ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΠΌΡΠΉ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ Si, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΠΌΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π° Π½Π°ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»Π°Π½Π΅ΡΠ΅. ΠΠ°Π½ΠΈΠΌΠ°Ρ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΠΎΠ½ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅ΡΠΎ-ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π±Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Si ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ.
Π ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ Π΄Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ: ΠΎΠ½ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΡΡΡΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΉΡΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅. ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Si ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°ΠΌ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΉ, ΠΆΠ°ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ, Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (ΠΊΠ²Π°ΡΡ), ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΡΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° Π² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΏΠΈΡΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»Π΅ΠΉ.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΠΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Si ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π±ΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΎΡ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
ΠΎΠ½ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ»Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΈ Ρ
ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΡ. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1414 Β°C, Π° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΊΠΈΠΏΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ 3265 Β°C, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ
Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΎΠΊ.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Si ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiOβ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠ΅ 400 Β°C ΠΎΠ½ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΎΠΉ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ. Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΌΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π±ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΌ) Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ, Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡ Π΅ΠΌΡ.
Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°Π½ΡΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π°:
| ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ | ΠΠ½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ | ΠΠ΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ |
|---|---|---|
| ΠΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ | 14 | - |
| ΠΡΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° | 28.0855 | Π°.Π΅.ΠΌ. |
| ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ | 2.33 | Π³/ΡΠΌΒ³ |
| Π£Π΄Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΡ | 0.703 | ΠΠΆ/(Π³Β·K) |
| ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ (ΠΠΎΠ»ΠΈΠ½Π³) | 1.90 | - |
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΈΡΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ. ΠΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠ»Ρ Si ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Π° ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ·Π³ΠΎΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ , ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π²Π·ΡΡΠ²ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅.
ΠΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ°
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Ρ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ
. Π‘ΡΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠΎΠΊΡ, Π΄ΡΠ΅Π²Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ³ΠΎΠ»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΡΠ΅Π²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠΊΠΈ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ
Π²ΡΡΠ΅ 1800 Β°C, Π³Π΄Π΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π». Π Π΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΠΈΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ: SiOβ + 2C β Si + 2CO.
ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΡΠΉ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 98-99%. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠΉ 99.9999999% (ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΉ Β«ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉΒ» ΠΈΠ»ΠΈ Β«ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉΒ» ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ). ΠΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π·ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ.
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΡ
ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΠΈΡ
Π»ΠΎΡΠΎΡΠΈΠ»Π°Π½ SiHClβ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΠ»Π°Π½ SiHβ. ΠΡΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°ΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π½Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΡ
ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½ΡΡ
ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π½Π° ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½ΡΡ
Π½Π°ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π²ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π§ΠΎΡ
ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Ρ, ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ Π½Π° Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΠΏΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ, ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
Π ΠΎΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ
Π ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π³Π»Π°Π²Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ. ΠΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΄Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠΎΡ ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ, Si ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΎΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π΅ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΠΉ.
Π ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ·ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π΅ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠΈΠΌΠ°, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π² Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ . Π‘ΠΏΠ»Π°Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ-ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Ρ) ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ: Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡΡ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ. ΠΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΎΠΊ Π² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π°Π²ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π±Π»ΠΎΠΊΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΎΠ² ΠΈ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ½Π΅ΠΉ.
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ
Π²Π°ΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΡ
ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ
: ΠΎΡ 0.2% Π² Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ
ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ
Π΄ΠΎ 12-13% Π² Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΡ
. ΠΡΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 12.6% Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΊΠ°, Π³Π΄Π΅ ΡΠΏΠ»Π°Π² ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Π½Π°ΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ½ΡΠΈΠ΅ΠΌ.
Π€Π΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΠ΄ (FeSi) β ΡΡΠΎ Π΅ΡΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΠ³ΡΠ½Π°. ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΠ΄Π° Π² ΡΠΈΡ ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ ΡΡΠ³ΡΠ½Π° ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΡΡΠΉΡΠ°ΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠΉ ΡΡΠ³ΡΠ½, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ½ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ² Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΈ.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠ΅
Π‘ΡΠ΅ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ Π±Π΅Π·Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½Π°. ΠΠ½ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΏΠ°ΠΌΡΡΠΈ ΠΈ Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ². Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ p-n ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ, ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΈ (ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ) Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ Π΄ΠΎ 90% ΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ½ΠΊΠ° ΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΠΈΠΊΠΈ. Π Π°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Ρ ΠΠΠ Π΄ΠΎ 22-24% ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ ΠΠΠ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 15-18%. ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅Π»Π»ΡΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΠ°Π΄ΠΌΠΈΡ, Si ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π±Π΅ΡΠΏΡΠΎΠΈΠ³ΡΡΡΠ½ΡΠΌ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠΎΠΌ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π½Π΅ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΡ.
Π ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ
ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² (IGBT) ΠΈ ΡΠΈΡΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΡ
, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΠΎΠ΅Π·Π΄Π°Ρ
ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ
ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΎΡΠ°Ρ
. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ
Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ
Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ
ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ
ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ ΡΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC) ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π»ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ.
ΠΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ. ΠΠ½ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ°Ρ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π°ΠΊΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ ΠΈ Π³ΠΈΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ , ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ Π΅ΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½Π΅. ΠΡΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ (MEMS) ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅.
βοΈ ΠΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠ° ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½
Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiOβ. Π ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠ½ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°, ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ°, Ρ
Π°Π»ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ½Π° ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ
ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΠΎΠ². Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΠ°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½ ΠΈ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΄Ρ.
Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ β ΡΠΎΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ β ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ Π³ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ΄, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π°. Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ΅ΠΉ ΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ. Π ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Π½Π°ΡΡΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠ°Π»ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ»Π΅ΠΈ ΠΈ ΠΎΠ³Π½Π΅Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Ρ.
ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC) β ΡΡΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡ
ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π», ΡΡΡΡΠΏΠ°ΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Ρ ΠΈ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Ρ Π±ΠΎΡΠ°. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ½ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π°Ρ
, ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΡΠ΅ΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ
ΠΏΡΠΈ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ
. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ
ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ³Π°Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ, ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ Ρ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ. ΠΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½Ρ (ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ) ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ, Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, ΠΎΡΡΠ°Π²Π°ΡΡΡ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠΌΠΈ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡ -60 Π΄ΠΎ +250 Β°C. ΠΠ½ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅, ΠΊΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²Π΅.