ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°
ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΡΡΠ·Π²ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΡΡΠ΅Π΄Π°ΠΌ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΡ. ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ β ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π° ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΎΠ΄Π»Π΅Π²Π°ΡΡΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΉ Π² ΡΠ°Π·Ρ.
ΠΠ΅Π· ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π»Ρ ΡΠΆΠ°Π²Π΅Π΅Ρ, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΠ΅ΡΡΡ, Π° ΡΠΈΠ½ΠΊ Π²ΡΠΌΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΌΡΠΌ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌ. ΠΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π·Π°ΡΠΈΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ, Π±ΡΠ΄Ρ ΡΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°, Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ.
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΎΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition. ΠΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, Π³Π΄Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ°. Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Π° ΠΈΠΎΠ½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄Ρ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ°.
Π Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ, ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠΊΠ°, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΡΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ.
ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ½ΡΠ°ΠΉΡΠ°Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°, Π±Π»ΠΎΠΊΠΈΡΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π²Π»Π°Π³ΠΈ ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° ΡΡΡΠΎΠ³Π°Ρ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π³Π°Π·Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΏΠΈΡΠ°ΡΠΎΡΡ ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ.
Π’Π΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π’Π΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ (Π’ΠΠ¦) ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ . Π ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ, Π·Π΄Π΅ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π² ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° Ρ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡΠΌ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°Π±Π°Π½Π°Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 350β400Β°C. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅Π΄ΠΈΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
ΠΠ»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΡ Π² Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ Π²Π°Π½Π½Ρ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ. Π Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΄Π°ΡΡΡΡΡΡ ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ: ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΡΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈ ΠΎΠ³Π½Π΅Π²ΠΎΠ΅. ΠΡΠ±ΠΎΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΠΎΡ.
βοΈ ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΊ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ
ΠΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
ΠΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π»Π°ΠΊΠΈ, ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΌΠ°Π»ΠΈ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ, ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΎΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ. Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΠΈ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΡΠΊΡ.
ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π»ΡΠ±ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ°, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΎΠΊ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ.
ΠΠ»Ρ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ Ρ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΡΠ΄Π°-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΈ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·ΡΡΡΠΈΡ . ΠΠ½ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Ρ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π² Π΄ΠΎ 600Β°C ΠΈ Π²ΡΡΠ΅, ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
ΠΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΡ.
ΠΡΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΡ
ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΈΠ½Π°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ Π·Π°ΡΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ
Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ.
Π ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠΎΠΊΡΡΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ?
ΠΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΏΠ΅ΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΡ Π½ΡΡ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ.
Π‘ΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ
ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ²: ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΠΎΡ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠΈΠΆΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ.
| ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ | Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ (ΠΌΠΊΠΌ) | Π£ΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ | Π‘ΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΡ |
|---|---|---|---|
| ΠΠ°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ | 5β25 | Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ | ΠΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ |
| Π’Π΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ | 10β50 | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ |
| ΠΠΎΡΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ | 50β150 | ΠΡΠ΅Π½Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ | Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ |
| ΠΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ | 40β120 | Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ (Π±Π΅Π· Π³ΡΡΠ½ΡΠ°) | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ |
ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π΄Π°Π½Π½ΡΡ , Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΡΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΡ, Π½ΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ (Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ³ΡΡΠΆΠ°ΡΡ Π² Π²Π°Π½Π½Ρ Ρ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠΌ). ΠΠ°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Ρ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠΌΠΈ, Π½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ½ΡΡΠ΅.
ΠΠ»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°ΡΡΠΈΡ ΡΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ: ΡΠ½Π°ΡΠ°Π»Π° ΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΌΠ°Π·ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ. ΠΡΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Π΅Ρ Π·Π°Π΄ΠΈΡΡ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ Π½ΠΈΠΆΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΡ Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΡΠΌΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ»ΡΡ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ: ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π° Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ
ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π° Π½Π΅ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ. ΠΠ΅ΡΠΊΠΎΡΡΡΡΠΉΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΆΠ°Π²ΡΠΈΠ½Ρ, ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΡΡΠ°ΡΡΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΎΠΊ. ΠΠ½Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΡΡΡΡΡ Π½Π΅Ρ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΡ, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π½ΠΈΠΆΠ΅. ΠΠ»Ρ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ·Π»ΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ° Π΄ΠΎ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° Sa 2.5 ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΡ ISO 8501.
ΠΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ β ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ°ΠΏ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΠ³Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡΡ. ΠΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ»Π°, ΡΠΌΠ°Π·ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ°Π»ΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΎΡΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΊΠΎΠ² ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π±Π°ΡΡΠ΅Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΈΠΏΠ½ΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ.
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Β«Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈΒ».
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ²ΠΈΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π³ΠΎΠ΄ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎ 80% ΡΡΠΏΠ΅Ρ Π° Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΠ΅ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΡΡΠ΅ Π½Π° ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ.
ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ
ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΡ Π½Π° Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². Π‘Π°ΠΌΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ β ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΡ, ΠΏΡΠ·ΡΡΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ. ΠΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
ΠΠ»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ . ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΡ Π±Π΅Π· ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡ.
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΡΠΌ Π½Π°Π΄ΡΠ΅Π·ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΡΡΠ²Π°. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΎΠΌ Π½Π°Π΄ΡΠ΅Π·Π΅ Π΄Π΅Π»Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΊΠ° Π½Π°Π΄ΡΠ΅Π·ΠΎΠ², ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π΅Π΅Π½Π½Π°Ρ Π»Π΅Π½ΡΠ° ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ; ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΡ ΠΎ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ.
ΠΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΡΠΌΠΎΡΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ, ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅ΠΊΠΎΠ» Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½. ΠΡΠ±ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠ΅, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ΅Π½Ρ ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ.
Π ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΠΏΡΠ°ΠΉΠΌΠ΅Ρ (Π³ΡΡΠ½Ρ), ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΡΠΉ Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΡ ΠΈ ΡΡΠΊΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ?
Π‘Π°ΠΌΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ β ΠΊΠ°ΠΏΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΡΡ Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΈΠ°Π½ΠΈΠ΄Π°. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ Π΅ΡΡΡ, Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΡΠ½Π° Π² ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Ρ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠΌ.
ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅
ΠΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΡ Π½Π΅ ΡΡΠΎΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅, ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Ρ ΡΠ΅ΠΊΠΎΡΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ. ΠΠ°Π½ΠΎΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΠ±ΠΎΠΊ ΠΎΠ±Π΅ΡΠ°ΡΡ Π½Π΅Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Atomic Layer Deposition (ALD) ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π°ΡΠΎΠΌ Π·Π° Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ.
Π Π°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Β«ΡΠΌΠ½ΡΠ΅Β» ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΠΊ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠ°ΠΏΡΡΠ»Ρ Ρ ΠΈΠ½Π³ΠΈΠ±ΠΈΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π»ΠΎΠΏΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Ρ ΠΈ Β«Π·Π°ΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°ΡΡΒ» ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΎΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΡΠΎΠΌΠ° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·Ρ ΡΡΠ΅Ρ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΈ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ.
ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ Π·Π° Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌΠΈ, ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π½Π° ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΈΡΡΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ Π² Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ 5-10 Π»Π΅Ρ.
Π§Π°ΡΡΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ
ΠΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π·Π°ΡΠΈΡΡ Π»ΡΡΡΠ΅ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅?
ΠΠ»Ρ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ Π»ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°. ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΎΠ»Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ.
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ?
ΠΠ°, Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π΅, ΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π»ΠΈ. ΠΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ Π³ΡΡΠ½ΡΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°, ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΠ°Ρ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ°ΡΠΎΠΊ.
Π§ΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎ ΠΎΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ?
ΠΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡ ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΄Π°Π»ΠΈΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ, ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΠΈΡΡΠΈΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π½Π°Π½Π΅ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π·Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎ, ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°Ρ Π²ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΡΡ.
ΠΠ°ΠΊ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅?
Π’Π΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ 20 Π΄ΠΎ 50 Π»Π΅Ρ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΈ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ΅Π΄Ρ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΉ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠΎΠΊΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π·.