ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠΎΡΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅, ΡΡΡΡΠΏΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ, ΠΈ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅. ΠΠ³ΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π»Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ Π°Π»Π»ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ. ΠΠ»Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°-ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³Π° ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π²ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ².
Π ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ +4, Ρ ΠΎΡΡ Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ +2. ΠΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ²ΡΠ·Ρ Π² ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠΌ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠΎΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
ΠΠ·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Ρ Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ
ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΡΠ΅, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ²ΡΠ·Ρ Si-F ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ. Π‘ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½Π°ΠΌΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ Π»ΠΎΡ, Π±ΡΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΉΠΎΠ΄, ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠ·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΎΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Ρ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΡΠ΅ 400Β°C Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ, Π½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiO2). ΠΡΠΎΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ, Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Ρ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΎΡ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π²ΡΡΠ΅ 1000Β°C ΠΎΠ½ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π°, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π°ΠΊ. Π’Π΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΅ΠΌΡ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄Ρ, Π½ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΡΡΡ ΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΠΈΡΠΊ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ ΠΌΠ°Π»Π΅ΠΉΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ. ΠΡΠ΅Π³Π΄Π° Ρ ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π² ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠ΅.
Π Π΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ
Π‘ΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Π½ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ . Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°Π½Ρ (Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ) ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ·ΠΎΠΌ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠ΅ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°.
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ 1000-1100Β°C ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (Si3N4). ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΉ ΠΊ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ².
ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π²Π»Π°Π³ΠΈ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ. Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ², Π½ΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π½Π΅ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π°Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ.
Π Π°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ°Ρ ΠΈ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ°Ρ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡΡ ΠΊ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ, ΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΡΡ, Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡ ΠΊΠΈΠΏΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Π° ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π»Π΅ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π³Π΅ΠΊΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΡΠΈ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ (NaOH, KOH) ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π±ΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡΠΉ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΈ Π³Π°Π·. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Π°ΠΌ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΎΡΠΈΡΡΠΈΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΡ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΊΠ·ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π²Ρ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ. Π Π°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ°Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½, Π³Π΄Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ
ΠΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΈΠ· ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ . ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΡΡΠ³ΡΠ½ΠΎΠ², ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ΄Π°Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ»Π°ΠΊΠ°.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°ΡΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎ, ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π΅. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ΄Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Ρ Π΅Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΎΡΡΡ.
ΠΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ Π΅Π΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ²Π°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ. ΠΠ΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°. ΠΡΠΈΠ±ΠΊΠΈ Π² ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π±ΡΠ°ΠΊΡ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°.
βοΈ ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΡ
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΡ Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΡΡ ΡΡΠ°Π»Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΠ·Π³ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΈΠ·-Π·Π° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΠΌ. ΠΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΊΡΠ°Π½Ρ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΡ.
Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠ»Π°ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Π°ΠΌΠΈ, Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΡΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΡΡΡΡ, ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½Π° ΠΈ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π² ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ , ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎ 1700Β°C.
Π Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ, ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΡΠΈΠΌ Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠΌ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΡ ΠΏΡΠΈ Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠ΄Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ. Π‘ΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Al-Si, ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Ρ, ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² Π°Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Π² ΡΠΎΡΠΌΠ°Ρ .
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ. ΠΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Π½Π°ΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ½ΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠΈΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ°ΠΏ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ.
| Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ | Π‘ΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ | Π‘ΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π½.Ρ. | ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ |
|---|---|---|---|
| SiO2 | +4 | Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ΅ (ΠΊΠ²Π°ΡΡ) | Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ |
| SiC | +4 | Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ΅ (ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄) | ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ |
| Si3N4 | +4 | Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ΅ (ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ°) | Π’Π΅ΡΠΌΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ |
| SiH4 | +4 | ΠΠ°Π· | Π‘Π°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡΡ |
| SiCl4 | +4 | ΠΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡ | ΠΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ· Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ |
Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ
ΠΡΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1414Β°C, ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠ³Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΈΠ³Π»ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½ΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π² ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ΅.
Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π»ΠΈΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π»ΠΈΠΊΠ²Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ°ΡΠ²Π΅ΡΠ΄Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠΈΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΠ°ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ. Π€Π»ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΈΡ Π²ΡΠ±ΠΎΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°. ΠΠ΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡ ΡΠ»ΡΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΎΠΊ.
ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Ρ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΠΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ, ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡΡΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ. Π₯ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π² Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΉΠ½Π΅ΡΠ°Ρ Ρ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΡΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΌΡ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ»ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠ΅Π³ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ». ΠΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ²Π΅ΡΡΠΉΡΠ΅ΡΡ Ρ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ Π°ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ Π²Π°ΡΠ΅ΠΉ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°.
ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ β Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΡΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡΠΌ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΡΡΠ°Π»Ρ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΠΉ.
ΠΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ
Π₯ΠΎΡΡ ΡΠ°ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ, Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠ»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΡΡ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π²Π΄ΡΡ Π°Π½ΠΈΠΈ. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ· β ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π°Π±ΠΎΠ»Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠ΅, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠ΅Π΅ Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΡΡΡΠΈΡ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ»ΡΡ Π±Π΅Π· ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΏΠΈΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ ΠΏΠΎΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² Π»Π΅Π³ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ ΠΈ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΠ±ΡΠΎΠ·Π°.
ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Ρ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΈΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Ρ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ. ΠΠ³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠΆΠΎΠ³ΠΈ Π΄ΡΡ Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ Π³Π»Π°Π·. ΠΠ΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π° Π½Π° ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π²ΡΠ±ΡΠΎΡΠΎΠ².
Π£ΡΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ», ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½Ρ, Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ β ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΠ°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ²Ρ ΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΡΠΌ.
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄ΠΈΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ±Π΅Π΄ΠΈΡΠ΅ΡΡ Π² ΠΈΡΠΏΡΠ°Π²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠ»Π΅ΡΠ»Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠΎΠ².
ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΡ
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ°Π½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΠΌΠΈΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΡΠΎ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ².
Π ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Π² ΡΡΡΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ Π³Π°Π·ΠΎΡΡΡΠ±ΠΈΠ½Π½ΡΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. Π’Π΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , Π³Π΄Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΡΠΆΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π²ΡΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π°ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΠΈ.
Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°. Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΡΠ»Π΅ΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΄ΠΎ Π΄ΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΠ΅Π· ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ΅?
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ Π² ΡΡΠ΄Ρ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π»Π΅Π²Π΅Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΈ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² H+ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½Π° Π΄Π»Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°, ΠΏΡΠ΅ΠΏΡΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ°Ρ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΡ.
ΠΠ°ΠΊ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π½Π° ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ?
ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΈΠ΄Π΅Ρ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠ΅ 400Β°C ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° SiO2, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ (Π²ΡΡΠ΅ 1000Β°C) ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ, ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½Π°Ρ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ°.
Π§Π΅ΠΌ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ?
ΠΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ (ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ HF) ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ Ρ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ Π°ΠΌΡΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡΡ Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ.
ΠΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Ρ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ?
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌnia (Π΄ΠΎ 12-14% ΠΈ Π²ΡΡΠ΅) Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π² Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ (ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π°Ρ ), Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ°Π»ΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠΈ. Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π½ΠΎ ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΡΠΏΠ»Π°Π².