Π’ ΠΌΠΈΡ€Π΅ мСталловСдСния соСдинСния Π±Π»Π°Π³ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² с ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ часто Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΡƒΠ΄ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, особСнно ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Ρ€Π΅Ρ‡ΡŒ Π·Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π΅ ΠΈ алюминии. На ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ взгляд, это сочСтаниС каТСтся ΠΏΠ°Ρ€Π°Π΄ΠΎΠΊΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ: Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠΉ, ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠΉ, Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ алюминий. Однако ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΡ… взаимодСйствиС Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π² основС критичСски Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ микроэлСктроники ΠΈ bonding-соСдинСний.

Π‘ΠΏΠ»Π°Π² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ алюминия β€” это Π½Π΅ просто мСханичСская смСсь, Π° слоТная систСма интСрмСталличСских соСдинСний. Π­Ρ‚ΠΈ Ρ„Π°Π·Ρ‹ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ физичСскими ΠΈ химичСскими свойствами, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π³ΡƒΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ для микросхСм. ПониманиС повСдСния этой систСмы Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ², Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… с Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ элСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ ΠΌΡ‹ Ρ€Π°Π·Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Π΄ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΡƒ Au-Al, рассмотрим критичСскиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ образования ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΡƒΠ·Π½Π°Π΅ΠΌ, ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ историчСски слоТившаяся ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Β«Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‡ΡƒΠΌΡ‹Β» Π΄ΠΎ сих ΠΏΠΎΡ€ Π°ΠΊΡ‚ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Π°. ΠœΡ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ обсудим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ прСдотвращСния Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΈ соврСмСнныС ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΊ использованию этих сплавов Π² высокотСхнологичных устройствах.

Ѐазовая Π΄ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ° ΠΈ кристалличСская структура

БистСма Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ-алюминий характСризуСтся Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… устойчивых интСрмСталличСских Ρ„Π°Π·, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² строго ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π°Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€. Π“Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊ фазовая Π΄ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ° Au-Al ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ пяти основных соСдинСний: Auβ‚…Alβ‚‚, AuAl, AuAlβ‚‚, Auβ‚„Al ΠΈ AuAl₃. КаТдая ΠΈΠ· этих Ρ„Π°Π· ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ свою ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ ΠΈ спСцифичСскиС мСханичСскиС свойства.

НаибольшСС практичСскоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ„Π°Π·Π° AuAlβ‚‚, которая образуСтся ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π΅ чистого Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° с чистым алюминиСм ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 120-150Β°C. ИмСнно этот ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ Π·Π° Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ часто Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π½Π° мСстах ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ сварки. Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° этой Ρ„Π°Π·Ρ‹ отличаСтся высокой Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ спСцифичСским ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ объСма.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ диффузия Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Π² систСмС происходит Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ. Алюминий, имСя мСньшиС Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Π΅ радиусы, быстрСС ΠΌΠΈΠ³Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΡƒΡŽ ΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΡ†Ρƒ, Ρ‡Π΅ΠΌ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ Π² Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡƒΡŽ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΈ появлСнию пористости Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ называСтся эффСктом ΠšΠΈΡ€ΠΊΠ΅Π½Π΄Π°Π»Π»Π°.

Π€Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ равновСсиС Π² этой систСмС ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΌ колСбаниям. ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ 420Β°C происходит эвтСктичСская рСакция, ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΡƒΡŽ Ρ„Π°Π·Ρƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠΌΠΎΠΌΡƒ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ соСдинСния. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π·Π½Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠ² эксплуатации Au-Al соСдинСния являСтся критичСски Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ для проСктирования элСктроники.

ΠŸΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Β«Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‡ΡƒΠΌΡ‹Β» ΠΈ дСградация ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ²

Π’ микроэлСктроникС явлСниС образования ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ алюминия ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΎ Π·Π»ΠΎΠ²Π΅Ρ‰Π΅Π΅ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ «фиолСтовая Ρ‡ΡƒΠΌΠ°Β» (purple plague). Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π°Π΅Ρ‚ мСсто соСдинСния ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Ρ„Π°Π·Ρ‹ AuAlβ‚‚. Π¦Π²Π΅Ρ‚ обусловлСн особСнностями прСломлСния свСта Π² кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄Π°.

Основная ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π½Π΅ Π² Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π΅, Π° Π² Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ мСханичСской прочности ΠΈ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСктричСского сопротивлСния. Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ AuAlβ‚‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΡ‡Π΅ исходных ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½. Π‘ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ соСдинСниС ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ воздСйствиСм Π²ΠΈΠ±Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ тСрмичСских Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ² Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ.

Помимо мСханичСского Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ, происходит миграция вакансий, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ пустот (ΠΏΠΎΡ€) Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π° Ρ„Π°Π·. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΏΠΎΡ€Ρ‹ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС, вызывая Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ, Π² свою ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, ускоряСт Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΡŽ ΠΈ рост ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ². ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉΡΡ процСсс Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ„Π°Π·Ρ‹ AuAlβ‚‚ происходит Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅, хотя ΠΈ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ. Π’ условиях Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ хранСния ΠΈΠ»ΠΈ эксплуатации Π² ΠΆΠ°Ρ€ΠΊΠΎΠΌ ΠΊΠ»ΠΈΠΌΠ°Ρ‚Π΅ процСсс Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ускоряСтся, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ для Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ эта ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»Π° ΠΊ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·Ρƒ ΠΎΡ‚ использования чисто Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°Ρ… Π² ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ…. Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π²Ρ‹Π½ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½Ρ‹ ΠΈΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ покрытия, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ количСство алюминия, доступного для Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

πŸ“Š Какая ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ наибольшСС бСспокойство Π² Au-Al соСдинСниях?
ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ
Рост элСктричСского сопротивлСния
ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡ€ (эффСкт ΠšΠΈΡ€ΠΊΠ΅Π½Π΄Π°Π»Π»Π°)
ЦвСтовая дСградация

Π’Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΊΠΈΠ½Π΅Ρ‚ΠΈΠΊΠ° Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ образования сплавов Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ алюминия управляСтся Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠΈΠ½Π΅Ρ‚ΠΈΠΊΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ. ЭнСргия Гиббса образования ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΡŽ спонтанной ΠΏΡ€ΠΈ любой Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΆΠ΅ процСсса зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠΈ.

Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ роста слоя ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ² подчиняСтся параболичСскому Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Ρƒ, Π³Π΄Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π° ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΊΠΎΡ€Π½ΡŽ ΠΈΠ· Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… процСсс ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ быстро, Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ β€” замСдляСтся, Π½ΠΎ Π½ΠΈΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ останавливаСтся ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Π£Ρ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ АррСниуса описываСт Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ коэффициСнта Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

ΠšΠΈΠ½Π΅Ρ‚ΠΈΠΊΠ° процСсса услоТняСтся Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Ρ„Π°Π·, растущих ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ роста ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Ρ‹ зависит ΠΎΡ‚ Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π° химичСского ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ подвиТности Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Π² ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ΅. Π€Π°Π·Π° AuAlβ‚‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ растСт быстрСС Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ…, занимая Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°.

ПониманиС этих процСссов позволяСт ΠΏΡ€ΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ срок слуТбы элСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². ЭкспСрты ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ускорСнныС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ тСсты для модСлирования Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ устройств Π² Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условиях. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹ΡΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·Π° Π½Π° этапС проСктирования.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ тСсты ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π½Π΅ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ особСнности локального ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π²Π° Π² микроскопичСских Π·ΠΎΠ½Π°Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°. Для Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·Π° надСТности Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΡ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°, Π° Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ срСдниС значСния Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ соСдинСния ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ

Π’ соврСмСнной ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ прямая ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ° Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΊ алюминию часто замСняСтся Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ тСрмокомпрСссионная сварка ΠΈΠ»ΠΈ использованиС ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Если ΠΆΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ, Ρ‚ΠΎ Π΅Π³ΠΎ наносят Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ слоСм Π½Π° Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ с Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ покрытиями.

Для прСдотвращСния Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ Au-Al часто ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ Π±ΡƒΡ„Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ слои. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ мСньшСй ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΡ… ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ² с алюминиСм ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ физичСский Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€ для Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ. ВСхнология нанСсСния Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… слоСв Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ высокой точности ΠΈ контроля Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹.

ΠŸΡ€ΠΈ нСобходимости ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΈ, содСрТащиС ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ Π²ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‚ Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΡŽ с Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΌ с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΡ… Ρ„Π°Π·. Однако Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² этом случаС Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ строго ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ процСсса, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ плавлСния основы ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… слоСв.

β˜‘οΈ ВрСбования ΠΊ процСссу соСдинСния Au-Al

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ склСивания Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ соСдинСния Π±Π΅Π· высокотСмпСратурного Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°. ИспользованиС conducting epoxies (токопроводящих эпоксидных смол) позволяСт ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… процСссов, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ соСдинСниС происходит ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅.

Бвойства ΠΈ характСристики ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ² Au-Al

Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄Ρ‹ систСмы Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ-алюминий ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ рядом спСцифичСских физичСских свойств, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΡ… ΠΎΡ‚ чистых ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². НиТС ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° основных характСристик Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространСнных Ρ„Π°Π·.

Π€Π°Π·Π° Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Au (Π°Ρ‚.%) Π’Π΅ΠΌΠΏ. плавлСния (Β°C) Π’Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ (HV) ЭлСктричСскоС сопротивлСниС (мкОм·см)
AuAlβ‚‚ ~66.6 ~420 (Ρ€Π°Π·Π».) 140-180 ~15-20
AuAl ~50 ~1030 200-250 ~10-12
Auβ‚…Alβ‚‚ ~71.4 ~550 120-150 ~18-22
Auβ‚„Al ~80 ~960 100-130 ~12-15
AuAl₃ ~25 ~590 90-110 ~25-30

Как Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρ‹, Ρ„Π°Π·Π° AuAlβ‚‚ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ устойчивости ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ высокоС ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС. Π­Ρ‚ΠΈ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ для расчСтов тСпловыдСлСния Π² микросхСмах. Высокая Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ„Π°Π· ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ напряТСния Π² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ тСрмичСском Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΠΈ.

ОсобоС Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ слСдуСт ΡƒΠ΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΌΡƒ коэффициСнту Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ (ВКР). Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ВКР, ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ алюминия. ΠŸΡ€ΠΈ цикличСском Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ ΠΈ ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ это ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ возникновСнию Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… тСрмичСских напряТСний, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹.

ЭлСктричСскиС характСристики ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎ Π² зависимости ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. Π’ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² сопротивлСниС ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° дСсятки ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ нСдопустимо для высокоточной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ прСдотвращСния Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ

Для Π±ΠΎΡ€ΡŒΠ±Ρ‹ с Β«Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‡ΡƒΠΌΠΎΠΉΒ» Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ тСхнологичСскиС ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΡ‹. Одним ΠΈΠ· самых эффСктивных являСтся Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… элСмСнтов Π² Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ. Π›Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ мСдью ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΠ΅ΠΌ замСдляСт Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΡŽ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° Π² алюминий.

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ являСтся использованиС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ нанСсСно Π½Π° слой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Π° мСдь ΡƒΠΆΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ с алюминиСм. Вакая конструкция Β«Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ-мСдь-алюминий» позволяСт ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ прямого ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π° Au ΠΈ Al, хотя Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ контроля качСства слоСв Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Cu-Al.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ примСняСтся тСхнология Β«Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ покрытия с Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€ΠΎΠΌΒ». Π’ этом случаС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΌ ΠΈ алюминиСм наносится Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ слой никСля. НикСль ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΠ΅Ρ‚ с Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄Ρ‹ AuNi, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ устойчивы ΠΊ мСханичСским ΠΈ тСрмичСским Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°ΠΌ, Ρ‡Π΅ΠΌ AuAlβ‚‚.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½ΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π½Π΅ Π΄Π°Π΅Ρ‚ 100% Π³Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΠΈ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π² отвСтствСнных ΡƒΠ·Π»Π°Ρ… ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ комбинация ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ²: Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ слои, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ эксплуатации ΠΈ пСриодичСский ΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ½Π³ сопротивлСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ².

πŸ’‘

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°ΠΌΠΈ всСгда Π·Π°ΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ запас ΠΏΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½Π° 20% Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ расчСтного, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡƒΡΠΊΠΎΡ€Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΡŽ Π² Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°Ρ… Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² спСциализированных областях

НСсмотря Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, соСдинСния Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ алюминия находят ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² спСцифичСских областях. Π’ космичСской элСктроникС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ сплавы, устойчивыС ΠΊ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Π³Π΄Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎ.

Π’ ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… силовых ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ… для Π°Π²ΠΈΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ элСктротранспорта ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ толстыС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹Π΅ покрытия, рассчитанныС Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ стабилизируСт ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚. Π—Π΄Π΅ΡΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π΄ΠΎΠΊΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ„Π°ΠΊΡ‚: ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ слой AuAlβ‚‚ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ, Ρ‡Π΅ΠΌ чистый ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» ΠΏΡ€ΠΈ микросваркС.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ возмоТности использования Π½Π°Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… структур Au-Al Π² качСствС ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π² сСнсорах. Π£Π½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСктронныС свойства интСрфСйса этих ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ пСрспСктивы для создания Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… устройств.

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ ΠΎ Β«Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‡ΡƒΠΌΠ΅Β»

Π’Π΅Ρ€ΠΌΠΈΠ½ появился Π² 1960-Ρ… Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ…, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π² космичСских Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚Π°Ρ… Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΈΡΡŒ массовыС ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·Ρ‹ ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ соСдинСний. Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΡˆΠΎΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹, ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Π² Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π½Π°Π»Π΅Ρ‚ Π½Π° мСстС Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°, ΠΈ Π΄Π°Π»ΠΈ этому явлСнию Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ краснорСчивоС Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅.

Π Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ 3D-микроэлСктроники снова Π²ΠΎΠ·Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ интСрСс ΠΊ систСмС Au-Al. Π£Π»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ слои ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ процСссом Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², прСвращая ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡƒ Π² прСимущСство для создания спСциализированных рСзистивных элСмСнтов.

Π’ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, сплав Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ алюминия β€” это ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ взаимодСйствиС простых элСмСнтов Ρ€ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅Ρ‚ слоТныС Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ³Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹Π·ΠΎΠ²Ρ‹. ПониманиС Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ процСссов, происходящих Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π° этих ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², позволяСт ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°ΠΌ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ устройства.

πŸ’‘

ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ надСТности Au-Al соСдинСний являСтся ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ образования толстых слоСв ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄Π° AuAlβ‚‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· использованиС Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΈ строгий ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° эксплуатации.

Часто Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ вопросы

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ соСдинСниС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ алюминия становится Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ?

Π€ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·-Π·Π° образования интСрмСталличСской Ρ„Π°Π·Ρ‹ AuAlβ‚‚. ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ структура этого соСдинСния ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ спСцифичСскими оптичСскими свойствами, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π»ΠΎΠΌΠ»ΡΡŽΡ‚ свСт ΠΈΠ½Π°Ρ‡Π΅, Ρ‡Π΅ΠΌ чистыС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹, придавая повСрхности Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ.

МоТно Π»ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡ‚ΡŒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΈ алюминий ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ оловянным ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ?

ΠŸΡ€ΡΠΌΠ°Ρ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ° Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈ алюминия ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½Π΅Π½Π° ΠΈΠ·-Π·Π° оксидной ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π½Π° алюминии ΠΈ быстрого образования ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ². ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ трСбуСтся использованиС ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ„Π»ΡŽΡΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ нанСсСниС Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ покрытия Π½Π° алюминий для создания Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π°.

Как Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ Au-Al соСдинСниС ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π±Π΅Π· Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ?

Π‘Ρ€ΠΎΠΊ слуТбы зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ΡŒ дСсятилСтиями. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 150Β°C процСсс Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ ускоряСтся Π² сотни Ρ€Π°Π·, ΠΈ срок слуТбы ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… мСсяцСв ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ нСдСль Π² зависимости ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ слоСв.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ эффСкт ΠšΠΈΡ€ΠΊΠ΅Π½Π΄Π°Π»Π»Π° Π² контСкстС Au-Al?

Π­Ρ‚ΠΎ явлСниС, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² алюминия Π² Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° Π² алюминий. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π° Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚ пустоты (ΠΏΠΎΡ€Ρ‹), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ соСдинСния.

МоТно Π»ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Au-Al соСдинСниС?

К соТалСнию, Π½Π΅Ρ‚. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ΄ΠΎΠ² β€” это Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠΌΡ‹ΠΉ химичСский процСсс, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ структуру ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ЕдинствСнный способ восстановлСния β€” мСханичСскоС ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ΅ соСдинСниС с использованиСм Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ.