€Π°ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½. ΠŸΡ€ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ сгораниС Π³Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… смСсСй, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для Ρ†ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈ алюминия.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ настройки ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²: расхода Π³Π°Π·Π°, напряТСния Π΄ΡƒΠ³ΠΈ ΠΈ расстояния Π΄ΠΎ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ. ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ постоянно ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ состояниС распыляСмого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Если ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ сбиты, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ получаСтся Ρ€Ρ‹Ρ…Π»Ρ‹ΠΌ ΠΈ пористым, Ρ‡Ρ‚ΠΎ нСдопустимо для отвСтствСнных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ².

πŸ“Š КакоС Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго Π² вашСм производствС?
ВСрмичСскоС
Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅
PVD/CVD
Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ΅

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ тСрмичСском Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ нагрСваСтся, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Π΅Π΅ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. Для Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π² для компСнсации Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€. Алюминий ΠΈ Ρ†ΠΈΠ½ΠΊ часто наносятся ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ тСрмичСским способом для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ конструкций ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ.

πŸ’‘

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎΠΌ процСсса напылСния всСгда провСряйтС Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ сТатого Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° Π² магистрали, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π»Π°Π³Π° Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ окислСниС расплавлСнных частиц ΠΈ сниТаСт ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ покрытия.

Π’Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹: PVD ΠΈ CVD Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ

Когда трСбуСтся созданиС Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ…, износостойких ΠΈ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ, Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ»Π°Π½ выходят ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСского осаТдСния ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Ρ‹. ВСхнология PVD (Physical Vapor Deposition) ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·ΡƒΠΌΠ΅Π²Π°Π΅Ρ‚ испарСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° мишСни Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ осаТдСниС Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ слои Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² нСсколько ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½ с ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ тСрмичСского напылСния, здСсь ΠΎΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ расплавлСнныС ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ. Атомы ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ ΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ, образуя ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½ΡƒΡŽ структуру. Часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΌΠ°Π³Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ распылСния, Π³Π΄Π΅ ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ Π³Π°Π·Π° Π²Ρ‹Π±ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ ΠΈΠ· мишСни ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм элСктричСского поля. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹Π΅ покрытия Π½Π° Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΉ инструмСнт.

ВСхнология CVD (Chemical Vapor Deposition) Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ½Π°Ρ‡Π΅: рСакция происходит Π·Π° счСт химичСских ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΉ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… прСкурсоров Π½Π° Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚ΠΎΠΉ повСрхности Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ покрытия слоТного состава, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ CVD ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

β˜‘οΈ ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ PVD

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠ°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ Π²ΠΎ врСмя процСсса PVD ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ окислСнию покрытия ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€Π΅ Π΅Π³ΠΎ твСрдости, дСлая вСсь Ρ†ΠΈΠΊΠ» производства Π±Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ.

Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ элСктролитичСскоС осаТдСниС

Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠ° остаСтся самым массовым способом нанСсСния мСталличСских ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ основан Π½Π° пропускании элСктричСского Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· раствор элСктролита, содСрТащий ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ напыляСмого ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. Аниодом слуТит ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» покрытия, Π° ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ β€” Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ. Π˜ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° пСрСносятся ΠΊ повСрхности Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΡƒΡŽ Ρ„Π°Π·Ρƒ.

Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ гальваники ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅, Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²Ρ‹Π΅, ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ Ρ†ΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ слои. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° покрытия рСгулируСтся Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ нахоТдСния Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ Π² Π²Π°Π½Π½Π΅ ΠΈ силой Ρ‚ΠΎΠΊΠ°. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ позволяСт ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ издСлия слоТной Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠ΅ полости, ΠΏΡ€ΠΈ условии ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ установки Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ слоя сильно зависит ΠΎΡ‚ состава элСктролита. НСобходимо строго ΡΠΎΠ±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ солСй, кислот ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π²Π°Π½Π½Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ: ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½Π° нСсколько градусов ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ структуру кристаллов ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ с Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ напылСния Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° покрытия ОсновноС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° процСсса
ВСрмичСскоС (ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ°) ΠžΡ‚ 0,1 Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΌ ВосстановлСниС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Ρ‹ Высокая (доплавлСния)
PVD (ΠœΠ°Π³Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½) 0,5 - 5 ΠΌΠΊΠΌ Π Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΉ инструмСнт, Π΄Π΅ΠΊΠΎΡ€ БрСдняя (Π΄ΠΎ 500Β°C)
CVD 1 - 50 ΠΌΠΊΠΌ Π˜Π·Π½ΠΎΡΠΎΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ покрытия Высокая (Π΄ΠΎ 1000Β°C)
Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ 1 - 100 ΠΌΠΊΠΌ ΠšΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π°, Π΄Π΅ΠΊΠΎΡ€ Низкая (комнатная - 60Β°C)

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π²Π°Π½Π½Π°ΠΌΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡƒΡŽ Π²Ρ‹Ρ‚ΡΠΆΠ½ΡƒΡŽ Π²Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ»ΡΡ†ΠΈΡŽ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ Π³Π°Π·Ρ‹ (Ρ…Π»ΠΎΡ€, Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄) токсичны ΠΈ взрывоопасны.

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства ΠΈ дСфСктоскопия ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ

ПослС Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ процСсса нанСсСния покрытия ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ этапом являСтся Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ. ΠžΡ†Π΅Π½ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя, ΠΏΠΎΡ€ΠΈΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ адгСзия ΠΊ основС. Для измСрСния Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅, Π²ΠΈΡ…Ρ€Π΅Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ рСнтгСнофлуорСсцСнтныС Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹. Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° зависит ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… свойств ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ покрытия.

ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ часто проводится ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚Ρ‡Π°Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π΄Ρ€Π΅Π·Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ испытаниСм Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ€Ρ‹Π². Π‘Π΅Ρ‚ΠΊΠ° Π½Π°Π΄Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ² дСлаСтся Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅Π·Ρ†ΠΎΠΌ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ наклСиваСтся ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Π»Π΅Π½Ρ‚Π° ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ срываСтся. Если ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΠΎΡ‚ΡΠ»ΠΎΠΈΠ»ΠΎΡΡŒ Π² Π·ΠΎΠ½Π°Ρ… Π½Π°Π΄Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ², адгСзия считаСтся достаточной. Для отвСтствСнных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² проводятся испытания Π½Π° ΡƒΠ΄Π°Ρ€Π½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

ДСфСктоскопия Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ осмотр ΠΏΠΎΠ΄ микроскопом для выявлСния ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½, сколов ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° покрытия Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ. Π›ΡŽΠ±Ρ‹Π΅ нСмСталличСскиС Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ свойства ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‡Π°Π³Π°ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ Π² процСссС эксплуатации.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ эффСкт "островков" ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ?

ΠŸΡ€ΠΈ нСдостаточной энСргии частиц Π½Π° Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ этапС напылСния ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ формируСтся Π½Π΅ сплошной ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ, Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ островками, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ со Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΡΠ»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ, Π½ΠΎ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ€Ρ‹.

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΡƒΡŽ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Ρƒ

НС сущСствуСт ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠ» Π±Ρ‹ для всСх случаСв. Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… свойств, Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ экономичСских Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ². Если Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ ось станка, цСлСсообразно ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ тСрмичСскоС Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΎ Π΄Π°Π΅Ρ‚ толстый слой. Для Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ свСрла ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ PVD, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π±Π΅Π· измСнСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ².

ЭкономичСская ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ Π²Π°ΠΆΠ½ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ. Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ дСшСва для массового производства ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ, Π½ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ слоТной систСмы очистки сточных Π²ΠΎΠ΄. PVD ΠΈ CVD установки Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈ Π² ΠΏΠΎΠΊΡƒΠΏΠΊΠ΅ ΠΈ обслуТивании, Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ свойства, нСдоступныС Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΡΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². НСкоторыС Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ напылСния Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ использования Ρ†ΠΈΠ°Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ тяТСлых ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ строгиС ограничСния Π½Π° производство. ЭкологичСскиС Π½ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ Π΄ΠΈΠΊΡ‚ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ внСдрСния систСм Π·Π°ΠΌΠΊΠ½ΡƒΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π° ΠΈ Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

πŸ’‘

ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ напылСния β€” это баланс ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ эксплуатационными характСристиками ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности.

ΠŸΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ

БоврСмСнная ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ двиТСтся Π² сторону создания Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ ΠΈ использования Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ. Π Π°Π·Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ многослойныС структуры с Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ слоСв Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ твСрдости, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ€Π°Π·Ρ‹. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ внСдряСтся Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ кСрамичСских ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ².

Автоматизация процСссов позволяСт ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ влияниС чСловСчСского Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°. Π ΠΎΠ±ΠΎΡ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ манипуляторы Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡŽ двиТСния распылитСля, обСспСчивая Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ слоя Π½Π° слоТных повСрхностях. Π­Ρ‚ΠΎ особСнно Π°ΠΊΡ‚ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ для Π»ΠΎΠΏΠ°Ρ‚ΠΎΠΊ Ρ‚ΡƒΡ€Π±ΠΈΠ½ ΠΈ элСмСнтов Π°Π²ΠΈΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π²ΠΈΠ³Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ.

Π Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ возмоТности для нанСсСния ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ Π½Π° тСрмочувствивыС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΡΠ΅Ρ‚ сфСру примСнСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² элСктроникС, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠ½Π΅ ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ. Π‘Π½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ процСсса PVD Π΄ΠΎ 100Β°C позволяСт Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ мСталличСскиС слои Π½Π° пластик, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π½Π΅Π΅.

Какой ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ напылСния Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ?

Для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ†ΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ (Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ тСрмичСскоС) ΠΈ Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ВСрмичСскоС Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ†ΠΈΠ½ΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ алюминиСм создаСт Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ слой, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΠ°ΠΊ протСкторная Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π°, ТСртвуя собой Ρ€Π°Π΄ΠΈ сохранСния основы.

МоТно Π»ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» Π½Π° пластик?

Π”Π°, это Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π½ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΉ) ΠΈ нанСсти Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ проводящий слой (часто мСдь ΠΈΠ»ΠΈ никСль) ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ химичСского осаТдСния, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.

Как ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ качСство напылСния Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях?

Π’ Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ провСсти Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ осмотр Π½Π° Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΏΡƒΠ·Ρ‹Ρ€Π΅ΠΉ ΠΈ отслоСний, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠΌ. Для Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ пористости Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.

Π§Π΅ΠΌ отличаСтся Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ хромирования?

Π₯Ρ€ΠΎΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ β€” это частный случай Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ напылСния, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π² качСствС покрытия ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌ. Π’Π΅Ρ€ΠΌΠΈΠ½ "Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅" ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ относится ΠΊ тСрмичСским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌ (ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ°, Π΄ΡƒΠ³Π°), Π½ΠΎ Π² Π±Ρ‹Ρ‚Ρƒ ΠΏΠΎΠ΄ Π½ΠΈΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·ΡƒΠΌΠ΅Π²Π°Ρ‚ΡŒ любой ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ нанСсСния мСталличСского слоя.

ВлияСт Π»ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ Π½Π° качСство покрытия?

Π”Π°, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½Π°. Блишком низкая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΠΈ пористости, слишком высокая β€” ΠΊ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ химичСским рСакциям Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ слоСв. Для ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ сущСствуСт свой ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ.