Вочная ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ° мСханичСских свойств ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² часто становится критичСским этапом Π² ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅ качСства, особСнно ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Ρ€Π΅Ρ‡ΡŒ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎ тонкостСнных издСлиях ΠΈΠ»ΠΈ дСталях с Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ слоСм. Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ испытаниС ΠΏΠΎ Π‘Ρ€ΠΈΠ½Π΅Π»Π»ΡŽ, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ°Π·ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ·-Π·Π° Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹ внСдрСния ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€Π°. Π’ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ситуациях ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°Ρ‚ΡŒ спСциализированныС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ, способныС ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ достовСрныС Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π±Π΅Π· Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ².

ПониманиС Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ процСсса вдавливания позволяСт ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€Ρ‹ ΠΈ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ дорогостоящих ошибок ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для отвСтствСнных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ². ΠΠ΅ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π·Π°Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΆΠ΅Π½Π° Π² зависимости ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈ ТСсткости ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€Π°.

ЀизичСскиС основы испытаний Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ²

ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ являСтся ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ° ΠΊ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ исслСдуСмого слоя. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ вдавливания ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·ΡƒΠΌΠ΅Π²Π°Π΅Ρ‚ созданиС локальной Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, которая Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΡƒΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… измСряСмого слоя. Если ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΎΠΊ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π·Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρ‹ слоя, Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ искаТСны свойствами основного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ.

Для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€ ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π» минимальноС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π½Π΅ вызывая ΠΏΡ€ΠΎΠ³ΠΈΠ±Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Π’ случаС с Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ покрытиями часто примСняСтся ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, согласно ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌΡƒ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° вдавливания Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ 1/10 ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ 1/20 ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ слоя. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠΊΡ‚ΡƒΠ΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ использования Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠΊ, Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ…, Ρ‡Π΅ΠΌ Π² стандартных тСстах.

Π’Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°Ρ… Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ оборудования ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ. Π›ΡŽΠ±Ρ‹Π΅ Π²ΠΈΠ±Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ колСбания ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ сущСствСнно ΠΏΠΎΠ²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ, поэтому Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Π΅ условия Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ максимально ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ для получСния ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ….

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ВиккСрса ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ

НаиболСС ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ являСтся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ВиккСрса, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ…Π³Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€. Благодаря Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€Π°, ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ позволяСт ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ измСрСния ΠΏΡ€ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠΊ, ΠΎΡ‚ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌ Π΄ΠΎ сотСн ΠΊΠΈΠ»ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌ. Для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΡ‹, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ΅ΠΉ, Π³Π΄Π΅ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ½ΡŒΡŽΡ‚ΠΎΠ½ΠΎΠ².

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ВиккСрса являСтся Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ для свСрхтонких слоСв это прСимущСство ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π½ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ влияниСм ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ силу вдавливания: слишком большая Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ ΠΏΡ€ΠΎΠ³ΠΈΠ±Ρƒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ, Π° слишком малСнькая ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ° для измСрСния Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»Π΅ΠΉ.

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ покрытиями часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ с Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ систСмами измСрСния Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»Π΅ΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ чСловСчСский Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ ΠΏΡ€ΠΈ считывании Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ². Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ опрСдСлСния Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ° являСтся критичСской, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½Π°Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ отклонСниям Π² расчСтС твСрдости HV.

πŸ“Š Какой ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π²Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅ Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ?
ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ВиккСрса (HV)
ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π‘Π΅Ρ€ΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ‡Π° (HV)
ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Π° (HR)
ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠšΠ½ΡƒΠΏΠ°

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π‘Π΅Ρ€ΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ‡Π° ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅

Для исслСдований Π½Π° Π½Π°Π½ΠΎΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ ΠΈ измСрСния свСрхтонких ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 ΠΌΠΊΠΌ) Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго примСняСтся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π‘Π΅Ρ€ΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ‡Π°. Он ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…Π³Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ обСспСчиваСт Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΡŽ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°Ρ… ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄ΠΎΠΉ ВиккСрса. ВрСхгранная ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄Π° позволяСт Π³Π»ΡƒΠ±ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ для ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ.

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ часто основано Π½Π° Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹ вдавливания Π² процСссС нагруТСния, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΠΎΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΡƒΡŽ зависимости Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ ΠΎΡ‚ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΡŒ упругости ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ классичСском оптичСском ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»Π΅ΠΉ.

НаноиндСнтаторы способны Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ с Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ- ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠ½ΡŒΡŽΡ‚ΠΎΠ½ΠΎΠ², обСспСчивая Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, нСдоступноС для Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ². НаноиндСнтированиС становится стандартом для ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ свойств Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ PVD/CVD ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

πŸ’‘

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ микротвСрдости всСгда провСряйтС чистоту повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°: Π΄Π°ΠΆΠ΅ микроскопичСскиС частицы ΠΏΡ‹Π»ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΡΠΊΠ°Π·ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ° ΠΈ привСсти ΠΊ ошибкС Π² расчСтах Π΄ΠΎ 15-20%.

Π‘ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠšΠ½ΡƒΠΏΠ° для Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΡ… ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠšΠ½ΡƒΠΏΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ€ΠΎΠΌΠ±ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄Ρƒ с асиммСтричными Ρ€Π΅Π±Ρ€Π°ΠΌΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ для Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв. Благодаря асиммСтрии, Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ° Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ большС Π΅Π³ΠΎ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ сниТаСт влияниС ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ оптичСской систСмы. АсиммСтричный ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€ позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π΅ вдавливания, минимизируя риск Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ².

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ особСнно эффСктивСн для ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, стСкла ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… слоСв Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°Ρ…, Π³Π΄Π΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ растрСскиваниС. Π“Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° вдавливания ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ ΠšΠ½ΡƒΠΏΠ° составляСт ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½Ρƒ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ слои Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ всСго Π² нСсколько ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π±Π΅Π· риска проникновСния Π² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ.

Π₯отя ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠšΠ½ΡƒΠΏΠ° ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ распространСн, Ρ‡Π΅ΠΌ ВиккСрс, ΠΎΠ½ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌ Π² спСцифичСских Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π°Ρ…, связанных с Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΠΌΠΈ покрытиями ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ слоями. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСрСния Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ обСспСчиваСт Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΠΈΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ использования ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Π°

ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Π° с Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌ конусом ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΡˆΠ°Ρ€ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ·-Π·Π° большой Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹ внСдрСния. Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ Π² этом ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΡƒΡŽ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ°Π·ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ Π·Π° счСт влияния ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Π“Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° внСдрСния Π² ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Π° часто ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ допустимыС ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‹ для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв, дСлая Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ Π±Π΅Π· ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΉ.

БущСствуСт ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ повСрхностной твСрдости ΠΏΠΎ Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Ρƒ (ΡˆΠΊΠ°Π»Ρ‹ 15N, 30N, 45N), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСньшиС Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ. Однако Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² этом случаС трСбования ΠΊ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ТСсткими: слой Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² 10-15 Ρ€Π°Π· Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰Π΅ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ°. Для Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ Π΄Π°ΠΆΠ΅ эти Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ.

Если Π²Ρ‹ всС ΠΆΠ΅ Π²Ρ‹Π½ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡˆΠΊΠ°Π»Ρ‹ Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Π°, ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅ΡΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° достаточно ТСсткая ΠΈ Π½Π΅ прогибаСтся ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΎΠΉ. Π˜Π½Π°Ρ‡Π΅ показания ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π° Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, Π° Π½Π΅ исслСдуСмого слоя, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Π»ΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌ ΠΎ качСствС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ нСльзя ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ БринСлля для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ?

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ БринСлля ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΡˆΠ°Ρ€ΠΈΠΊ большого Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΈ высокиС Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΏΡ€ΠΎΠ³ΠΈΠ±Ρƒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡŽ Π² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ, дСлая Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ измСрСния твСрдости покрытия ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π½Π΅Π²Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€Π° Π”ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠΊ ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв
ВиккСрс (HV) ΠŸΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄Π° (4 Π³Ρ€Π°Π½ΠΈ) 0,01 – 100 кгс Высокая (особСнно ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ)
Π‘Π΅Ρ€ΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ‡Π° (HV) ΠŸΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄Π° (3 Π³Ρ€Π°Π½ΠΈ) Нано- ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ-Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ° Максимальная (для Π½Π°Π½ΠΎ-ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ)
ΠšΠ½ΡƒΠΏΠ° (HK) РомбичСская ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄Π° ΠœΠ°Π»Ρ‹Π΅ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ высокая (для Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²)
Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π» (HR) ΠšΠΎΠ½ΡƒΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡˆΠ°Ρ€ΠΈΠΊ ВысокиС Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ Низкая (Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ повСрхностныС ΡˆΠΊΠ°Π»Ρ‹)

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв всСгда ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ покрытия, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Мягкая ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°Ρ…, искаТая Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ измСрСния твСрдости Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅Π³ΠΎ слоя.

β˜‘οΈ ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ микротвСрдости

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° бСзопасности

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ микротвСрдости Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв. Π›ΡŽΠ±Ρ‹Π΅ Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½Ρ‹, слСды ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ нСровности ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΡΠΊΠ°Π·ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ°, особСнно ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°Ρ…. НСобходимо ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ с постСпСнным ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π΅Ρ€Π½Π° Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‡ΡŒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ повСрхности Π±Π΅Π· Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя.

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π²ΠΈΠ±Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π‘Ρ‚ΠΎΠ» ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ установлСн Π½Π° Π²ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ основаниС, Π° ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½ΠΎ ΠΎΡ‚ сквозняков ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ°Π΄ΠΎΠ² Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€. Π”Π°ΠΆΠ΅ Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π²ΠΈΠ±Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ привСсти ΠΊ Π½Π΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€Π° ΠΈ появлСнию ошибок Π² измСрСниях.

Если Π²Ρ‹ измСряСтС Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… дСталях ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°, ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅ΡΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ Π² ΠΎΠΏΡ€Π°Π²Π΅. МалСйшСС смСщСниС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π²ΠΎ врСмя вдавливания ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Π±Ρ€Π°ΠΊΡƒ измСрСния ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€Π°. ЖСсткая фиксация β€” это Π·Π°Π»ΠΎΠ³ получСния повторяСмых ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ².

πŸ’‘

Для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ ΠΈ слоСв ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π‘Π΅Ρ€ΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ‡Π° ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎ ВиккСрсу ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ вдавливания с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ влияниС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ влияниС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ

Одной ΠΈΠ· Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв являСтся влияниС свойств ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π½Π° Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚. Если Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° вдавливания ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 10% Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ слоя, показания Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‚ Π·Π°Π²ΠΈΡΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ твСрдости основного ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. Для ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ расчСтныС ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΡΠΊΡΡ‚Ρ€Π°ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ½Π½ΡƒΡŽ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ покрытия, ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ влияниС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΠΈΡŽ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ покрытия ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ провСдСния сСрии ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ с Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΎΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΠΎΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒ твСрдости ΠΏΠΎ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π΅ ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ Π·ΠΎΠ½Ρƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‚ покрытия ΠΊ основному ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρƒ.

Если Π²Ρ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅ с ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ покрытиями ΠΈΠ»ΠΈ многослойными структурами, ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ наноиндСнтирования становится СдинствСнно Π²Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Он позволяСт Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ слой Π² ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, опрСдСляя Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ мСханичСскиС свойства Π±Π΅Π· смСшивания Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… с сосСдними слоями.

Как ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ влияниС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ?

ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅ ΡΠ΅Ρ€ΠΈΡŽ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ с Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΎΠΉ. Если значСния твСрдости Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ (ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒΡΡ), это ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π° Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€ достиг ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Π“Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊ зависимости твСрдости ΠΎΡ‚ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°ΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: НС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π½Π° краях ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ† Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π° Ρ„Π°Π·. ΠŸΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ распрСдСлСния напряТСний Π² этих Π·ΠΎΠ½Π°Ρ… ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒ 30-50%, дСлая Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ бСсполСзными для тСхничСского Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°.

Π‘Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ характСристика ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ²

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° зависит Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ слоя, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ доступного оборудования. Для быстрых производствСнных ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΎΠΊ часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ВиккСрса с ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌΠΈ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ стандартизирован ΠΈ понятСн ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌ. Однако для Π½Π°ΡƒΡ‡Π½Ρ‹Ρ… исслСдований ΠΈ контроля свСрхтонких ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π±Π΅Π· наноиндСнтирования Π½Π° Π±Π°Π·Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π‘Π΅Ρ€ΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ‡Π° Π½Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠΉΡ‚ΠΈΡΡŒ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠšΠ½ΡƒΠΏΠ° остаСтся Π½ΠΈΡˆΠ΅Π²Ρ‹ΠΌ, Π½ΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ инструмСнтом для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ ΠΈ стСклом. Π•Π³ΠΎ прСимущСство Π² минимальной Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π΅ вдавливания позволяСт Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ с ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ…. Π“ΠΈΠ±ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ позволяСт ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°ΠΌ Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ для Π»ΡŽΠ±Ρ‹Ρ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ Π² области ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ.

Анализ спСцифики Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ слоя ΠΈ свойств ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ основой для Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° стратСгии испытаний. ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΡŽ твСрдости Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв β€” это гарантия качСства ΠΈ долговСчности ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ издСлия.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ использовании ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² микротвСрдости Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… дСталях всСгда ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ эффСкт «отскока» ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Если Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ Π½Π΅ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½Π° ТСстко, ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ слСгка ΠΏΡ€ΠΎΠ³ΠΈΠ±Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² исходноС ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ послС снятия Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ заниТСнию ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΠΉ твСрдости.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ

ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ твСрдости Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ повСрхностных слоСв Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° спСциализированного оборудования. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ВиккСрса, Π‘Π΅Ρ€ΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ‡Π° ΠΈ ΠšΠ½ΡƒΠΏΠ° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅, Ссли ΡΠΎΠ±Π»ΡŽΠ΄Π΅Π½Ρ‹ всС условия ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ повСрхности ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Ρƒ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ. Π˜Π³Π½ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ этих Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ нСдостовСрных Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ ошибкам Π² тСхнологичСских процСссах.

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ наноиндСнтирования ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Ρ‹ Π² исслСдовании свойств ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², позволяя Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ структуры Π½Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅. ИспользованиС Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… систСм ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ чСловСчСский Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΡΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для сСрийного производства.

ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΡΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° оборудования, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ соблюдСниС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊ испытаний β€” это основа ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° твСрдости Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв. Волько комплСксный ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ позволяСт Π³Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ваши Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Ρƒ свойств ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Π° Π½Π΅ Π°Ρ€Ρ‚Π΅Ρ„Π°ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ.

Какой ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ всСго ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для покрытия Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 5 ΠΌΠΊΠΌ?

Для ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 5 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ являСтся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ наноиндСнтирования с использованиСм ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€Π° Π‘Π΅Ρ€ΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ‡Π°. Он позволяСт ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ вдавливания с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ влияниС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π½Π° Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ измСрСния.

МоТно Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Π° для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ?

Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Π° Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ·-Π·Π° большой Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹ внСдрСния. Однако ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ повСрхностныС ΡˆΠΊΠ°Π»Ρ‹ (15N, 30N, 45N), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ, Ссли Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя позволяСт (ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 10-15 ΠΌΠΊΠΌ). Для Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π ΠΎΠΊΠ²Π΅Π»Π»Π° Π½Π΅ рСкомСндуСтся.

Как влияСт качСство ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π° Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ измСрСния микротвСрдости?

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ микротвСрдости. НСровности повСрхности ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΡΠΊΠ°Π·ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ ΠΎΡ‚ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ°, особСнно ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°Ρ…, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡΠΌ Π² ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ слСдствиС, Π² расчСтС твСрдости. ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ свободной ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

Π§Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ, Ссли ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€ достигаСт ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ?

Если ΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ€ достигаСт ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ измСрСния становятся Π½Π΅ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ. НСобходимо ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΡƒ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ с мСньшСй Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ вдавливания (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π½Π°Π½ΠΎΠΈΠ½Π΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅). Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ расчСтныС ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ для экстраполяции Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…, Ссли Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ испытания.