ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠ΅ΡΡ Π·Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎ ΡΠΎΠ½ΡΠ°ΠΉΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ , Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ°Π·Ρ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π΅Ρ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ β ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π°ΡΠΎΠΌ. ΠΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π»ΠΈ ΠΎΠ½ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ? Π Π΅ΡΠ»ΠΈ Π½Π΅Ρ, ΡΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π° Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ? ΠΡΠ²Π΅Ρ ΠΊΡΠΎΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΡΡΠΊΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ.
Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΡΡΠ΅Π½ΡΠ΅ Π½Π°ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠ΅. ΠΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ³ΡΡΠ·ΠΈΡΡΡΡ Π² ΠΌΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΡΡΠΎΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΡΡΡ: ΡΡΠΎ Π²ΠΎΠΎΠ±ΡΠ΅ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,1 ΠΌΠΊΠΌ ΡΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΡΡΡ Π³ΡΡΠ±ΡΠΌ "Π»ΠΈΡΡΠΎΠΌ" ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ "ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»" Ρ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ
Π ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» β ΡΡΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ, ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ Π±Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π°Ρ , ΡΡΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 2 Π½ΠΌ ΡΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅Π»ΡΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π° ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π².
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π½Π°ΡΠΊΠ° ΠΎΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠΈΡΠΌΠΈ:
- π¬ ΠΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ β ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π² 1-3 Π°ΡΠΎΠΌΠ° Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π½Π΅Π½ ΠΈΠ· ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°)
- π Π£Π»ΡΡΡΠ°ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ β ΡΡΠ»ΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,01β0,1 ΠΌΠΊΠΌ (ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠ°Ρ )
- βοΈ ΠΠ°Π½ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ β ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½ΠΈΡΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 1β10 Π½ΠΌ (ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ )
ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ β ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π² Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ
ΡΠ»ΠΎΡΡ
. ΠΠ»Ρ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ: Π»ΠΈΡΡ ΠΎΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ Π±ΡΠΌΠ°Π³ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π² 50 000 ΡΠ°Π·. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈΠ²ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΠΌ: Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡΡ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
.
ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ β ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅Ρ? Π Π°Π·Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ ΠΌΠΈΡΡ
ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ½ΠΎ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ "ΡΠ°ΠΌΡΠΌ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ", Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠ°: Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π°Π»Π»ΠΎΡΡΠΎΠΏ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, Π° ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ:
| Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ | ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ | ΠΠΎΠ»ΠΎΡΠ°Ρ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° (2 Π½ΠΌ) | ΠΠ΅Π΄ΠΈΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³Π° (5 Π½ΠΌ) |
|---|---|---|---|
| ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ | 106 Π‘ΠΌ/ΠΌ | 4Γ105 Π‘ΠΌ/ΠΌ | 5Γ105 Π‘ΠΌ/ΠΌ |
| Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° | 0,34 Π½ΠΌ (1 ΡΠ»ΠΎΠΉ) | 2 Π½ΠΌ (β10 ΡΠ»ΠΎΠ΅Π²) | 5 Π½ΠΌ (β25 ΡΠ»ΠΎΠ΅Π²) |
| ΠΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ | 97,7% | ~80% | ~60% |
| ΠΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ | 130 ΠΠΠ° | ~50 ΠΠΠ° | ~30 ΠΠΠ° |
Π₯ΠΎΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π½Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π», Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΡΡΡ Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½-Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. Π Π²ΠΎΡ ΡΡΠ°Π½Π΅Π½ (ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅) ΡΠΆΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌ ΠΈ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π΄Π΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π° Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ "ΡΠ°ΠΌΡΠΉ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»".
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ². ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ Π² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ Π½Π΅ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ.
Π Π΅ΠΊΠΎΡΠ΄ΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΡΡΠΈ: ΡΠΎΠΏ-5 ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²
ΠΡΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ, ΡΠΎ ΠΏΠ°Π»ΡΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²Π΅Π½ΡΡΠ²Π° Π΄Π΅Π»ΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΡ
ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ-Π»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (CVD). ΠΠΎΡ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ:
- Π‘ΡΠ°Π½Π΅Π½ (Sn) β ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΡΠ½Π½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,5 Π½ΠΌ. ΠΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, Π½ΠΎ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ Π½Π΅ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»Π΅Π½ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅.
- ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π½ (Ge) β Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ (0,4 Π½ΠΌ). ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°.
- ΠΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ (Au) β ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 1 Π½ΠΌ (3-4 Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΡ). ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠ°Ρ .
- Π‘Π΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ (Ag) β Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ 2-3 Π½ΠΌ Π΄Π»Ρ Π°Π½ΡΠΈΠ±Π°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΡΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
- ΠΠ»Π°ΡΠΈΠ½Π° (Pt) β ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ². Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ~0,2 Π½ΠΌ, Π½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ.
ΠΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Ρ, ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π½Π΅ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ Π² ΡΡΠΎΡ ΡΠΏΠΈΡΠΎΠΊ: ΠΈΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 5-10 Π½ΠΌ ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π°Π³Π»ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π΅Π»ΡΠ·Ρ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠ³Ρ ΡΠΎΠ½ΡΡΠ΅ 5 Π½ΠΌ?
ΠΡΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 5 Π½ΠΌ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ AlβOβ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π°ΡΠΎΠΌΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ ΠΌΠΈΠ³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ, ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π°Ρ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
ΠΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ: ΠΎΡ ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΡΠΌΠΎΡΠ°
ΠΠ°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΆΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ , ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌΠΈ Π²Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡ Π΅ΠΆΠ΅Π΄Π½Π΅Π²Π½ΠΎ. ΠΠΎΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ:
- π± ΠΠΈΠ±ΠΊΠ°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°: ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊ Π² ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΡΠ°Π½Π°Ρ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² Samsung Galaxy Fold)
- π ΠΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΡ: Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π² ΡΠΊΡΠΏΡΠ΅ΡΡ-ΡΠ΅ΡΡΠ°Ρ Π½Π° COVID-19 ΠΈ Π³Π»ΡΠΊΠΎΠ·Ρ
- βοΈ Π‘ΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΈ: ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎ-ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 10 Π½ΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡ ΠΠΠ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Π΅ΠΉ
- π ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ°: Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎ-Π»ΠΈΡΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,1 ΠΌΠΊΠΌ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ
ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π³Π΄Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΏΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΡΡΡ ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠΎΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΡΡΡΡΡΠΈ ΡΠ°Π· Π±ΡΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ .
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Π°ΠΌ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΠΈΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ ΠΎΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ»ΠΎΠ΅Π²ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ (ALD) ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 1-2 Π½ΠΌ. ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² Intel.
ΠΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² Π°ΡΠΎΠΌ: ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅
ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² β Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° Π½Π΅ ΠΈΠ· ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ . ΠΠ΄Π΅ΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Ρ Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΡ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ:
- ΠΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ-Π»ΡΡΠ΅Π²Π°Ρ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ (MBE): Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ Π² ΡΠ²Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ (Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ~10-11 ΡΠΎΡΡ). ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π° ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π½Π°.
- Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (CVD): ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ Π½Π° Π½Π°Π³ΡΠ΅ΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ. Π’Π°ΠΊ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ.
- ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅: ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 1 Π½ΠΌ (ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° Π² ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠ°Ρ ).
- ΠΠ°Π·Π΅ΡΠ½Π°Ρ Π°Π±Π»ΡΡΠΈΡ: ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΉ Π»Π°Π·Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Ρ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ, ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ Π΅Π³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΈ ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ.
ΠΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ β ΡΠ΅ΡΠΎΡ
ΠΎΠ²Π°ΡΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊ ΡΠ°Π·ΡΡΠ²Π°ΠΌ Π² Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ»ΡΠ΄Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΎ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΡΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
(Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΏΡΡΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΠ·ΠΎΠΌ) ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΠ΅: ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 100 Π½ΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠ΅ Π² ΠΊΡΠΎΠ²Ρ, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Ρ ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΡ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΏΠΈΡΠ°ΡΠΎΡΡ Ρ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ FFP3 ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ.
ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²: ΡΡΠΎ ΠΆΠ΄Π΅Ρ Π½Π°Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· 5-10 Π»Π΅Ρ
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊ 2030 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ:
- π§ ΠΠ΅ΠΉΡΠΎΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΡ: ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠ½Π°ΠΏΡΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ·Π³Π°, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ ΠΠ Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² 1000 ΡΠ°Π· Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ .
- π©Ί ΠΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ: Π±ΠΈΠΎΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 50 Π½ΠΌ Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΡΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ Π±Π΅Π· ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
- π ΠΠΊΠΊΡΠΌΡΠ»ΡΡΠΎΡΡ: Π»ΠΈΡΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ Π°Π½ΠΎΠ΄Ρ Ρ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ· ΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π° ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ°Ρ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ Π² 3 ΡΠ°Π·Π°.
- π ΠΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ: Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 2 Π½ΠΌ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΎΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π²ΠΎΠ΄Ρ ΠΎΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠΊΠ° Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΎΠ±Π΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ β ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π° ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π½Π°. ΠΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎ ΠΊΡΠ°ΡΠΌ, Π½Π΅ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ Π±Π΅Π· Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ Π²ΡΠ·ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² β ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ 90% ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ
ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΡΡ
Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ
ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ. ΠΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π°ΠΌ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΎΠ»Π»-ΡΡ-ΡΠΎΠ»Π» CVD Π΄Π»Ρ ΡΡΠ»ΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
ΠΠΈΡΡ ΠΈ Π·Π°Π±Π»ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°Ρ
ΠΠΎΠΊΡΡΠ³ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠΈΡΠΎΠ². Π Π°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΠΌΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠ΅:
ΠΠΈΡ 1: "ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ"
Π Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ: ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ . ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ ΠΆΠ΅ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ.
ΠΠΈΡ 2: "ΠΠΎΠ»ΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,1 ΠΌΠΊΠΌ β ΡΡΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π» ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΡΡΠΈ"
Π Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ: Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 1 Π½ΠΌ (3 Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΡ), Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
ΠΠΈΡ 3: "Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅"
Π Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ: ΠΠ°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ½Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΌΠ΅Π΄Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΠΎ 50% Π±Π΅Π· ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π·Π°Π±Π»ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ β ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈ. ΠΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ Π΄Π΅Π»Π΅ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Ρ Π² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²Π»Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΠΈΠ½Ρ, Π° ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π·Π°ΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π΅ ΡΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ Π±Π»Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌ.
FAQ: Π§Π°ΡΡΡΠ΅ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°Ρ
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 1 Π½ΠΌ?
Π’Π΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ β Π΄Π°, Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠ»ΡΠ΄Ρ). ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ:
- ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ°ΠΌΠΏΠ΅Ρ
- ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ (99,9999%)
- ΠΠ°ΠΊΡΡΠΌΠ½Π°Ρ ΡΡΡΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ
ΠΠ° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ ΡΠΎΠ½ΡΡΠ΅ 10 Π½ΠΌ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ Π² ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½Π°Ρ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²?
ΠΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π΄Π²Π° ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΡΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ:
- ΠΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ β Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π»ΡΠ·Ρ "Π²ΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΡ", ΡΡΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ².
- Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ β Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π½Π΅ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌΠΈ Π±Π΅Π· Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΡ Π°Π΄Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠΎΠ².
ΠΠ°ΡΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΡΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π°ΠΊΠΊΡΠΌΡΠ»ΡΡΠΎΡΠ°Ρ (Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΎΠ²) ΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΡΠ°Π½Π°Ρ (ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ).
ΠΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΡΠ°ΠΌΡΠΉ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ (Π±Π΅Π· Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π°)?
Π ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π½Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ β ΠΎΠ½ΠΈ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΡΠ΄ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄ΠΊΠΎΠ². ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΅ΡΡΡ Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ:
- ΠΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ β Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡΡ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΊ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 0,1 ΠΌΠΊΠΌ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅)
- Π‘Π΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ β Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π² ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Π°Ρ Π°ΡΠ³Π΅Π½ΡΠΈΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΈΡΠ°ΡΠ³ΠΈΡΠΈΡΠ΅
- ΠΠ΅Π΄Ρ β ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ Π΄Π΅Π½Π΄ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ~100 Π½ΠΌ
ΠΠΎ ΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π½Π΅ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½Ρ ΠΈ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ "ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ" Π² ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΌΡΡΠ»Π΅.
ΠΠ°ΠΊ Ρ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΠ»ΠΈΡΡ?
ΠΠ»Ρ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ (ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ°, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ:
ΠΠ°ΠΊΡΡΠΌΠ½Π°Ρ ΡΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠ° (Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ < 10β»Β³ ΡΠΎΡΡ)
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π½ΠΈΠΆΠ΅ 10Β°C (Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ)
ΠΠ½Π΅ΡΡΠ½Π°Ρ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ° (Π°ΡΠ³ΠΎΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π·ΠΎΡ)
ΠΠ°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ (1-2 Π½ΠΌ AlβOβ ΠΈΠ»ΠΈ SiOβ)-->
ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½Ρ β ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π³ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π±Π΅Π· ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ.
ΠΡΠ°Π²Π΄Π° Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ?
ΠΠ±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎ Π²Π΅ΡΠ½ΠΎ! ΠΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ:
- Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ: Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ < 10 Π½ΠΌ
- Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΡ: ΠΏΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ (Ρ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΡΠΌΠΈ < 100 Π½ΠΌ) ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ Π΄ΠΎ 90% ΡΠ²Π΅ΡΠ°
- ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°: ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΎ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡ ΡΠ²Π΅Ρ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ, Π° ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΎΠΊ
ΠΡΠΎΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π°Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠΏΠ»Π΅Π΅Π².