ΠΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° (TaβOβ ) β ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΎΠ³Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ². ΠΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡΠΌ Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ, Π³Π΄Π΅ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ. ΠΠΎ ΡΡΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π°, ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠΎΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅?
Π ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΌΡ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΡΠΌ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π° Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΡΡ: ΠΎΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π΄ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅. ΠΡ ΡΠ·Π½Π°Π΅ΡΠ΅, ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ TaβOβ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΆΠ°ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π½ΡΠ°Π½ΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ. ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΠΌ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² β Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ, Π³Π°ΡΠ½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ β ΡΡΠΎΠ±Ρ Π²Ρ ΠΌΠΎΠ³Π»ΠΈ Π²ΡΠ±ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΠ΅ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ, ΡΠ²Π°ΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΎΠΊ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ². ΠΠ°Π»Π΅Π΅ β ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΡΠΉ ΡΠ°Π·Π±ΠΎΡ Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ.
1. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π°: ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ
ΠΡΠΈΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ TaβOβ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 1872Β°C (ΠΏΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΡΠΏΡΠ°Π²ΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ CRC Handbook of Chemistry and Physics). ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Π°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°. Π Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π°ΡΠ³ΠΎΠ½Π΅) ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°ΡΡ 1890Β°C, ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ ΠΎΠ½Π° ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ 1850β1860Β°C ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΡ ΡΡΠ±ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠ»Ρ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ: ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ (AlβOβ) ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈ 2072Β°C, Π½ΠΎ ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ TaβOβ ΠΏΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ . ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ:
- π¬ ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· (ΠΠ’Π) β ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠ½Π΄ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°Ρ .
- π ΠΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΈΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ β Π±Π΅ΡΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈ Ρ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠΎΠΉ.
- π§ͺ ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ β ΠΎΡΡΠ»Π΅ΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ Π²ΡΡΠ΅ 1700Β°C TaβOβ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΡΡΡΡ, ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π½ΠΈΠ·ΡΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Ρ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, TaOβ). ΠΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡΠΊΡΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ Π±Π΅Π· Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΡ.
2. Π€Π°ΠΊΡΠΎΡΡ, Π²Π»ΠΈΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
Π Π΅Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ TaβOβ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ :
1. Π§ΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Ρ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ, ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ) ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° 50β150Β°C. Π’Π°ΠΊ, ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ 1% NbβOβ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅Ρ Π΅Ρ Π΄ΠΎ 1820Β°C, Π° 5% SiOβ β Π΄ΠΎ 1780Β°C.
2. ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°. TaβOβ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π² Π΄Π²ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡΡ :
- πΉ Ξ±-TaβOβ (Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ, ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΌΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ) β ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½Π° Π΄ΠΎ 1360Β°C.
- πΉ Ξ²-TaβOβ (Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ, ΡΠ΅ΡΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ) β ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠ΅ 1360Β°C ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈ 1872Β°C.
ΠΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ°Π·Π°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΡΠΌΠ° Π½Π° ~3%, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½Ρ Π² ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ΅.
3. ΠΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. Π Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ (10β»β΄ ΠΠ°) TaβOβ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ ΡΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ 1600Β°C, ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π² Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»Π΅Π½ Π΄ΠΎ 1900Β°C.
ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠΌ TaβOβ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠΈΠ³Π»ΠΈ ΠΈΠ· ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° β ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΡΡ Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ 2000Β°C.
3. Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ TaβOβ , ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌ Π΅Π³ΠΎ Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ :
| ΠΠΊΡΠΈΠ΄ | Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Β°C | ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ, Π³/ΡΠΌΒ³ | ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ |
|---|---|---|---|
| TaβOβ | 1872 | 8.2 | ΠΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΡ, ΠΎΠ³Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΡ, ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΡ |
| NbβOβ | 1512 | 4.6 | Π‘Π²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΠΊΠ»Π° |
| HfOβ | 2758 | 9.7 | Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΡΠ΄Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ° |
| ZrOβ | 2715 | 5.7 | ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠΆΠΈ, ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ |
| AlβOβ | 2072 | 4.0 | ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Ρ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΡ |
ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ, TaβOβ ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΡΡΠΈ HfOβ ΠΈ ZrOβ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΡ ΠΏΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π² Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π°Ρ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ΅). ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡΠΌ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅, Π³Π΄Π΅ HfOβ ΠΈ ZrOβ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΡΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ TaβOβ β ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ (0.33 ΠΡ/ΠΌΒ·Π ΠΏΡΠΈ 25Β°C), ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π² ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ .
TaβOβ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»Π΅Π½ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π³Π΄Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ, Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² β Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠ°Ρ Π΄Π»Ρ Π°ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ.
4. ΠΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅
ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ TaβOβ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ :
1. ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°.
- π± Π’Π°Π½ΡΠ°Π»ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΡ β Π΄ΠΎ 90% ΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° TaβOβ ΠΈΠ΄ΡΡ Π½Π° ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎ 200Β°C (Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ , ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΡ 125Β°C).
- π₯οΈ Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ β Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ALD (atomic layer deposition) Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ² Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ .
2. ΠΠ³Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ.
- π₯ Π’ΠΈΠ³Π»ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ) β TaβOβ Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°ΠΌΠΈ Π΄ΠΎ 1700Β°C.
- π‘οΈ Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π»ΠΎΠΏΠ°ΡΠΎΠΊ ΡΡΡΠ±ΠΈΠ½ β Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Ρ YβOβ (ΠΈΡΡΡΠΈΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄).
3. ΠΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·.
- βοΈ ΠΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² Π² Π½Π΅ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ β ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Ρ ΠΊ ΡΠ΅ΡΠΎΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ.
- π± Π€ΠΎΡΠΎΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ· β TaβOβ Ρ Π΄ΠΎΠΏΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ Π£Π€-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ TaβOβ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π°?
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΡΡ (8.5 ΠΏΠΎ ΠΠΎΠΎΡΡ), ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ Ρ ΡΡΠΏΠΎΠΊ ΠΈ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ . ΠΠ³ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ AlβOβ ΠΈΠ»ΠΈ SiC, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²Π»Π΅ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½Π΅Π΅ ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ°Ρ .
5. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ TaβOβ
ΠΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ², ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ (Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 99.9% Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ):
1. ΠΠΈΠ΄ΡΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄.
- π§ͺ Π Π°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ΄ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΊΠΎΠ»ΡΠΌΠ±ΠΈΡΠ°) Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ HF + HβSOβ.
- π ΠΠΊΡΡΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΡΠΈΠ»ΠΊΠ΅ΡΠΎΠ½ΠΎΠΌ) Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ.
- π₯ ΠΡΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° (Ta(OH)β ) ΠΏΡΠΈ 800β1000Β°C Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ TaβOβ .
2. Π’Π΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠ»Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ΅Π½ΡΠ°Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄ΠΎΠ²:
2 TaClβ
+ 5 HβO β TaβOβ
+ 10 HCl
Π Π΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈ 500β700Β°C Π² Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ΄ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΡΠ°.
3. ΠΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠ»Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ TaβOβ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ° Π² Π°ΡΠ³ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ 10 000Β°C, Π½ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ° Ρ ΡΡΠ±ΡΡΡΠ°ΡΠΎΠΌ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ.
βοΈ ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° TaβOβ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ
6. ΠΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ TaβOβ
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΄Π° ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ» Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ:
1. ΠΡΠ»Π΅Π²Π°Ρ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
ΠΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ TaβOβ Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ <5 ΠΌΠΊΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°Π·Π΄ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΡΠ³ΠΊΠΈΡ . ΠΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ (ΠΠΠ) Π² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ β 5 ΠΌΠ³/ΠΌΒ³.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ TaβOβ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΏΠΈΡΠ°ΡΠΎΡΡ Ρ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠΎΠΌ P3 ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΡΡ Π²ΡΡΡΠΆΠ½ΡΡ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΡ. ΠΠΎΠΊΡΠΎΠ΅ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠ»Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° 90%.
2. Π Π΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ.
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ Π²ΡΡΠ΅ 1000Β°C Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° TaβOβ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° (TaC), ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΠΌΡ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. ΠΠ·Π±Π΅Π³Π°ΠΉΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ° Ρ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΠ³Π»ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΠΆΠ΅ΠΉ.
3. Π£ΡΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° Π½Π΅ ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ΅Π½, Π½ΠΎ Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ Π²ΠΎΠ΄Π°Ρ (Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 10 ΠΌΠ³/Π») ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ. ΠΠ»Ρ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°ΠΌΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ Π΄ΠΎ pH 9β10.
ΠΠ»Ρ Π½Π΅ΠΉΡΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ° TaβOβ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Π»ΠΈΠΌΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ (5%) β ΠΎΠ½ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π² Π½Π΅Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΡ.
7. ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠΎΡΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² TaβOβ Π΄Π»Ρ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ:
1. ΠΠΎΠΏΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1β3% TiOβ ΠΈΠ»ΠΈ WOβ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ TaβOβ Π² ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ (Π’ΠΠ’Π) ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ 600β800Β°C.
2. ΠΠ°Π½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ.
Π‘ΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ TaβOβ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ 10β50 Π½ΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ Π²ΡΡ Π»ΠΎΠΏΠ½ΡΡ Π³Π°Π·ΠΎΠ²).
3. ΠΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΡ Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠΌ.
ΠΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ TaβOβ /Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΡΠ΄Π½ΡΡ ΡΠΌΠΊΠΎΡΡΡ (~500 Π€/Π³) Π΄Π»Ρ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Ρ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎ Π½ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ°ΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ TaβOβ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π°. ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΡΡΠ°Π½ΠΈΡ Π½Π° Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ (Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 000 ΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ² Π·Π°ΡΡΠ΄-ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄).
Π§Π°ΡΡΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ (FAQ)
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡΡ TaβOβ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ?
ΠΠ΅Ρ. ΠΠ»Ρ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ TaβOβ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΏΠ΅ΡΡ Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1900Β°C (Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π²Π°) ΠΈ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠΎΠΉ (Π°ΡΠ³ΠΎΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌ). ΠΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ»ΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΡΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ΅ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (ΠΌΠ°ΠΊΡ. 1300Β°C) Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΠ΄ΡΡ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΡΡΠΆΠΊΠΈ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΡΡ TaβOβ ΠΎΡ NbβOβ Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ?
Π ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΎΠ±Π° ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π±Π΅Π»ΡΠ΅, Π½ΠΎ TaβOβ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ (2.15 ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ² 2.0 Ρ NbβOβ ), ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΡΡΡ "Π±Π»Π΅ΡΡΡΡΠΈΠΌ" ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ. Π’ΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΡΠ»ΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° (Π Π€Π) ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΡΡΠ°.
ΠΠ»ΠΈΡΠ΅Ρ Π»ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ TaβOβ Π½Π° ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»ΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ²?
ΠΠΎΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ β Π΄Π°. ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ TaβOβ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° Π² ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠ°Ρ , ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π΄ΠΎ 200Β°C. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠ° ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°, Π° Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° (ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ 125β150Β°C Π΄Π»Ρ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ MnOβ).
ΠΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡΡ Π² ΡΠΈΠ³Π»ΡΡ ΠΈΠ· TaβOβ ?
ΠΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π° Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠ΅ΠΊ ΠΊ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² (ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎ 1700Β°C):
- πΉ Π’ΠΈΡΠ°Π½ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, VT6).
- πΉ Π¦ΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΠΉ (Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ).
- πΉ ΠΠ»Π°ΡΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ (Π±Π΅Π· ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ²).
ΠΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² (Π½Π°ΡΡΠΈΠΉ, ΠΊΠ°Π»ΠΈΠΉ) β ΠΎΠ½ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ TaβOβ Π΄ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π½ΡΠ°Π»Π°.
ΠΠ°ΠΊ Ρ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ TaβOβ ?
ΠΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Ρ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π² Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΉΠ½Π΅ΡΠ°Ρ ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠΈΠ»Π΅Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ (PE-HD) ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 15β25Β°C ΠΈ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 50%. ΠΡΠΈ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Ρ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ (Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 6 ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ΅Π²) ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΈΠΊΠΊΠ°ΡΠΈΠ² (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°Π³Π΅Π»Ρ) Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ·Π±Π΅Π³Π°ΠΉΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ° Ρ ΡΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠΎΠΌ β ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄.