ΠΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΎΡ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ ΠΈ ΠΈΠ·Π½Π°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ β ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ΅Π· ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π·Π°ΡΠΈΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΡΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π²Π»Π°Π³ΠΈ, Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ.
ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΄Π»ΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°.
Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΌΡ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅. ΠΡ ΡΠ·Π½Π°Π΅ΡΠ΅, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π° Π² ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π² ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΈ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠΌ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π²Π°Π½Π½Π΅, Π³Π΄Π΅ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ β Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°.
ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΡΠΏΠ΅Ρ Π° Π·Π΄Π΅ΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΡΠΈ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ. ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΏΠΎΠ³ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π²Π°Π½Π½Ρ.
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ, Ρ ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π² Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π°Ρ .
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΠΈΠ°Π½ΠΈΡΡΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΡΠ½ΠΎ-Π²ΡΡΡΠΆΠ½ΡΡ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ°ΡΡ ΡΠΈΠ°Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΌΠ΅ΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½Ρ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡ .
- π‘οΈ ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ
- π ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΠΎΡ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°
- π¨ ΠΡΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π΄Π»Ρ Ρ ΡΠΎΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ
Π‘ΡΠΎΠΈΡ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ³ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Π²Π°Π½Π½Ρ Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΡΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ"ΡΠ°Π΄ΠΈΡΡ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ" ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ½ΠΈΡΡΡΡ.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (PVD ΠΈ CVD)
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ PVD (Physical Vapor Deposition) ΠΈ CVD (Chemical Vapor Deposition) ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΡΠ°ΠΏ ΡΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π½Π° ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈ ΡΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ½Π°ΡΡΠΊΡ.
Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ PVD ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΈ ΠΎΡΠ΅Π΄Π°Π΅Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , ΡΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ· Π·Π°ΠΊΠ°Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ .
CVD-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, Π½Π°ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ², ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ (Π΄ΠΎ 1000Β°C), ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΡ Π²ΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ Π² Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠ»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ Ρ Π³Π»ΡΡ ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ PVD ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π½Π΅ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½ Π±Π΅Π· ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ Π² Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ PVD ΠΈ CVD ΡΠ°ΡΡΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ. ΠΡΠ»ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΠΈ, ΡΠ°ΡΡΠΎ Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ.
ΠΠ°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ PVD ΠΈ CVD ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π° ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ, Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Ρ ΡΡΠΎΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΡΡΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°.
Π’Π΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ: ΠΎΡ Π³Π°Π·ΠΎΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π΄Π΅ΡΠΎΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ ΠΈ ΡΡΠΊΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΡΡΡΠ΅ΠΉ Π³Π°Π·Π° ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
ΠΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ°. Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π·Π²ΡΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
- π₯ ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π΄Π»Ρ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ
- π ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²
- π οΈ Π Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΠΎΠ³Π°Π±Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΉ Π±Π΅Π· ΠΈΡ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ°ΠΆΠ° Ρ ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΠ΅ΡΠΎΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΡΠ»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π»Π°Π³Π° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄ΡΡ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ Π΄Π΅ΡΠΎΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅?
ΠΠ΅ΡΠΎΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ β ΡΡΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠΌΠ΅ΡΡ Π³Π°Π·Π°, ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΡΠΊΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ
Π²Π·ΡΡΠ²ΠΎΠ². ΠΠ·ΡΡΠ²Π½Π°Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Π° ΡΠ°Π·Π³ΠΎΠ½ΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π΄ΠΎ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ
ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡ ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ. ΠΡΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ
Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΠΈ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ.-->
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ β ΡΡΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π°Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ½Π°Ρ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ°, ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΠ°Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ
Π·Π½Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ΄Π»ΠΈΡΡ ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠΈΡΡ Π΅Π΅ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ.
ΠΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ Π΄ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ
Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² β ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ Π½ΠΈΡΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°. ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΡ
ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°ΠΌ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
ΠΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΡΠΉ?
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΡ
Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠ΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ"Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΠΈΠ·Π½Π°" Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ΅ Ρ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ»Ρ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠ·Π»ΠΎΠ² ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ±ΡΡΠΊΠ°ΠΌ Π² Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΠΌ.
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠΆΠ΅ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ?
Π Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅Π² Π½Π΅Ρ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² (Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠ°, Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅, PVD/CVD) ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ. ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ ΠΊ ΠΎΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
?
Π ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈ Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΡΠΌΠΎΡΡ Π½Π° Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ³ΠΎΠ»ΠΊΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ (Π°ΠΊΠΊΡΡΠ°ΡΠ½ΠΎ). ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄"ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΎΠΉ Π½Π°ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ" (ΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΠΠ‘Π’ 15140), ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΊΡ Π½Π°Π΄ΡΠ΅Π·ΠΎΠ² ΠΈ Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΡ: Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ Π»Π΅Π½ΡΠΎΠΉ, Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡ
Π°Ρ.
ΠΠ»ΠΈΡΠ΅Ρ Π»ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ?
ΠΠ°, ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½Π°. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ
ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΠΈΡΡ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡ
ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ β Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΅ Π²ΡΡΡΡ
Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π‘ΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅Π³Π»Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ²Π»ΡΡΡΡΡ. ΠΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ΡΡ Ρ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΌΠΈ ΠΠΠ‘Π’, ISO ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ Π²Π°ΡΠ΅Π³ΠΎ Π·Π°ΠΊΠ°Π·ΡΠΈΠΊΠ° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡΡΡ.
ΠΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΡΠΉ?
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠ΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ"Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΠΈΠ·Π½Π°" Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ΅ Ρ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ»Ρ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ·Π»ΠΎΠ² ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ±ΡΡΠΊΠ°ΠΌ Π² Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΠΌ.
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠΆΠ΅ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ?
Π Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅Π² Π½Π΅Ρ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² (Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠ°, Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅, PVD/CVD) ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ. ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ ΠΊ ΠΎΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ?
Π ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈ Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΡΠΌΠΎΡΡ Π½Π° Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ³ΠΎΠ»ΠΊΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ (Π°ΠΊΠΊΡΡΠ°ΡΠ½ΠΎ). ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄"ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΎΠΉ Π½Π°ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ" (ΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΠΠ‘Π’ 15140), ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΊΡ Π½Π°Π΄ΡΠ΅Π·ΠΎΠ² ΠΈ Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΡ: Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ Π»Π΅Π½ΡΠΎΠΉ, Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡ Π°Ρ.
ΠΠ»ΠΈΡΠ΅Ρ Π»ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ?
ΠΠ°, ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½Π°. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΠΈΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡ ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ β Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΅ Π²ΡΡΡΡ Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ.