Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² оптичСскиС свойства крСмния

МногиС люди, ΡƒΡΠ»Ρ‹ΡˆΠ°Π² слово Β«ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ», ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ сСбС ΡΠ΅Ρ€ΡƒΡŽ ΠΏΡ‹Π»ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ пСсок, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ состоит Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ Π³ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄ Π½Π° Π—Π΅ΠΌΠ»Π΅. Однако элСмСнтарный ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π² чистом Π²ΠΈΠ΄Π΅, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ характСристиками, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ часто ΡƒΠ΄ΠΈΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ нСспСциалистов. Π­Ρ‚ΠΎ вСщСство Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ, являясь основой соврСмСнной микроэлСктроники ΠΈ солнСчной энСргСтики.

Если Π²Ρ‹ Π²ΠΎΠ·ΡŒΠΌΠ΅Ρ‚Π΅ Π² Ρ€ΡƒΠΊΠΈ кристалл ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ качСства, Π²Ρ‹ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄ΠΈΡ‚Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ выглядит Π½Π΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ камСнь, Π° скорСС ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ΅, тяТСлоС Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ с мСталличСским блСском. ΠœΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠΉ сСрый Ρ†Π²Π΅Ρ‚ с Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ синСватым ΠΎΡ‚Π»ΠΈΠ²ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ становится особСнно Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅ΠΌ освСщСнии. ИмСнно эти оптичСскиС свойства ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² производствС фотоэлСмСнтов ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Ρƒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ химичСским элСмСнтом ΠΈ Π΅Π³ΠΎ соСдинСниями. Диоксид крСмния (пСсок, ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†) ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ, Π±Π΅Π»Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡ†Π²Π΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ, Π½ΠΎ сам элСмСнт Si Π² Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΌ состоянии всСгда сохраняСт ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΡ„ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π³Π°ΠΌΠΌΡƒ. Π¦Π²Π΅Ρ‚ зависит ΠΎΡ‚ структуры кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ, наличия примСсСй ΠΈ способа ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ повСрхности.

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° чистого кристалла крСмния

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΆΠ΅ чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ выглядит ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊ? Π‘Π΅ΠΊΡ€Π΅Ρ‚ кроСтся Π² Π΅Π³ΠΎ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅, ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ составляСт ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1,12 элСктрон-Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. Π­Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ опрСдСляСт, ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ Π²ΠΎΠ»Π½ свСта ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Ρ‚ΡŒ, Π° ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ β€” ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ. ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ эффСктивно ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΉ свСт, особСнно Π΅Π³ΠΎ синюю ΠΈ Π·Π΅Π»Π΅Π½ΡƒΡŽ части спСктра, Π½ΠΎ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ высокой ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² инфракрасном Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅.

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ сСлСктивного поглощСния ΠΈ отраТСния ΠΌΡ‹ воспринимаСм ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-сСрый с мСталличСским блСском. Если ΠΏΠΎΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π½Π° срСз высококачСствСнного ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ свСт ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρƒ, хотя ΠΏΠΎ своСй ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ являСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ. ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ выглядит ΠΈΠ½Π°Ρ‡Π΅ β€” Ρƒ Π½Π΅Π³ΠΎ матовая, зСрнистая ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, которая рассСиваСт свСт, дСлая Ρ†Π²Π΅Ρ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ тусклым ΠΈ сСрым.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€Π΅ΡΠ½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоях ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… условиях ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ восприятиС Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π°. НапримСр, ΠΏΡ€ΠΈ создании антисвСтовых ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ пористых структур Ρ†Π²Π΅Ρ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΌΠ΅Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² сторону Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π΄ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π»ΠΈΠ²Ρ‹. Π­Ρ‚ΠΎ явлСниС ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚Π°ΠΈΠΊΠ΅ для ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ эффСктивности поглощСния Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΎΠ².

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ аспСкт критичСски Π²Π°ΠΆΠ΅Π½ для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ повСрхности часто ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π° качСство кристалла ΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ². По ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΊΡƒ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΡƒΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎ стСпСни лСгирования ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ оксидных ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π½Π° повСрхности пластины.

ВлияниС примСсСй ΠΈ лСгирования Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ

Π¦Π²Π΅Ρ‚ чистого крСмния мСняСтся ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Π² Π΅Π³ΠΎ структуру посторонних Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, добавляСт Π² ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ Π±ΠΎΡ€Π°, фосфора, ΠΌΡ‹ΡˆΡŒΡΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… элСмСнтов. Π­Ρ‚ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ структуру ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ влияСт Π½Π° Π΅Π³ΠΎ оптичСскиС свойства ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Π½Π° Ρ†Π²Π΅Ρ‚, Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΉ чСловСчСским Π³Π»Π°Π·ΠΎΠΌ.

НапримСр, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ (Ρ‚ΠΈΠΏ p), ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠΉ красноватый ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Π΅Π²Π°Ρ‚Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ, особСнно Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… пластинах. Π’ Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ с высоким содСрТаниСм фосфора (Ρ‚ΠΈΠΏ n) часто выглядит Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-синим ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ. Π­Ρ‚ΠΈ измСнСния Π½Π΅ всСгда Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹ Π½Π΅Π²ΠΎΠΎΡ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π³Π»Π°Π·ΠΎΠΌ Π½Π° толстых ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°Ρ…, Π½ΠΎ становятся ΠΎΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ использовании микроскопов ΠΈΠ»ΠΈ спСктроскопии.

  • πŸ”΅ Π‘ΠΎΡ€ (p-Ρ‚ΠΈΠΏ) β€” ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠΉ красноватый ΠΈΠ»ΠΈ ΠΆΠ΅Π»Ρ‚ΠΎΠ²Π°Ρ‚Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ.
  • 🟣 Ѐосфор (n-Ρ‚ΠΈΠΏ) β€” часто усиливаСт синСватый ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-сСрый Ρ‚ΠΎΠ½.
  • 🟑 ΠœΡ‹ΡˆΡŒΡΠΊ ΠΈ ΡΡƒΡ€ΡŒΠΌΠ° β€” ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ тусклым ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ Π½Π΅ являСтся Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° проводимости, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ зависит ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ примСсСй. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высоком ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ лСгирования (Π²Ρ‹Ρ€ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ) ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ вСсти сСбя ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π», отраТая свСт Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ сильнСС ΠΈ мСняя свой Ρ†Π²Π΅Ρ‚ Π½Π° сСрСбристый ΠΈΠ»ΠΈ золотистый. Π­Ρ‚ΠΎ явлСниС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² создании омичСских ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² для микросхСм.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: НС ΠΏΡ‹Ρ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ΡΡŒ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΈΠΏ проводимости ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΏΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Ρƒ. Π’ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΠΌΠ°Π½Ρ‡ΠΈΠ²Π° ΠΈΠ·-Π·Π° окислСния повСрхности ΠΈΠ»ΠΈ наличия тСхнологичСских ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΠΌΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΈΠ»ΠΈ тСстСр Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ для Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ….

Иногда Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΠΈ ΠΈ производствС сплавов ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π² алюминий. Π’ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… сплавах (силумины) Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ крСмния влияСт Π½Π° структуру Π·Π΅Ρ€Π΅Π½, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΌΠ° ΠΈΠ»ΠΈ повСрхности послС травлСния. Π‘ΠΏΠ»Π°Π² с высоким содСрТаниСм крСмния часто ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ свСтлый, сСровато-Π±Π΅Π»Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с чистым алюминиСм.

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅: аморфная Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΠΈ пСсок

Π’ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ элСмСнт Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎ встрСчаСтся Π² чистом Π²ΠΈΠ΄Π΅. Π§Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΌΡ‹ сталкиваСмся с Π΅Π³ΠΎ соСдинСниями, самым распространСнным ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… являСтся диоксид крСмния ($SiO_2$). Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ чистого кристалличСского крСмния, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ТСстко Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ†Π²Π΅Ρ‚, Π΅Π³ΠΎ соСдинСния ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ бСсцвСтными (ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ΅ стСкло), Π±Π΅Π»Ρ‹ΠΌΠΈ (ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠΉ пСсок) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠΊΡ€Π°ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π² самыС Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π°.

Π¦Π²Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ пСска зависит ΠΎΡ‚ примСсСй Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠΈΠ½Π΅Ρ€Π°Π»ΠΎΠ². Π–Π΅Π»Π΅Π·ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ‚ пСску ΠΆΠ΅Π»Ρ‚Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ€Π°Π½ΠΆΠ΅Π²Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ, Π° Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ Π·Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΠΎΠ»ΡƒΠ±Ρ‹ΠΌ. Однако, Ссли Π²Ρ‹ очиститС пСсок ΠΎΡ‚ всСх примСсСй ΠΈ восстановитС ΠΈΠ· Π½Π΅Π³ΠΎ чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΎΠ½ снова станСт Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-сСрым ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс восстановлСния β€” основа всСй ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΠΈ крСмния.

БущСствуСт Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ упорядочСнной кристалличСской структуры. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» часто выглядит ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ тонкая ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°. Π’ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΌ состоянии ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ мСняСтся, Ρ‡Ρ‚ΠΎ влияСт Π½Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ свСта. ИмСнно Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… солнСчных батарСях, Π³Π΄Π΅ Π΅Π³ΠΎ Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ‚ максимально эффСктивно ΡƒΠ»Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ солнСчноС ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€Π΅ΡΠ½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΈΠ½Π΅Ρ€Π°Π»Ρ‹, содСрТащиС ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² своСй структурС, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ. ΠšΠ²Π°Ρ€Ρ†, амСтист, Π°Π³Π°Ρ‚ β€” всС ΠΎΠ½ΠΈ состоят ΠΈΠ· диоксида крСмния, Π½ΠΎ ΠΈΡ… Ρ†Π²Π΅Ρ‚ обусловлСн Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Π² ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ отличаСтся ΠΎΡ‚ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° самого элСмСнта крСмния, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ всСгда остаСтся Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ сСрого ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ.

ВСхнологичСскиС ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈ повСрхности

Π’ производствС микроэлСктроники Ρ†Π²Π΅Ρ‚ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… пластин (wafers) являСтся Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ тСхнологичСским ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ. ЧистыС пластины ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ сСрый блСск, Π½ΠΎ послС нанСсСния Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Ρ†Π²Π΅Ρ‚. НапримСр, слой диоксида крСмния Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² нСсколько сотСн Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΈ свСта ΠΎΠ½ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π³ΠΎΠ»ΡƒΠ±Ρ‹ΠΌ, ΠΆΠ΅Π»Ρ‚Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€ΠΎΠ·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ.

Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ эти Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° для контроля Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ. Если Π²Ρ‹ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΡ‚Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ крСмниСвая пластина стала Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π΅Π»Π΅Π½ΠΎΠΉ, это ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π° Π½Π΅ΠΉ вырос слой оксида ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹. Π­Ρ‚ΠΎ явлСниС называСтся ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΈ ΠΎΠ½ΠΎ позволяСт ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ процСссы Π±Π΅Π· Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°.

  • πŸ”΅ Π‘ΠΈΠ½ΠΈΠΉ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ β€” часто ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π° ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ срСднСй Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹.
  • 🟑 Π–Π΅Π»Ρ‚Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ β€” Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π΅Π½ для Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв диэлСктрика.
  • 🟣 Π€ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ β€” ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎ спСцифичСском Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ слоя фоторСзиста.

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ крСмния ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ тСкстурирована для ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ отраТСния свСта. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ повСрхности часто выглядят ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎ-Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ свСт ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ отраТаСтся Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ микроскопичСских ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄ΠΎΠΊ ΠΈ поглощаСтся. Π­Ρ‚ΠΎ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для солнСчных Π±Π°Ρ‚Π°Ρ€Π΅ΠΉ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ потСрянный Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ сниТаСт ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ энСргии.

Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях, ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ загрязнСния ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ тСрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, Π½Π° повСрхности ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Ρ€ΠΆΠ°Π²ΠΎ-ΠΊΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Π΅Π²Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π°Π³Π°Ρ€. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π½Π°ΠΊ окислСния ΠΈΠ»ΠΈ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ загрязнСния, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ очистки. ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ повСрхности Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ влияСт Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ² Π² производствС.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ИзмСнСниС Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ пластины Π² процСссС производства ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅Π»Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠΌ (ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ оксида), Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌ Π±Ρ€Π°ΠΊΠ° (ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π², загрязнСниС). ВсСгда свСряйтС Ρ†Π²Π΅Ρ‚ с эталонными ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°ΠΌΠΈ Π² тСхнологичСской ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π΅.

Π‘Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ² крСмния

Для наглядности ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅ΠΌ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρƒ, которая ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚, ΠΊΠ°ΠΊ мСняСтся внСшний Π²ΠΈΠ΄ крСмния Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π΅Π³ΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ ΠΈ чистоты. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΏΠΎΠ½ΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Ρƒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ.

Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π¦Π²Π΅Ρ‚ Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
Чистый монокристалл Π’Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-сСрый с мСталличСским блСском УпорядочСнная Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ° ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°, Ρ‡ΠΈΠΏΡ‹
ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π» Π‘Π΅Ρ€Ρ‹ΠΉ, ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ, зСрнистый ΠœΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡ‚Π²ΠΎ кристаллитов Π‘ΠΎΠ»Π½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ, сплавы
Аморфный ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π§Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ, Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ Π‘Π΅Π· порядка Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Π±Π°Ρ‚Π°Ρ€Π΅ΠΈ
Диоксид крСмния (пСсок) Π‘Π΅Π»Ρ‹ΠΉ, ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ, ΠΆΠ΅Π»Ρ‚Ρ‹ΠΉ ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ/стСкло Π‘Ρ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎ, Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Ρ‹
Π›Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ (p-Ρ‚ΠΈΠΏ) Π‘Π΅Ρ€Ρ‹ΠΉ с красноватым ΠΎΡ‚Π»ΠΈΠ²ΠΎΠΌ Π Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ° с примСсями Вранзисторы, Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹

НапримСр, монокристалл с высокой ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ тусклым, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ кристалл. Π­Ρ‚ΠΎ связано с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ свСт, ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Ρ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ блСск. ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅Π»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ с Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π½Π°ΡΡ‹Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ сСрого Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° с синим ΠΎΡ‚Π»ΠΈΠ²ΠΎΠΌ.

πŸ“Š Какой Ρ†Π²Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π»ΠΈ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ Ρƒ крСмния?
Π’Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-сСрый с блСском
ΠŸΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ°ΠΊ стСкло
Π‘Π΅Π»Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ
Π§Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ
πŸ’‘

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ пластинами ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΆΠΈΡ€ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ оптичСскиС свойства повСрхности ΠΈ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ тСрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ пСрспСктивы

Подводя ΠΈΡ‚ΠΎΠ³, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ с ΡƒΠ²Π΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΡΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ истинный Ρ†Π²Π΅Ρ‚ крСмния β€” это Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠΉ, насыщСнный сСрый с мСталличСским ΠΎΡ‚Π»ΠΈΠ²ΠΎΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ свойство являСтся слСдствиСм Π΅Π³ΠΎ элСктронной структуры ΠΈ способности ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ свСт Π² Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌ спСктрС. Π›ΡŽΠ±Ρ‹Π΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΡ‹ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌ Π² ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠΌ примСсСй, соСдинСний ΠΈΠ»ΠΈ тСхнологичСских процСссов.

ПониманиС этих нюансов критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для спСциалистов Π² области ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΠΈ, Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΈ. Π¦Π²Π΅Ρ‚ слуТит быстрым ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ качСства ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Ρ‚ΠΈΠΏΠ° проводимости ΠΈ состояния повСрхности. Π’ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ, с Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, ΠΌΡ‹, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, научимся ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ крСмния Π½Π° молСкулярном ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅, создавая ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ оптичСскими свойствами.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°ΠΌΠΈ крСмния ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡ‚Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ слСды агрСссивных Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ². ВсСгда провСряйтС ΠΏΠ°ΡΠΏΠΎΡ€Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠΌ.

НС стоит Π·Π°Π±Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ° β€” это лишь ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ шаг. Для Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ опрСдСлСния свойств Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Π΅ исслСдования. Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, Π·Π½Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ Ρƒ чистого крСмния, ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Π°ΠΌ быстро ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ошибок Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅.

πŸ’‘

Чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ всСгда ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-сСрый мСталличСский Ρ†Π²Π΅Ρ‚; Π»ΡŽΠ±Ρ‹Π΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° примСси, соСдинСния ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΡƒΡŽ структуру.

Часто Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ вопросы

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Β«ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΌΒ», Ссли ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ?

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΌ ΠΈΠ·-Π·Π° Π΅Π³ΠΎ внСшнСго Π²ΠΈΠ΄Π° ΠΈ мСталличСского блСска, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΎΠ½ ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π°Π΅Ρ‚ Π² кристалличСской Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅. Однако ΠΏΠΎ своим элСктричСским свойствам ΠΎΠ½ являСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.

ΠœΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π»ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ?

Π‘Π°ΠΌ ΠΏΠΎ сСбС элСмСнт ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π΅Π½ для Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ свСта. ΠŸΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ являСтся Π΅Π³ΠΎ диоксид (ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ΅ стСкло). Аморфный ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π΅Π½, Π½ΠΎ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ слои ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ инфракрасного излучСния.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ солнСчныС ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ синСго ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π°?

Π‘ΠΎΠ»Π½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ ΠΈΠ· монокристалличСского крСмния выглядят Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-синими ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° Π°Π½Ρ‚ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ наносятся для максимального поглощСния свСта. Π‘Π΅Π· покрытия ΠΎΠ½ΠΈ Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π±Ρ‹ просто сСрыми мСталличСскими пластинами.

ВлияСт Π»ΠΈ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ Π½Π° ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ крСмния?

Π¦Π²Π΅Ρ‚ сам ΠΏΠΎ сСбС Π½Π΅ опрСдСляСт ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ чистоты. ВысокоочищСнный ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ для элСктроники стоит Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ тСхничСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΈ часто ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ насыщСнный, Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ освСщСнии.

Π§Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ, Ссли ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ стал Ρ€ΠΆΠ°Π²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π°?

Π ΠΆΠ°Π²Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Π΅Π²Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ Π½Π° повСрхности крСмния ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π° окислСниС ΠΈΠ»ΠΈ загрязнСниС. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ являСтся Π½ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΉ для чистого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ВрСбуСтся химичСская очистка ΠΈΠ»ΠΈ, Π² случаС ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°.

Π”Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ очистки

Для удалСния оксидов ΠΈ загрязнСний часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ растворы фтористоводородной кислоты ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ пасты. Π Π°Π±ΠΎΡ‚Ρƒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π² вытяТном ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ с использованиСм срСдств ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹.