Π ΠΌΠΈΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ. ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠ΅ΡΡ Π·Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π·Ρ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ», Π½ΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ ΡΠΈΡΠ΅. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π», ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ².
ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ, Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅. ΠΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΏΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π±ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ. Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» Si ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π±Π°Π·ΠΈΡΠΎΠΌ, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΡΡΠΎΡΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ.
Π ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΌΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΡ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ , ΠΎΡ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅Π±Π½ΠΈΠΊΠ° Π΄ΠΎ ΠΠΠ‘Π’ Π½Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ. ΠΡ ΡΠ·Π½Π°Π΅ΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π°
ΠΠ°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅ β ΡΡΠΎ Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠ°Ρ Π°Π±Π±ΡΠ΅Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠ° Si. ΠΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΡ Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Silicium. ΠΡΠΎΡ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡΡ , ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠΏΠΎΡΡΠ°Ρ ΠΈ Π½Π° Π³Π»ΠΎΠ±Π°Π»ΡΠ½ΡΡ Π±ΠΈΡΠΆΠ°Ρ ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠΈΡΡ.
Π ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π.Π. ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ 14-Ρ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΠΈ Π½Π°Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄Π΅. ΠΠ³ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ β 14, ΡΡΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ 14 ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΠ΄ΡΠ΅. ΠΡΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° Π²Π°ΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ
28.0855 Π°.Π΅.ΠΌ., ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΠΎΡΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ. Π ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ Si ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΈ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΠΈΠΉΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΡΡΡΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ SiO2. ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ°Ρ
Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΡΠΈΡ
ΡΡ Π² Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅! ΠΠ΅ ΠΏΡΡΠ°ΠΉΡΠ΅ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» Si (ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ) Ρ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ Sn (ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ). ΠΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΡ ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ Π±ΡΠΊΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΡΠ°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΆΠ΅ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ.
ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π²Ρ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄ΠΈΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. Π ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» Si ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡ. ΠΡΠΎ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ .
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΠ΅ Π±ΡΠΊΠ²Ρ Si. ΠΡΠΎ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° β14, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌ Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠΌ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ²
Π ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΠΎΠ³Π΄Π° Π²Ρ ΡΠΌΠΎΡΡΠΈΡΠ΅ Π½Π° ΠΌΠ°ΡΠΊΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π±ΡΠΊΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ-ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ΄Π΅. Π ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ°Ρ (ΠΠΠ‘Π’) ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠΈΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ²Π½ΡΠΌ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ Si Π² Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ, Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·ΡΠΌΠ΅Π²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΈΠ½Π΄Π΅ΠΊΡΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΡΠΊΠ²ΠΎΠΉ Π‘.
ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Al-Si (ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Ρ) ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠΌ. ΠΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΠΊΠ°ΠΊ ΠΠ2 ΠΈΠ»ΠΈ ΠΠ9, ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. Π§Π΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π»ΡΡΡΠ΅ Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, Π½ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
Π ΡΡΠ°Π»Π΅Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π±ΡΠΊΠ²ΠΎΠΉ Π‘ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΈ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΡΠ°Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ Π‘Ρ3ΡΠΏ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π΄ΠΎ 0,65%. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 0,8%, Π±ΡΠΊΠ²Π° Π‘ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡΡΠ°Π²ΠΊΠ°, ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΠ°Ρ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠΎ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ.
- πΉ ΠΡΠΊΠ²Π° Π‘ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ.
- πΉ Π¦ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π±ΡΠΊΠ²Ρ Π‘ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°.
- πΉ ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ (ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅) ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ Ρ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎ ΡΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ°.
ΠΠ»Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ²-ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΎΠ² Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΈΡΠ°ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΊΡ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°. Π Π·Π°ΡΡΠ±Π΅ΠΆΠ½ΡΡ
ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ°Ρ
(Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, AISI ΠΈΠ»ΠΈ ASTM) ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ²Π½ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ Si Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°. ΠΡΠΈ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Π΅ ΠΈΠΌΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π» Chemical Composition, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ±Π΅Π΄ΠΈΡΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ.
βοΈ ΠΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠ° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ°Π»ΠΈ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ
Π ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ "ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ" ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ΄Π΅ΡΡ ΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Ρ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»Π΅, Π° ΠΎ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΡΠ΅ ΠΈ ΡΠΈΠΏΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΡΠΊΠ²Π°ΠΌΠΈ n-Si ΠΈ p-Si Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°.
ΠΠ»Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»Ρ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ n-ΡΠΈΠΏ, Π° Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ β ΠΊΠ°ΠΊ p-ΡΠΈΠΏ. ΠΡΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ.
Π ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌ ΠΈ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠΈΡΡ Π°Π±Π±ΡΠ΅Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΡ Si Π½Π° ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π² Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π΅ΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ: Si (99.9%), Si (99.9999%) ΠΈ ΡΠ°ΠΊ Π΄Π°Π»Π΅Π΅. Π§Π΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ, ΡΠ΅ΠΌ Π΄ΠΎΡΠΎΠΆΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π΅ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅! Π ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ Π½Π° ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° β ΡΡΠΎ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ?
Π’Π΅ΡΠΌΠΈΠ½ "ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π°" ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΉΠΎΠ½Π΅ ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ. Π‘Π°ΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ΅Π±Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ, Π½ΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΈΠ· ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠ° Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π»Π° Π΅Π³ΠΎ "ΠΊΡΠΎΠ²ΡΡ" ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΡ.
ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» Si Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΡΠ΅ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ SiC, ΡΡΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Ρ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΈΠ²Π½ΡΠΌ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. ΠΠ½ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ .
ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΠ»ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. Π ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΈ Π½Π° ΡΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ
Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π²Ρ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ SiC. ΠΡΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ, ΡΡΡΡΠΏΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Ρ ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΡ
ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ.
ΠΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ SiC ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ Π² ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΡΡΠ³ΠΎΠ², Π½Π°ΠΆΠ΄Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ Π±ΡΠΌΠ°Π³ΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄ΠΎΠΌ. ΠΡΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΎ Π½Π°ΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ΄Π° Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ.
Π ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΡΠ³ΡΠ½Π°. ΠΡΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π² ΠΎΠ½ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π΅ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ SiC-ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠ³Π°ΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΠ»ΡΡΡΠ°Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΊΠΈ.
| ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» | Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π° | ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ | Π‘ΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎ ΠΠΎΠΎΡΡ |
|---|---|---|---|
| ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΈΡΡΡΠΉ | Si | ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ | 6.5 - 7.0 |
| ΠΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ | SiO2 | Π‘ΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎ, ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ, ΠΊΠ²Π°ΡΡ | 7.0 |
| ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ | SiC | ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Ρ, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° | 9.0 - 9.5 |
| ΠΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ | Si3N4 | ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠΈ | 8.5 - 9.0 |
ΠΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΊΡΡΠ³ΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΊΠΎΠ΄ Π (Π² ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅) ΠΈΠ»ΠΈ C (Π² Π·Π°ΡΡΠ±Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠΉ), ΡΡΠΎ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΠΈΠ·Π±Π΅Π³Π°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π²Π° ΠΈ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΠΊΡΡΠ³Π°.
ΠΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ
ΠΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ΅ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. Π ΠΠΠ‘Π’Π°Ρ
Π½Π° ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΡΡΠ±ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ½Π΄Π΅ΠΊΡ ΠΠ‘ (ΠΠ²Π°ΡΡ Π‘ΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎ) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ°, ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ SiO2.
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΡΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΠ€ (ΠΠ²Π°ΡΡ Π€ΡΠΎΡΠΈΡΡΡΠΉ) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈΠ½Π΄Π΅ΠΊΡΡ, ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅. ΠΠ»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π·Π½Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅.
Π ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π³Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ°ΡΠ°, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΠΊΡΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΡΠ΅ΡΠ΅ΠΏΡΡΡΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ΅ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π²Ρ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ SiO2-Ceramic ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠΈ Π·Π°ΠΊΡΠΏΠΊΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΄Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°. Π’Π°ΠΌ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ°ΠΌ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π°. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎ, Ρ ΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π½Π΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡ.
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΄Ρ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ Π½Π° ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΌΠ΅Ρ Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°. ΠΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΌΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΌΡΡΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΠ΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ
Π Π°Π±ΠΎΡΠ° Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ» Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. Π₯ΠΎΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½, Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠ»Ρ ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΡΡ ΡΠ³ΡΠΎΠ·Ρ Π΄Π»Ρ Π·Π΄ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½Π° ΠΏΡΠ»Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ· β Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΌΠΎΠ΅ Π·Π°Π±ΠΎΠ»Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΡ .
ΠΡΠΈ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΎΠ² Π΄ΡΡ Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠ΅ΡΠΏΠΈΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ»ΠΈ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½Π΅Π²ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π½Π΅ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Ρ ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΎ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ.
Π Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡ Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΌΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΡ. ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π³Π°Π·Ρ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΡ Π² ΡΠ΅Ρ Ρ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΡΠΎΡΡ Π΄ΡΠΌΠ°.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅! Π Π°Π±ΠΎΡΠ°ΠΉΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΌΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² Π·Π°ΠΊΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΠ΅ΠΉ. ΠΠ΄ΡΡ Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ ΡΠ°Π·Π΄ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊ ΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π΄ΡΡ Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ.
Π₯ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ Si ΠΈΠ»ΠΈ SiC Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π² ΡΡΡ ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ , Π·Π°ΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π²Π»Π°Π³ΠΈ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ². ΠΡΡΡΠΏΠ°Ρ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ , Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΡΡ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΉ ΡΠΈΠ»Π°Π½, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅.
ΠΠ΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ»ΡΡ β ΠΏΡΠΈΠΎΡΠΈΡΠ΅Ρ β1. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΏΠΈΡΠ°ΡΠΎΡΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° FFP2 ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΠΉΡΠ΅ Ρ ΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°.
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π² XIX Π²Π΅ΠΊ. Π€ΡΠ°Π½ΡΡΠ·ΡΠΊΠΈΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊ ΠΠΎΠ·Π΅Ρ ΠΡΠΈ ΠΠ΅ΠΉ-ΠΡΡΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊ ΠΡΠΈ ΠΠ°ΠΊ Π’Π΅Π½Π°Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Silicium Π² 1811 Π³ΠΎΠ΄Ρ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡΡ Π½Π° Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ²Π΅ "silicis" (ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ). ΠΠΎΠ·ΠΆΠ΅ ΡΠ²Π΅Π΄ΡΠΊΠΈΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊ ΠΡΠ½Ρ Π―ΠΊΠΎΠ± ΠΠ΅ΡΡΠ΅Π»ΠΈΡΡ Π·Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΠΈΠ» Π·Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Si.
Π ΡΠ°Π½Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΠ΄Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π»ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ (ΠΎΡ ΡΠ»ΠΎΠ²Π° "ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ"). ΠΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Si ΠΏΡΠΈΠΆΠΈΠ»ΠΎΡΡ Π² Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ ΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ, ΡΠΏΡΠΎΡΡΠΈΠ² ΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΡΠ΅Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΡΡΠ°Π½.
Π‘ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΈΠ»Π°ΡΡ. ΠΠΎΡΠ²ΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ΄Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΡΠΈΠΏΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» Si ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΡ Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ, ΡΠ»ΡΠΆΠ° Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠΈΡΡ.
Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΌΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ°Ρ : ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π° ΡΠΈΠΏΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ° Π΄ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ³ΡΠ½Π°. ΠΡΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ·ΡΠΊ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ .
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ?
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² (Π±Π»Π΅ΡΠΊ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ), ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² (Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΡ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ). ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠ° Π΄Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ.
ΠΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π½Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅
ΠΠ½Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ Π²Π°ΠΌ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ²Π°ΡΠΊΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π»ΠΈΡΡΠ΅, ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π±ΡΠ°ΠΊΠ° ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ. ΠΡΠΈΠ±ΠΊΠΈ Π² Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½Π°ΠΌ ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π°.
Π ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈ Π΄Π΅Π½ΡΠ³ΠΈ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Ρ Π½Π΅ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΌ ΡΠΈΠΏΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π½Π΅ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΡΡ Π΅ΠΌΡ. ΠΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ΡΡ Ρ Π΄Π°ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠΌ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ» Si Π² ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈ.
ΠΠ»Ρ Π»ΡΠ±ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈ Ρ
ΠΎΠ±Π±ΠΈ-ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΡ ΠΎ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΠΊΡΠΏΠ°Ρ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²Ρ, ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ°ΠΉΡΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅. ΠΠ½Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎ SiC β ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Π°ΠΌ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ.
Π Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ "ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ" ΠΎΡ
Π²Π°ΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ Π·Π½Π°Π½ΠΈΠΉ β ΠΎΡ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΠΈ Π΄ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ
ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. Π£ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΏΡΠ΅ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»Ρ Si, SiO2 ΠΈ SiC ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ Π½Π°Π²ΡΠΊΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ Π»ΡΠ±ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠ°, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π±ΡΠΊΠ²Π°ΠΌΠΈ Si, Π° Π½Π΅ K ΠΈΠ»ΠΈ Cr?
ΠΡΠΊΠ²Π° Si ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΡ Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Silicium. ΠΡΠΊΠ²Π° K Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π° Π·Π°Π½ΡΡΠ° ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ΅ΠΌ (ΠΎΡ Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Kalium), Π° Cr β Ρ ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ. Π Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ- ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π²ΡΡ Π±ΡΠΊΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΠΏΡΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ.
Π ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌ?
ΠΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ°Ρ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠ°. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) β ΡΡΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π». Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ β ΡΡΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠΈ, Π½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ· Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΌΠ°Π·ΠΎΠΊ, Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β Π΄Π»Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ².
ΠΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ°Π»ΠΈ Π½Π° ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΆΠ°Ρ ?
Π ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ²Π½ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠΉ Π² Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠΈ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠ½ΠΎ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ (Π΄ΠΎ 0.8%). ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΡΠΊΠ²Π° Π‘ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ°, ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΏΠΎ ΠΠΠ‘Π’. Π ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ (Π’Π£) Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅.
ΠΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ Π»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π·Π΄ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ?
ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC) ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ Π² ΡΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΡΡΠ³Π΅). ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠ»Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π²ΡΠ΅Π΄Π½Π° ΠΏΡΠΈ Π²Π΄ΡΡ Π°Π½ΠΈΠΈ. Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΎΠ² Π΄ΡΡ Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ»ΠΈ.
ΠΠ΄Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠΌΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ²?
ΠΠ»Ρ ΠΈΠΌΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ AA ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π²ΡΠΎΠΏΠ΅ΠΉΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎ EN) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠΏΡΠ°Π²ΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ². Π Π½ΠΈΡ Π±ΡΠΊΠ²Π° "Si" ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π° Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π° ΡΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π±ΡΠΊΠ² ΡΠ΅ΡΠΈΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, 4xxx) ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. Π§Π°ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΊΠ° Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠΎΠΊ.