ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ являСтся Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎ распространСнности элСмСнтом Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Π΅, уступая Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ кислороду. НСсмотря Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΈΠ»ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ диоксида крСмния (пСска, ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π°, ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†ΠΈΡ‚Π°), Π² свободном Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΎΠ½ практичСски Π½Π΅ встрСчаСтся. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β€” это слоТная многоэтапная Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π°, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ высокотСмпСратурных процСссов ΠΈ строгого контроля химичСских Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ.

Для индустрии элСктроники ΠΈ солнСчной энСргСтики нСдостаточно просто ΠΈΠ·Π²Π»Π΅Ρ‡ΡŒ элСмСнт ΠΈΠ· Ρ€ΡƒΠ΄Ρ‹. НСобходима многоступСнчатая очистка Π΄ΠΎ уровня ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ чистоты, Π³Π΄Π΅ содСрТаниС примСсСй измСряСтся долями Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Ρ€Π΄. Π’ этой ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ ΠΌΡ‹ Ρ€Π°Π·Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ довСсти Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎ состояния, ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ для производства микросхСм.

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ источника

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ этапом получСния крСмния являСтся Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ подходящСго ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ. НаиболСС доступным ΠΈ Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π²Ρ‹ΠΌ источником слуТит высокочистый ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹ΠΉ пСсок ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†ΠΈΡ‚. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ пСсок для этих Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΈΠ·-Π·Π° высокого содСрТания органичСских примСсСй ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… оксидов ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ². Π’Π°ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ с содСрТаниСм SiO2 Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 99%, ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ с ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ содСрТаниСм ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°.

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π² сСбя Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ очистку, ΠΌΠΎΠΉΠΊΡƒ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡŒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅. ΠšΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ куски ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π΄Ρ€ΠΎΠ±Π»Π΅Π½Ρ‹ Π΄ΠΎ Ρ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ 1-3 ΠΌΠΌ для обСспСчСния Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ протСкания Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ Π² ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ. Π§Π΅ΠΌ Ρ‡ΠΈΡ‰Π΅ исходноС ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅, Ρ‚Π΅ΠΌ мСньшС усилий потрСбуСтся Π½Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… стадиях очистки ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Π°.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ карботСрмичСского восстановлСния

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ способом получСния крСмния являСтся карботСрмичСскоС восстановлСниС Π² Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… элСктропСчах. Π’ этом процСссС диоксид крСмния восстанавливаСтся ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (кокс, дрСвСсный ΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒ, ΠΏΠΈΠ»ΠΎΡ€Π°) ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 1800Β°C. РСакция ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ: SiO2 + 2C β†’ Si + 2CO.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ происходит Π² спСциализированной ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ с Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ элСктродами. Π’Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ формируСтся нСсколько Π·ΠΎΠ½: Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ, ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΈ Π·ΠΎΠ½Π° плавлСния. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π° Π΄Π½Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ расплав спускаСтся ΠΈ охлаТдаСтся, образуя слитки тСхничСского крСмния. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» называСтся мСталлургичСским ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ чистоту ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 98-99%.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ мСталлургичСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ содСрТит Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ количСство примСсСй: алюминия, ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, ΠΊΠ°Π»ΡŒΡ†ΠΈΡ ΠΈ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°. Для использования Π² элСктроникС ΠΎΠ½ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π΅Π½. Однако для производства Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… сплавов ΠΈΠ»ΠΈ силиконов (ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ²) этот ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ чистоты часто являСтся достаточным. Если Π²Π°ΠΌ Π½ΡƒΠΆΠ΅Π½ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для фотоэлСктричСских ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Π΅ΠΉ, этого этапа нСдостаточно.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ восстановлСния Π² элСктропСчах Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… энСргозатрат. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π΄ΡƒΠ³ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒ 3000-4000Β°C, поэтому Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π° с Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π±Π΅Π· ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ экипировки катСгоричСски Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π°.

πŸ“Š Какой ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ очистки Π²Π°ΠΌ интСрСсСн?
ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ
ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ
ЀотоэлСктричСский
Научный экспСримСнт

Π₯имичСская очистка Π΄ΠΎ трихлорсилана

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ пСрСвСсти Π΅Π³ΠΎ Π² Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ΅ состояниС ΠΈ провСсти Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΡΡ†ΠΈΡŽ. ВСхничСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡŒΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° ΠΈ Ρ€Π΅Π°Π³ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ с соляной кислотой ΠΈΠ»ΠΈ Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ 300Β°C. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ образуСтся трихлорсилан (HSiCl3) ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ хлорсиланы.

Газообразная смСсь подвСргаСтся слоТной многоступСнчатой Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. Благодаря Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π΅ Π² Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… кипСния Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… соСдинСний, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ трихлорсилан ΠΎΡ‚ примСсСй ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, алюминия ΠΈ Π±ΠΎΡ€Π°. Π­Ρ‚ΠΎ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ этап, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ слСдовыС количСства Π±ΠΎΡ€Π° ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΈΠΏ проводимости Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ кристалла.

ПослС очистки трихлорсилан восстанавливаСтся Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… химичСских Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°Ρ…. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π½Π° раскалСнных стСрТнях ΠΈΠ· крСмния осСдаСт чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄, Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π² сСрСдинС XX Π²Π΅ΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ» ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ»ΡŽΡ†ΠΈΡŽ Π² микроэлСктроникС.

ΠžΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ хлорсиланы ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ агрСссивными ΠΈ токсичными вСщСствами. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π΅ с Π²Π»Π°Π³ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ, выдСляя Π΅Π΄ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹ соляной кислоты. Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ с Π½ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… систСмах с ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΠΉ вСнтиляциСй.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΈ Czochralski

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ поликристалличСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ) Π΅Ρ‰Π΅ Π½Π΅ являСтся монокристаллом. Для выращивания монокристалличСских слитков ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Π²Π° основных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°: ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ (Czochralski) ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ. Π’ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠ° опускаСтся Π² расплав поликрСмния ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ поднимаСтся с Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, вытягивая Π·Π° собой Π΅Π΄ΠΈΠ½Ρ‹ΠΉ кристалл.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ (Zone Refining) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для достиТСния Ρ€Π΅ΠΊΠΎΡ€Π΄Π½ΠΎΠΉ чистоты. Узкая ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ расплава пСрСмСщаСтся вдоль стСрТня ΠΈΠ· поликрСмния. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅Π½Π΄Π΅Π½Ρ†ΠΈΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² расплавлСнной Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒΡΡ вмСстС с Π½Π΅ΠΉ ΠΊ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Ρƒ стСрТня. ΠŸΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΡ этот процСсс ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Β«Π²Ρ‹Π³Π½Π°Ρ‚ΡŒΒ» примСси Π² Ρ‚ΠΎΡ€Π΅Ρ†, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠ°?

Π—Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠ° β€” это нСбольшой кусок монокристалличСского крСмния ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ. Она Π·Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ структуру роста всСго Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ кристалла, заставляя Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² строгом порядкС.

β˜‘οΈ ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊ Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ кристалла

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠΌ являСтся слиток крСмния Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Π΄ΠΎ 300 ΠΌΠΌ (12 дюймов), чистота ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ достигаСт 99.9999999% (9N). ИмСнно ΠΈΠ· Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π°Ρ€Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚ΡΡ пластины для микропроцСссоров.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° сравнСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² очистки

НиТС ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ характСристика основных стадий очистки, Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ чистоты ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ этапС производства.

Π­Ρ‚Π°ΠΏ процСсса Π˜ΡΡ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΠ΅ Чистота (%) ОсновноС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ восстановлСниС ΠšΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹ΠΉ пСсок + кокс 98.0 - 99.0 ΠΠ»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ сплавы, силиконы
Π₯имичСская очистка (трихлорсилан) ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ 99.9999 (6N) Π‘ΠΎΠ»Π½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ Π±Π°Ρ‚Π°Ρ€Π΅ΠΈ
Зонная ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° (ΠΎΡ‚ΠΆΠΈΠ³) ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ 99.9999999 (9N) ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°, Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ
Π­ΠΏΠΈΡ‚Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ рост ΠœΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ 99.99999999 (10N) ВысокоскоростныС процСссоры

Π›Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Π΅ способы получСния

Π‘ΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ‹Π΅ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… условиях для получСния ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… количСств крСмния. Один ΠΈΠ· Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… способов β€” восстановлСниС Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° крСмния ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Π’ этом процСссС происходит ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ бурная рСакция, поэтому Π΅Π΅ проводят с большой ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ экраны.

πŸ’‘

Если Π²Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅ экспСримСнт ΠΏΠΎ Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ, всСгда добавляйтС Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ порциями, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΈ выброса расплава ΠΈΠ· Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°.

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ элСктролиз расплавлСнных фторосиликатов. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ слоТнСС Π² Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ поддСрТания высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΈ использования ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… элСктродов. Однако ΠΎΠ½ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ с мСньшим содСрТаниСм ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… примСсСй ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с карботСрмичСским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

Для Π»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ энтузиастов Π‘Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π»ΡŽΠ±Ρ‹Ρ… химичСских экспСримСнтов с нСорганичСскими соСдинСниями.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ВсС Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ с участиСм Ρ…Π»ΠΎΡ€Π°, Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° ΠΈ расплавлСнного ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² вытяТном ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ с исправной систСмой вСнтиляции. Никогда Π½Π΅ ΠΏΡ‹Ρ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ΡΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ эти ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Ρ‹ Π² ΠΆΠΈΠ»ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ.

Π˜Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠΌ всСх этих процСссов становится ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π», ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ являСтся основой соврСмСнной Ρ†ΠΈΠ²ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π‘Π΅Π· чистого крСмния Π½Π΅ Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π±Ρ‹ Π½ΠΈ смартфонов, Π½ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ², Π½ΠΈ эффСктивных солнСчных элСктростанций. ΠŸΡƒΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ простого пСска Π΄ΠΎ Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π° Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ мСсяцы ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ дСсятки тСхнологичСских ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠ².

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ процСссов, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° плавлСния ΠΈ коэффициСнт распрСдСлСния примСсСй, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² зависимости ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ оборудования ΠΈ поставщика ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ. ВсСгда свСряйтС тСхнологичСскиС ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Ρ‹ с ΠΎΡ„ΠΈΡ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ производитСля ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ запуском.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ этапы формирования пластин

ПослС получСния монокристалличСского слитка Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ. Π‘Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° слиток ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚ с Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†ΠΎΠ², удаляя Π·ΠΎΠ½Ρ‹ с высокой ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ примСсСй. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π΅Π³ΠΎ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΡƒΡŽΡ‚ Π΄ΠΎ идСального Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Π°, провСряя ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ рСнтгСновским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ шаг β€” Π½Π°Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° слитка Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ пластины (Π²Π°Ρ„Π»ΠΈ) с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹Ρ… дисков. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ пластины ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ всСго нСсколько сотСн ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½. ПослС Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ пластины ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π΄ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ блСска, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, возникшиС ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ΅.

Π“ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ пластины проходят Ρ„ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ чистку Π² агрСссивных кислотах ΠΈ Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π°Ρ…, удаляя Π»ΡŽΠ±Ρ‹Π΅ органичСскиС ΠΈ мСталличСскиС загрязнСния с повСрхности. Волько послС этого ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‚ Π½Π° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΠΎ производству ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм, Π³Π΄Π΅ Π½Π° ΠΈΡ… основС ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ транзисторы.

FAQ: Часто Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ вопросы ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ крСмния

МоТно Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ стСкла Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях?

ВСорСтичСски Π΄Π°, Π½ΠΎ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ слоТно ΠΈ нСэффСктивно. Π‘Ρ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎ содСрТит оксид крСмния, Π½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… оксидов (ΠΊΠ°Π»ΡŒΡ†ΠΈΡ, натрия, алюминия), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΌΠ΅ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ восстановлСния. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ слишком ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ примСсСй для любого практичСского примСнСния.

Какая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π½ΡƒΠΆΠ½Π° для ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ крСмния?

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° плавлСния чистого крСмния составляСт ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1414Β°C. Для карботСрмичСского восстановлСния Π² ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 1800Β°C для обСспСчСния протСкания Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ нСльзя просто Π²Ρ‹ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ· пСска Π² ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ?

ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚Π°Ρ Π²Ρ‹ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° даст Π²Π°ΠΌ мСталлургичСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ с чистотой ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 98%. Для элСктроники трСбуСтся чистота 99.9999999%. Π Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π° колоссальна, ΠΈ достигаСтся ΠΎΠ½Π° Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ химичСскими ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ очистки ΠΈ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ.

КакиС примСси самыС опасныС для крСмния?

НаиболСС ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ элСмСнты: Π±ΠΎΡ€ ΠΈ фосфор. Π”Π°ΠΆΠ΅ ΠΈΡ… слСдовыС количСства (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1 Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ° Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Ρ€Π΄) ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ элСктричСскиС свойства крСмния, сдСлав Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ для использования Π² качСствС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° n- ΠΈΠ»ΠΈ p-Ρ‚ΠΈΠΏΠ°.

Бколько стоит ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ для получСния чистого крСмния?

ΠžΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ для получСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ крСмния (Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ Бильвана, Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ) стоит ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»Π»Π°Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ слоТной инфраструктуры. Π›Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Π΅ установки для получСния мСталлургичСского крСмния Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ дСшСвлС, Π½ΠΎ всС Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡ„Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄Π°.