ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΏΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ β ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΡΠΈΠ΄Π°ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΊΠΎΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΠ° ΠΎΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ, ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΠΊΠΈ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ Π΄Π΅Π»Π΅, ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² Π°Π²ΠΈΠ°ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½Ρ: ΠΎΠ΄Π½ΠΈ ΡΡΡΠΊΠ½Π΅ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΌΠ΅ΡΡΡ, Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ Π±Π»Π΅ΡΠΊ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΡΠΌΠΈ. ΠΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΡΠ°Π½ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°.
Π ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΌΡ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΡΠΌ Π²ΡΠ΅ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ β ΠΎΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ Π΄ΠΎ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ PVD-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌ ΠΈΡ ΠΏΠ»ΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΡΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄Π°Π΄ΠΈΠΌ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ±ΠΎΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΠΌ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ , Π³Π΄Π΅ Π½Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΌ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Ρ, ΡΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡ Π³Π°Π΄ΠΆΠ΅ΡΠ° β Π·Π΄Π΅ΡΡ Π½Π°ΠΉΠ΄ΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
1. ΠΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ: ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΠΈΠΌΠΈΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π΅, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π±ΡΠ΄ΠΆΠ΅ΡΠ°, ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ (ΡΡΠ°Π»Ρ, ΠΌΠ΅Π΄Ρ, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ Ρ.Π΄.). Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ:
- π ΠΠ°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ β ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ². ΠΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ.
- π¨ ΠΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ β Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ° Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ. Π§Π°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΠΎΠ³Π°Π±Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠΊΠΈ).
- β‘ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ (ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅) β Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄, ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π±Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ².
- π§΄ Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ β Π±Π΅ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°. ΠΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ ΠΈ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ.
- ποΈ Π ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° (ΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ) β ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ½ΡΠ°ΠΉΡΠΈΡ Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΡΠ°Π²ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΠ·Π°ΠΉΠ½Π΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ².
ΠΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠ², Π° PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ . Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π·Π°ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΠ΅. ΠΠ°Π»Π΅Π΅ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΡΠΌ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½Π΅Π΅.
2. ΠΠ°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅: ΠΏΠΎΡΠ°Π³ΠΎΠ²Π°Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ
ΠΠ°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠ° β ΡΠ°ΠΌΡΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΠΊΠΈΡ
. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡ 0.1 Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Ρ
ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΉ Π±Π»Π΅ΡΠΊ ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ:
- π ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° (Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Π±Π»ΠΎΠΊ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ).
- π§ͺ ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ (ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΡΠΈ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ).
- πͺ¨ ΠΠ½ΠΎΠ΄ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΠΈΠ½Ρ (Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°).
- π§½ ΠΠ°Π½Π½Π° ΠΈΠ· ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠΊΠ°, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°ΡΠ°ΠΌ.
- π§€ Π‘ΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° Π·Π°ΡΠΈΡΡ: ΠΏΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ, ΠΎΡΠΊΠΈ, Π²ΡΡΡΠΆΠΊΠ° (ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ° Ρ ΡΠΈΠ°Π½ΠΈΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½Π°!).
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ²:
- ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ: ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ (Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠΎΠ²Π°Ρ Π²Π°Π½Π½Π°), ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ (Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ²) ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΠ²ΠΊΠ° Π΄ΠΈΡΡΠΈΠ»Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ.
- ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΡ: ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Ρ Π΄Π»Ρ Π»ΡΡΡΠ΅ΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°.
- ΠΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅: Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄, Π°Π½ΠΎΠ΄ β Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ΅Π½Ρ. ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° β
0.2β0.5 Π/Π΄ΠΌΒ², Π²ΡΠ΅ΠΌΡ β ΠΎΡ 5 Π΄ΠΎ 30 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ. - ΠΡΠΎΠΌΡΠ²ΠΊΠ° ΠΈ ΡΡΡΠΊΠ°: ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΎΠ² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° (ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ).
βοΈ ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ
ΠΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠ°: ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π΄ΠΈΡΡΠΈΠ»Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΡΠ΅Π½ ΠΈ ΡΡ
ΡΠ΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° (ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ 50β60Β°C) ΠΈ ΠΈΠ·Π±Π΅Π³Π°ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°, ΠΈΠ½Π°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΠΌ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π Π°Π±ΠΎΡΠ° Ρ ΡΠΈΠ°Π½ΠΈΡΡΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΌΠ°Π»ΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ·Ρ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠΈΠ°Π½ΠΈΠ΄Π° ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½Ρ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ Π²ΡΡΡΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Ρ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° Π·Π°ΡΠΈΡΡ!
3. ΠΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅: Π±ΡΠ΄ΠΆΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π΄Π»Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ
ΠΡΠ»ΠΈ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π° Π² ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Π° PVD Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎ, ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΏΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ. ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ², ΠΌΠ΅Π±Π΅Π»ΠΈ, Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°:
- π° ΠΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΎΠΉ.
- π¨ Π¨ΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΉ Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΊΠΎΠ² (ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡovΓ©ho Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π΄ΠΎ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π±Π»Π΅ΡΠΊΠ°).
- π‘οΈ Π₯ΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ Π£Π€-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²Π»Π°Π³Π΅ (ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°).
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠΈ ΡΡΠ°ΠΏΠ°:
- ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ: ΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΡΡΡΡΠΉΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΆΠ°Π²ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΎΡ ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΠΈ, ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.
- ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°: Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΈΡΡΠΎΠ»Π΅ΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠΈΠ±ΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ β
60β100 ΠΌΠΊΠΌ. - ΠΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ: Π½Π°Π³ΡΠ΅Π² Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈ Π΄ΠΎ
180β200Β°CΠ² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 15β30 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠ΄Π΅Π²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
ΠΠ»Ρ Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΠ΄ΡΡ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Π½Π°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΎΠΊ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, RAL 1004"ΠΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΠΆΡΠ»ΡΡΠΉ" ΠΈΠ»ΠΈ RAL 1027"ΠΡΡΠΊΡΠΌΠ°"). ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΡΡΠ½ΡΠ° Π΄Π»Ρ Π»ΡΡΡΠ΅ΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ.
| Π’ΠΈΠΏ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° | ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° | Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ | Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ |
|---|---|---|---|
| Π‘ΡΠ°Π»Ρ | ΠΠ΅ΡΠΊΠΎΡΡΡΡΠΉΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° + ΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ | ΠΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎ-ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠΈΡΠ½ΡΠΉ | 180β200Β°C |
| ΠΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ | Π₯ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΡΡΠ½Ρ | ΠΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ | 160β180Β°C |
| ΠΠ΅Π΄Ρ/Π»Π°ΡΡΠ½Ρ | ΠΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ + ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ | ΠΠΊΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΠΉ | 150β170Β°C |
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π° Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π»Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅Π³Π°ΠΉΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² β ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΡ.
4. PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅: Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ
Physical Vapor Deposition (PVD) β ΡΡΠΎ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΡΡΡΡ ΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ. Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π² 5β10 ΡΠ°Π· ΠΏΡΠΎΡΠ½Π΅Π΅ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅Ρ Π±Π»Π΅ΡΠΊ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΡΠΌΠΈ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ:
- β Π§Π°ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ (ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ° ΡΠ°ΡΠΎΠ², Π±ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΡΡ).
- π± ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° (ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ° ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², Π½ΠΎΡΡΠ±ΡΠΊΠΎΠ²).
- π§ Π Π΅ΠΆΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ (ΡΠ²ΡΡΠ»Π°, ΡΡΠ΅Π·Ρ β Π΄Π»Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ).
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ PVD Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ:
- π₯ ΠΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ (sputtering) β Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π°ΡΠ³ΠΎΠ½Π°.
- π« ΠΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ β Π½Π°Π³ΡΠ΅Π² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π΄ΠΎ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π½Π° Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
- π ΠΡΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ β ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
Π ΡΠΎΠΆΠ°Π»Π΅Π½ΠΈΡ, PVD-ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΡΠΎΡΡ ΠΎΡ 500 000 ΡΡΠ±Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
Π½Π°Π²ΡΠΊΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π½Π°ΡΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡΡ ΡΡΠ»ΡΠ³ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Ρ. Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π° ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ β 1 500β3 000 ΡΡΠ±Π»Π΅ΠΉ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Π°ΠΌ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡ PVD Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΊΠΎΠ»ΡΡΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°ΠΊΠΎΠ»ΠΊΡ), ΠΏΠΎΠΈΡΠΈΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΠΊΠΈΠ΅, ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π½Π° ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ΅ β Ρ Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ.
5. Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅: Π±Π΅ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (ΠΈΠ»ΠΈ immersion gold) β ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Π±Π΅Π· ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»Π΅Π½ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΡΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ΅ΠΉ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΎΡΡ, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ). ΠΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°:
- β‘ ΠΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ.
- π Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΠ΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ .
- π οΈ ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ (ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠ²).
Π‘ΠΎΡΡΠ°Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π΄Π»Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ:
- Π₯Π»ΠΎΡΠΈΠ΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° (
AuClβ). - ΠΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΈΡΡΠ°Ρ Π½Π°ΡΡΠΈΡ).
- ΠΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ (Π³ΠΈΠ΄ΡΠ°Π·ΠΈΠ½, ΡΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ΄Π΅Π³ΠΈΠ΄).
- Π‘ΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΡ pH (Π±ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ).
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΎΡ 10 Π΄ΠΎ 60 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ (ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ 60β80Β°C). Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 0.1β0.3 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ΄Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠ΅Π΅ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°.
Π§Π΅ΠΌ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ?
Π Π°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΠ°Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ ΠΎΠΆΠΎΠ³ΠΈ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΌΠ°Π»ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π° Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½Ρ ΠΏΡΠΈ Π²Π΄ΡΡ Π°Π½ΠΈΠΈ. Π Π°Π±ΠΎΡΠ°ΠΉΡΠ΅ Π² ΠΏΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΊΠ°Ρ , ΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΠΈ Ρ Π²ΡΡΡΠΆΠΊΠΎΠΉ!
6. Π ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°: ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°
Π’ΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° (ΡΠΎΠ½ΡΠ°ΠΉΡΠΈΡ
Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0.1β0.12 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π΅ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π² ΡΠ΅ΡΡΠ°Π²ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΏΠΈΡΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΠ·Π°ΠΉΠ½Π΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ². ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΡΡΠ΄ΠΎΡΠΌΠΊΠΎΡΡΡ, ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±Π»Π΅ΡΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΡΠΎΠΉ. ΠΠ»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ:
- πΌοΈ Π‘ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ (ΠΏΡΠΎΠ΄Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ½ΠΈΠΆΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎ 25 Π»ΠΈΡΡΠΎΠ²).
- π¨ ΠΠ»Π΅ΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΌΠΈΠΊΡΡΠΎΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ).
- π§Ή ΠΡΠ³ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΈΡΡΠΈ (Π±Π΅Π»ΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠΊ).
- π§½ ΠΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° (ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π³ΠΈΠΏΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π³ΡΡΠ½Ρ).
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°Π³ΠΈ:
- ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ: ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ°, Π³ΡΡΠ½ΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ.
- ΠΠ°ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ° Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°: Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠ»Π΅Ρ ΠΈ Π°ΠΊΠΊΡΡΠ°ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠΌ.
- ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ°: ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π²ΡΡΡΡ Π°Π½ΠΈΡ (12β24 ΡΠ°ΡΠ°) ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π°Π³Π°ΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ.
Π‘ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ Π±ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ
ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΊΠΎΠ²: ΠΆΡΠ»ΡΠΎΠ΅ (22β24 ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΠ°), ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ΅ (Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ), Π·Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ (Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎΠΌ). Π‘ΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΠΈΡΡΠ° (ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ~8Γ8 ΡΠΌ) β ΠΎΡ 200 Π΄ΠΎ 1 000 ΡΡΠ±Π»Π΅ΠΉ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΡΠΎΠ±Ρ.
Π ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° β Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΡΡ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ"ΡΠΎΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°", ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π°ΠΌΠΈ.
7. Π§Π°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΡ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ
ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΎΠΏΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ. ΠΠΎΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ:
- π« ΠΠ»ΠΎΡ Π°Ρ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ β ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ: Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΡ. Π Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅: ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π²Π°Π½Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΌ.
- π‘ ΠΠΎΠΆΠ΅Π»ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ β ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΡΠΏΠ»Π°Π²Π΅. Π Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅: ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Ρ (Π½Π΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 18K) ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠΉ Π»Π°ΠΊ.
- π Π’ΡΠ΅ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ β Π²ΡΠ·Π²Π°Π½Ρ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΡΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠΊΠΎΠΉ. Π Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅: ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ (Π΄Π»Ρ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ β Π΄ΠΎ 3 ΠΌΠΊΠΌ, Π΄Π»Ρ PVD β Π΄ΠΎ 0.5 ΠΌΠΊΠΌ).
- π₯ ΠΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ β ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. Π Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅: ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠΈ (Π½Π΅ Π²ΡΡΠ΅
200Β°C).
ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π° ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° β Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° Π½Π° Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ. Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°ΠΌΠΈ Π½ΠΈΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ β ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ°ΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡ ΠΎΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠΉΡΠ΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ.
8. FAQ: ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠΆΠ°Π²ΡΡ ΡΡΠ°Π»Ρ?
ΠΠ΅Ρ, ΡΠΆΠ°Π²ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΄Π°Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ°ΠΆΠ΅ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ°Π³ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄ΡΡ ΠΊ ΠΎΡΡΠ»ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°. ΠΠ»Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΡΡΡΡΠΉΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ΅ (Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π΅ΠΉΡΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ).
Π‘ΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ Π½Π° Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ Π΄ΠΈΡΠΊΠ°Ρ ?
ΠΡΠΈ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ β ΠΎΡ 3 Π΄ΠΎ 5 Π»Π΅Ρ. Π‘ΡΠΎΠΊ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ° (Π»ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Ρ) ΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ (Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ°ΡΡ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ).
ΠΠ°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΠ΅?
ΠΠ΅Π·ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΡΠΉ Π»ΠΈΠ΄Π΅Ρ β PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. ΠΠ½ΠΎ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎ ΠΊ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Π°ΠΌ, Π½Π΅ ΡΡΡΠΊΠ½Π΅Π΅Ρ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΈ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π΄ΠΎ 300Β°C. ΠΠ° Π²ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ β Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ.
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, Π½Π΅ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΠ΅ ΠΎΡ Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°?
ΠΠ°, Π½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Ρ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° Π±ΡΠ΄ΡΡ ΡΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ ΠΏΠΎ Π±Π»Π΅ΡΠΊΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΡΠ΅. ΠΠ»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ (ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°) + ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° (ΡΠΈΠ½ΠΈΡ).
ΠΠ°ΠΊ ΡΡ Π°ΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π·Π° ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΠΌΠΈ?
ΠΠ·Π±Π΅Π³Π°ΠΉΡΠ΅ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ² ΠΈ ΠΆΡΡΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΠΎΠΊ. ΠΠ»Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΠΌΡΠ³ΠΊΡΡ ΡΠΊΠ°Π½Ρ, ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π² ΠΌΡΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅. Π₯ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ Π² ΡΡΡ ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅, ΠΏΠΎΠ΄Π°Π»ΡΡΠ΅ ΠΎΡ ΠΏΡΡΠΌΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ (Π£Π€ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ).