ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ мСсто Π² соврСмСнной индустрии, являясь основой для производства ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° элСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π’Ρ‹ навСрняка ΡΠ»Ρ‹ΡˆΠ°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‡ΠΈΠΏΡ‹ вашСго смартфона ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ процСссора сдСланы ΠΈΠ· этого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Π½ΠΎ Π·Π°Π΄ΡƒΠΌΡ‹Π²Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π»ΠΈ Π²Ρ‹, ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ½, Π° Π½Π΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ элСмСнт Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρ‹ МСндСлССва? ΠžΡ‚Π²Π΅Ρ‚ кроСтся Π² ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ структурС Π΅Π³ΠΎ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΈ способности ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ элСктронов.

Π’ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ этот элСмСнт встрСчаСтся повсСмСстно, составляя ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 27% Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Ρ‹, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π² чистом Π²ΠΈΠ΄Π΅ для элСктроники ΠΎΠ½ добываСтся с нСвСроятной ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Π‘Π΅Π· понимания Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, являСтся Π»ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎ своСй ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅, Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρƒ всСй соврСмСнной Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ†ΠΈΠ²ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π”Π°Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ Ρ€Π°Π·Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΡƒ процСсса ΠΈ Ρ‚ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ пСсок Π² Β«ΠΌΠΎΠ·Π³Β» Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ ΡƒΠ·ΠΊΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠ½ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°Π³Π»ΡΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ Π² ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠΊΡƒ. Π’ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅Π»Π΅ элСктроны Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ, ΠΎΠ½ΠΈ распрСдСлСны ΠΏΠΎ энСргСтичСским Π·ΠΎΠ½Π°ΠΌ. Π£ крСмния валСнтная Π·ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π°, Π° Π·ΠΎΠ½Π° проводимости пуста, Π½ΠΎ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ β€” запрСщСнная Π·ΠΎΠ½Π° β€” составляСт всСго 1,12 эВ. ИмСнно эта Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΊΠ°Π½Π΄ΠΈΠ΄Π°Ρ‚ΠΎΠΌ.

Если Π±Ρ‹ этот Π·Π°Π·ΠΎΡ€ Π±Ρ‹Π» слишком ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Ρƒ диэлСктриков, Ρ‚ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π» Π±Ρ‹ Π½ΠΈΠΊΠΎΠ³Π΄Π°. Блишком ΡƒΠ·ΠΊΠΈΠΉ Π·Π°Π·ΠΎΡ€, ΠΊΠ°ΠΊ Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², сдСлал Π±Ρ‹ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» бСсполСзным для управлСния Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ. Благодаря срСднСй ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, внСшниС Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Β«ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚ΡŒΒ» состояниС крСмния.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ элСктронов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅Ρ‚ достаточно Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ энСргии, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΡ€Ρ‹Π³Π½ΡƒΡ‚ΡŒ Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости, создавая Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ свойство ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ². Π’Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ этот эффСкт, Ссли ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚Π΅ экспСримСнт с рСзистором ΠΈΠ· чистого кристалла ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (собствСнный ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ) ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высоким ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм. Для практичСского примСнСния Π² элСктроникС Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ всСгда ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚. Чистый кристалличСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ являСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ, Π½ΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ увСличиваСтся Π½Π° порядки послС процСсса лСгирования.

πŸ“Š Π‘Ρ‡ΠΈΡ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅ Π»ΠΈ Π²Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ останСтся Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· 20 Π»Π΅Ρ‚?
Π”Π°, бСзусловно
Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, появятся Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Ρ‹ (GaN, SiC)
НСт, ΡƒΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ Π² ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡŽ
НС знаю

ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ лСгирования: созданиС p-n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°

Магия начинаСтся, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π² ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ крСмния вводят примСси. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс называСтся Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Если Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ пятой Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, фосфор), Ρƒ Π½ΠΈΡ… появляСтся лишний элСктрон, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π΅ участвуСт Π² связях. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» становится n-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° (negative), Π³Π΄Π΅ основными носитСлями заряда ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ элСктроны.

Напротив, Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΠ΅ΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ (Π±ΠΎΡ€, Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ) создаСт Β«Π΄Ρ‹Ρ€ΠΊΠΈΒ» β€” мСста, Π³Π΄Π΅ Π½Π΅ Ρ…Π²Π°Ρ‚Π°Π΅Ρ‚ элСктрона для образования связи. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ p-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° (positive), Π³Π΄Π΅ Ρ‚ΠΎΠΊ пСрСносится Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ этих Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ. Π‘ΠΎΡ‡Π΅Ρ‚Π°Π½ΠΈΠ΅ этих Π΄Π²ΡƒΡ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² создаСт Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρƒ, ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡƒΠ΅ΠΌΡƒΡŽ p-n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

ИмСнно Π½Π° этом ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ происходит выпрямлСниС Ρ‚ΠΎΠΊΠ°: Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ элСктроны проходят свободно, Π² Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ β€” ΡΡ‚Π°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ с энСргСтичСским Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ базовая Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Π° для создания Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², транзисторов ΠΈ тиристоров. Π‘Π΅Π· возмоТности Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎ Π½Π°ΡΡ‚Ρ€Π°ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ примСсСй микропроцСссоры Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π±Ρ‹ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ примСсСй Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ строгого контроля Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. МалСйшая ошибка ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ структура кристалла Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ свойства станут нСпрСдсказуСмыми. Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ для Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ внСдрСния Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Π² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ.

β˜‘οΈ ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства ΠΏΡ€ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4
Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ ΠΎ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ

Π”ΠΎ 1950-Ρ… Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ индустриСй ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ» Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ. Однако ΠΎΠ½ ΠΈΠΌΠ΅Π» критичСский нСдостаток: ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 70-80 градусов ЦСльсия Π΅Π³ΠΎ свойства мСнялись, ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ пСрСставал Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π½Π° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ» ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ устройства, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π΄ΠΎ 150-200 градусов, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΡƒΡ‚ΡŒ для ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΠΉ силовой элСктроники.

Π‘Ρ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ

Π₯отя ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚, ΠΎΠ½ Π½Π΅ СдинствСнный ΠΈΠ³Ρ€ΠΎΠΊ Π½Π° Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅. Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ Π±Ρ‹Π» ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π² транзисторах. Π£ Π½Π΅Π³ΠΎ запрСщСнная Π·ΠΎΠ½Π° ΡƒΠΆΠ΅ (0,67 эВ), Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π΅ΠΌΡƒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… напряТСниях, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ чувствитСлСн ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. Π’ соврСмСнных схСмах Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎ, Π² основном Π² спСцифичСских оптичСских ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ….

Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния (SiC) ΠΈ арсСнид галлия (GaAs) Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ ниши, Π³Π΄Π΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ «слабССт». Π£ ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄Π° крСмния ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π² Ρ‚Ρ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π° большС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π΅ΠΌΡƒ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ напряТСния ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° высоких частотах. Π­Ρ‚ΠΎ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ для элСктромобилСй ΠΈ ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ½Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ².

Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, для Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ памяти ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ остаСтся ΠΊΠΎΡ€ΠΎΠ»Π΅ΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ связано Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ с Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎΠΉ, Π½ΠΎ ΠΈ с экономикой. ПСсок (оксид крСмния) доступСн Π² ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… количСствах, Π° тСхнология выращивания монокристаллов ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π° Π΄ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²Π°. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния Π² кристаллС Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 300 ΠΌΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ° экономичСски нСцСлСсообразно.

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ (эВ) Макс. рабочая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° (Β°C) ОсновноС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) 1.12 150 ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠΎΡ€Ρ‹, ΠΏΠ°ΠΌΡΡ‚ΡŒ, Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠ°
Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ (Ge) 0.67 75 ΠžΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ°, инфракрасныС Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ
ΠšΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния (SiC) 3.26 600+ Биловая элСктроника, ЗарядныС станции
АрсСнид галлия (GaAs) 1.42 200 РадиочастотныС ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΠΈ, Π»Π°Π·Π΅Ρ€Ρ‹

Роль диоксида крСмния Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ MOSFET

Одним ΠΈΠ· Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹Ρ… прСимущСств крСмния являСтся Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΅Π³ΠΎ оксид (SiOβ‚‚) являСтся ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ изолятором ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ формируСтся Π½Π° повСрхности кристалла. Π’ структурС ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ транзистора (MOSFET) ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ слой диоксида крСмния ΠΏΠΎΠ΄ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΠΎΠΌ позволяСт ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠΌ проводимости с ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ потСрями.

ΠŸΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ±ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ: Π½Π° повСрхности крСмния вырастаСт слой изолятора Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² нСсколько Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ². Π§Π΅Ρ€Π΅Π· этот слой ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ элСктричСскоС ΠΏΠΎΠ»Π΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ притягиваСт элСктроны ΠΊ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Ρƒ, открывая транзистор. Если Π±Ρ‹ Π²Ρ‹ использовали Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ, Π±Π΅Π·Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ изоляционный слой Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π±Ρ‹ практичСски Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ.

Π­Ρ‚ΠΎ свойство тСрмичСской оксидации стало ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ развития ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм. ВСхнология КМОП (CMOS), Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ построСны всС соврСмСнныС процСссоры, опираСтся ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° это взаимодСйствиС крСмния ΠΈ Π΅Π³ΠΎ оксида. Π‘Π΅Π· Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ транзисторов Π±Ρ‹Π»Π° Π±Ρ‹ Π² сотни Ρ€Π°Π· Π½ΠΈΠΆΠ΅.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ тСхпроцСсса (ΠΎΡ‚ 90 Π½ΠΌ ΠΊ 5 Π½ΠΌ) слой диоксида становится Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронов. Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΡˆΠ»ΠΎΡΡŒ ΠΈΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с высокой диэлСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (high-k), Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ чистый SiOβ‚‚ Π² самых Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоях.

πŸ’‘

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡ‚Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ статичСский элСктричСский разряд ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ микроскопичСскиС p-n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹. ВсСгда ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ антистатичСскиС браслСты ΠΈ ΠΊΠΎΠ²Ρ€ΠΈΠΊΠΈ.

ВлияниС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ примСсСй Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ

ПовСдСниС крСмния ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСняСтся ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅. Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², Ρ‡ΡŒΠ΅ сопротивлСниС растСт с Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ, ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС крСмния ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚. Π­Ρ‚ΠΎ происходит ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ тСпловая энСргия Π²Ρ‹Π±ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ всС большС элСктронов ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости.

Если Π²Ρ‹ ΠΏΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅ΡΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈ ΡΠΊΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π±Π΅Π· охлаТдСния, ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ Π² состояниС Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ пробоя. Π’ этот ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ ΠΎΠ½ тСряСт свои Π²Ρ‹ΠΏΡ€ΡΠΌΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ свойства ΠΈ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ сСбя ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ часто ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ катастрофичСскому Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΈΠ· строя всСй схСмы.

Для ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π² цСпях Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт. Π’ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ элСктроникС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ схСмы компСнсации, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ усилитСлСй Π½Π΅ Β«ΠΏΠ»Π°Π²Π°Π»ΠΈΒ» Π² ΠΆΠ°Ρ€Ρƒ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄. Π­Ρ‚ΠΎ слоТная инТСнСрная Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π°, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ понимания Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ силовых Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² питания ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ рассчитывайтС Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… транзисторах. ΠŸΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° (ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ 150Β°C) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠΌΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ.

Π‘ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ элСктроники ΠΈ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Ρ‹

Π—Π°ΠΊΠΎΠ½ ΠœΡƒΡ€Π°, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π²ΡˆΠΈΠΉ ΡƒΠ΄Π²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ количСства транзисторов ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹Π΅ Π΄Π²Π° Π³ΠΎΠ΄Π°, приблиТаСтся ΠΊ физичСскому ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρƒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… структур. Когда ΠΊΠ°Π½Π°Π» транзистора становится мСньшС Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ элСктрона, Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ эффСкты, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ устройства.

Однако это Π½Π΅ ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ† эры крСмния. Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ пСрСходят ΠΊ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Π°Ρ€Ρ…ΠΈΡ‚Π΅ΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π΅ (FinFET, GAAFET), упаковывая транзисторы Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Π° Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° для ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ β€” ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… свСтом, Π° Π½Π΅ элСктричСством.

Π₯отя Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ ΠΈ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ»ΡŽΡ†ΠΈΡŽ, ΠΈΡ… массовоС производство для логичСских схСм ΠΏΠΎΠΊΠ° остаСтся слоТной Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ. ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, благодаря своСй ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ дСшСвизнС, останСтся Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ элСктроники Π΅Ρ‰Π΅ Π½Π° дСсятилСтия. Π“ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ систСмы, Π³Π΄Π΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ сочСтаСтся с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, станут стандартом.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: НС ΠΏΡƒΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ тСхничСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (чистотой 99%) ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ. Для производства Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ² трСбуСтся свСрхчистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (99.9999999% ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅), ΠΈΠ½Π°Ρ‡Π΅ примСси станут ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΡƒΠ±ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρƒ микросхСмы.

ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ аспСкты Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ элСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² для Π²Π°ΡˆΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π° элСктричСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹, Π½ΠΎ ΠΈ Π½Π° условия эксплуатации. Π’ ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… источниках питания Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ IGBT ΠΈΠ»ΠΈ силовыС MOSFET с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ сопротивлСниСм ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°. Для высокочастотных схСм ΠΈΡ‰ΠΈΡ‚Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ Π½Π° арсСнидС галлия.

Если Π²Ρ‹ собираСтС схСму Π½Π° ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅, ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€. ΠŸΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ Π²ΠΎΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ сСрии микросхСм ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с коммСрчСскими. НС ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΡŒΡ‚Π΅ Π½Π° ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ, Ссли расчСтная ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ пуста высока.

Для ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΠΏΠ°ΡΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡΡ‚Π°Π½Ρ†ΠΈΡŽ с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π² ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ кристалл Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ корпуса, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Ссли внСшнС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ выглядит Ρ†Π΅Π»Ρ‹ΠΌ. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄ Π½Π° Π½ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ… ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Если Π²Ρ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅ с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π±Π»ΠΎΠΊΠ°ΠΌΠΈ питания, ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡ‚Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π°ΠΆΠ΅ послС ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡ‚ сСти, кондСнсаторы ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡ‚ΡŒ заряд, опасный для ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ. ВсСгда ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ разрядныС рСзисторы.
πŸ’‘

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ являСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ благодаря своСй кристалличСской структурС ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ внСшниС поля.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ гСрмания для Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ?

Π“Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ прСимущСство крСмния β€” Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ запрСщСнная Π·ΠΎΠ½Π° (1.12 эВ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ² 0.67 эВ Ρƒ гСрмания). Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°ΠΌ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… (Π΄ΠΎ 150-200Β°C) Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ свойств. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π° повСрхности крСмния Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ образуСтся качСствСнный ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ слой диоксида крСмния (SiOβ‚‚), Ρ‡Ρ‚ΠΎ критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ MOS-транзисторов.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ «собствСнная ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΒ» крСмния?

Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎ чистого кристалла крСмния Π±Π΅Π· добавлСния примСсСй. Она Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Π·Π° счСт Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ возбуТдСния элСктронов: ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ элСктроны ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости, оставляя послС сСбя Β«Π΄Ρ‹Ρ€ΠΊΠΈΒ». ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ эта ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΌΠ°Π»Π°.

Как происходит процСсс лСгирования?

Π›Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ β€” это процСсс добавлСния Π² чистый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… количСств примСсСй (Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΊΡ†Π΅ΠΏΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²). Если Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ фосфор (5 элСктронов Π½Π° ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅), образуСтся n-Ρ‚ΠΈΠΏ с ΠΈΠ·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΊΠΎΠΌ элСктронов. Если Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π±ΠΎΡ€ (3 элСктрона), образуСтся p-Ρ‚ΠΈΠΏ с ΠΈΠ·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΊΠΎΠΌ Β«Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊΒ». Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс контролируСтся с Π²Ρ‹ΡΠΎΡ‡Π°ΠΉΡˆΠ΅ΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π°Ρ….

МоТно Π»ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ ΠΈΠ· ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ пСска?

ВСорСтичСски Π΄Π°, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ пСсок β€” это диоксид крСмния. Однако процСсс очистки пСска Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ чистоты (99.9999999%) ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ слоТСн ΠΈ энСргозатратСн. Π‘Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° ΠΈΠ· пСска ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ мСталлургичСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ химичСски ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎ трихлорсилана, ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌ Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· Π½Π΅Π³ΠΎ монокристаллы Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ… ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ.