Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² физичСскиС свойства ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°

Олово прСдставляСт собой ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт, ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π² соврСмСнной элСктронной ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΡƒΡ€Π³ΠΈΠΈ. Π•Π³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ· Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ состояния Π² ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… условиях Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π² основС ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… тСхнологичСских процСссов, ΠΎΡ‚ создания Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π΄ΠΎ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ микросхСм. ПониманиС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ происходит испарСниС ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°, критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ², Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ тСрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ.

МногиС ΠΎΡˆΠΈΠ±ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ исчСзаСт ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ…, Π½ΠΎ это Π·Π°Π±Π»ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π’ Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° плавлСния этого ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° составляСт всСго 231,9 Β°C, для Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ„Π°Π·Ρƒ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокиС энСргСтичСскиС Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹. ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ здСсь являСтся Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ давлСния ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ опрСдСляСт Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ вСщСства.

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° кипСния ΠΈ испарСния ΠΏΡ€ΠΈ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ

ΠŸΡ€ΠΈ атмосфСрном Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ (760 ΠΌΠΌ Ρ€Ρ‚. ст.) ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ интСнсивно ΠΊΠΈΠΏΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅, Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ 2602 Β°C. ИмСнно эта Ρ†ΠΈΡ„Ρ€Π° считаСтся ΠΎΡ„ΠΈΡ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ кипСния Π² справочниках ΠΏΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡŽ. Однако Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΈΠΏΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ испарСниС: ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ процСсс происходит ΠΏΠΎ всСму ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΡƒ Тидкости, Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ β€” прСимущСствСнно с повСрхности ΠΏΡ€ΠΈ Π»ΡŽΠ±Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ нуля.

Для достиТСния Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ давлСния ΠΏΠ°Ρ€Π°, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ для ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ нанСсСния ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ, ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… ΠΊ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅ кипСния. Π’ условиях ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ нагрСватСлями Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‡ΡŒ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° слоТно ΠΈΠ·-Π·Π° быстрого окислСния расплава Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ процСсс тСрмичСского испарСния ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ всСгда проводится Π² ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ срСдС.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 1000 Β°C ΠΏΠ°Ρ€Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ сущСствСнно Π²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ атмосфСру. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ использования ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов, способных Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ агрСссивноС воздСйствиС ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π±Π΅Π· Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ.

ВлияниС Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° Π½Π° Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ условий происходит ΠΏΡ€ΠΈ сниТСнии давлСния Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅. Π’ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° испарСния ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ процСссы напылСния ΠΏΡ€ΠΈ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ щадящих Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ…. ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π² 10⁻⁴ Па ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΡƒΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1100–1200 Β°C.

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ физичСский Ρ„Π΅Π½ΠΎΠΌΠ΅Π½ позволяСт ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ простыС источники Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ„Ρ€Π°ΠΌΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΈΠ³Π»ΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ плавятся ΠΏΡ€ΠΈ этих Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ…, Π½ΠΎ эффСктивно ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΡΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π». Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ испарСния ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹: Π΄Π°ΠΆΠ΅ нСбольшоС ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° Π½Π° 50–100 градусов ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² Π² нСсколько Ρ€Π°Π·.

Π’ условиях Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° процСсс двиТСния Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΎΡ‚ источника ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ происходит практичСски Π±Π΅Π· столкновСний с ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Π°ΠΌΠΈ Π³Π°Π·Π°. Π­Ρ‚ΠΎ обСспСчиваСт Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ нанСсСния ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ производствС оптичСских ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… устройств.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с высокими Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°ΠΌΠΈ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ примСси Π² исходном ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ…, загрязняя Ρ†Π΅Π»Π΅Π²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅. ВсСгда ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» высокой чистоты (Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 99,9%).

Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ напылСния

НаиболСС распространСнным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ использования испарСния ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° являСтся Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π’ этом процСссС ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ помСщаСтся Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΈΠ³Π΅Π»ΡŒ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ нагрСваСтся Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ испарСния. ΠŸΠ°Ρ€Ρ‹ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΎΡΠ΅Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° дСталях, создавая Ρ‚ΠΎΠ½Ρ‡Π°ΠΉΡˆΠΈΠΉ слой. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ покрытия Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ‚ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π΄ΠΎ дСсятков ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ².

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ контроля ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ². Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ испарСния Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ успСвали ΠΎΡΠ΅Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅, Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Π»ΠΈ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ. Для этого часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ элСктронно-Π»ΡƒΡ‡Π΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ локально Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€, ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… 2000 Β°C, Π½Π΅ пСрСгрСвая вСсь объСм тигля.

ОсобоС Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ удСляСтся Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Ρƒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° тигля. Π’Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈ Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ„Ρ€Π°ΠΌΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π΅ΠΉΠ½Π΅Ρ€Ρ‹ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ устойчивы ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°. ИспользованиС нСподходящих сплавов ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Π·Π°Π³Ρ€ΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ покрытия примСсями ΠΈ сниТСнию Π΅Π³ΠΎ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… свойств.

πŸ“Š Какой ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ напылСния Π²Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅?
Π’Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ΅ тСрмичСскоС
Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎ-Π»ΡƒΡ‡Π΅Π²ΠΎΠ΅
ΠœΠ°Π³Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅
Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ΅

Π‘Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ характСристики ΠΈ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅

Для наглядности сравним основныС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ характСристики ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… условиях. ПониманиС Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Ρ‹ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ плавлСния ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ кипСния ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ошибок ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ оборудования.

ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π—Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π•Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ измСрСния
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° плавлСния 231,9 Β°C
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° кипСния (атмосфСрноС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅) 2602 Β°C
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° интСнсивного испарСния (10⁻⁴ Па) ~1150 Β°C
ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π° ΠΏΡ€ΠΈ 2600 Β°C ~10⁻³ ΠΊΠ³/ΠΌΒ³
⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ справочными. Π Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ значСния ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² зависимости ΠΎΡ‚ чистоты ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΈ точности ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ оборудования. Π’ Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… условиях Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ отклонСния Π΄ΠΎ 50 градусов.
ВлияниС ΠΈΠ·ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠΎΠ² Π½Π° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ испарСния

Π˜Π·ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ½Ρ‹ΠΉ состав ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° практичСски Π½Π΅ влияСт Π½Π° Π΅Π³ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ испарСния, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ химичСскиС свойства ΠΈΠ·ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠΎΠ² ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹. Различия Π² массС ядра ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° кинСтичСскиС характСристики, Π½ΠΎ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±Π°Ρ… этим ΠΏΡ€Π΅Π½Π΅Π±Ρ€Π΅Π³Π°ΡŽΡ‚.

ОкислСниС ΠΈ взаимодСйствиС с ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСдой

Одна ΠΈΠ· Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ высокотСмпСратурной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° β€” это Π΅Π³ΠΎ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ взаимодСйствиС с кислородом. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 500 Β°C Π½Π° повСрхности расплава быстро образуСтся оксидная ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°, которая ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ свободному ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€Π΅Π½ΠΈΡŽ. Π’ условиях отсутствия Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ просто сгорит, ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²ΡˆΠΈΡΡŒ Π² диоксид ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°.

ИмСнно поэтому процСсс испарСния Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±Π°Ρ… всСгда сопряТСн с созданиСм ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΠΉ атмосфСры ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ°. ИспользованиС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Π³Π°Π·ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π·ΠΎΡ‚, позволяСт ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ окислСния, Π½ΠΎ Π½Π΅ устраняСт Π΅Ρ‘ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ ΡΠΊΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ….

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ оксиды ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΈΠ½Ρ‹Π΅ физичСскиС свойства, Ρ‡Π΅ΠΌ чистый ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π». Они ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° стСнках ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ напылСния, образуя ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ слои, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡƒΡ…ΡƒΠ΄ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄ ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ привСсти ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΌΠΊΠ΅ оборудования.

β˜‘οΈ ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌ

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° испарСния ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ 10⁻⁡ Па составляСт ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ 1000 Β°C, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ΅ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ кипСния ΠΏΡ€ΠΈ атмосфСрном Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ являСтся Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ для всСх Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, связанных с созданиСм Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ. Π˜Π³Π½ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ этого ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ нСэффСктивному использованию энСргии ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡ€Ρ‡Π΅ оборудования.

ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ²

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ процСсса Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с испарСниСм ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов. Для получСния ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия трСбуСтся ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ источника Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ всСго Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π°. КолСбания Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° приводят ΠΊ измСнСнию плотности ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΏΠ°Ρ€Π° ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ слСдствиС, ΠΊ Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ слоя.

РСкомСндуСтся ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ систСмы автоматичСского контроля с ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ связью, основанныС Π½Π° показаниях ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ². Π ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠ΅ Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ обСспСчиваСт достаточной точности для соврСмСнных Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ микроэлСктроники. Установку Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

НС Π·Π°Π±Ρ‹Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΏΡ€ΠΎ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. ΠŸΠ°Ρ€Ρ‹ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ токсичны ΠΏΡ€ΠΈ Π²Π΄Ρ‹Ρ…Π°Π½ΠΈΠΈ Π² Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… концСнтрациях, хотя сам ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» считаСтся ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ бСзопасным. Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ Π²Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… вытяТных ΡˆΠΊΠ°Ρ„Π°Ρ….

πŸ’‘

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎΠΌ напылСния всСгда ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅ тСстовый ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ для удалСния остаточных Π³Π°Π·ΠΎΠ² ΠΈ Π²Π»Π°Π³ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ образования ΠΏΠΎΡ€ Π² ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΈ.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ВсСгда свСряйтС спСцификации ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ оборудования с Π°ΠΊΡ‚ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ условиями эксплуатации. ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… насосов ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π² зависимости ΠΎΡ‚ производитСля ΠΈ Π³ΠΎΠ΄Π° выпуска ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° испарСния ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° β€” это динамичСская характСристика, зависящая ΠΎΡ‚ давлСния ΠΈ чистоты ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. ПониманиС Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ процСсса позволяСт эффСктивно ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ этот ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» Π² самых ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… отраслях Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ. ΠžΡ‚ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° зависит качСство ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ покрытия ΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅Ρ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ издСлия.

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ процСсс с высокой Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, минимизируя риски Π±Ρ€Π°ΠΊΠ°. Однако Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ знания ΠΎ свойствах ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ для ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ любого спСциалиста Π² области Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ матСриаловСдСния.

πŸ’‘

Основной ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с испарСниСм ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° β€” это баланс ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΈ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ°, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² Π±Π΅Π· окислСния.

Часто Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ вопросы

МоТно Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ Π² атмосфСрС Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π°?

НСт, ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ Π² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ быстро окисляСтся, образуя Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹ΠΉ оксид, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ прСпятствуСт ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€Π΅Π½ΠΈΡŽ чистого ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΠΉ атмосфСры.

Какая минимальная Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π½ΡƒΠΆΠ½Π° для испарСния ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅?

Π’ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ (10⁻⁡ Па) Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ испарСниС начинаСтся ΡƒΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ 800–900 Β°C, Π½ΠΎ для ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ скорости напылСния ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ 1100–1200 Β°C.

ВлияСт Π»ΠΈ чистота ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° Π½Π° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ кипСния?

Чистота влияСт Π½Π° ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса ΠΈ состав ΠΏΠ°Ρ€Π°. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ кипСния ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌΠΈ, Π° Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠ΅ β€” ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² Ρ‚ΠΈΠ³Π»Π΅, Π½ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° кипСния самого ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° мСняСтся Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ.

КакиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ подходят для Ρ‚ΠΈΠ³Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°?

НаиболСС подходят Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ„Ρ€Π°ΠΌ, Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π» ΠΈ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½. Π“Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ, Π½ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π·Π°Π³Ρ€ΡΠ·Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ….