ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΡ Π½Π°Π²Π΅ΡΠ½ΡΠΊΠ° ΡΠ»ΡΡΠ°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠΈΠΏΡ Π²Π°ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ° ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π½Ρ ΠΈΠ· ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, Π½ΠΎ Π·Π°Π΄ΡΠΌΡΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π»ΠΈ Π²Ρ, ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ½, Π° Π½Π΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π°? ΠΡΠ²Π΅Ρ ΠΊΡΠΎΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ Π΅Π³ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
Π ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 27% Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΠ±ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Ρ Π½Π΅Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΠ΅Π· ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅, Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΠΈΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ²ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ°Π²Π°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΈ ΡΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ Π² Β«ΠΌΠΎΠ·Π³Β» ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΡΠ·ΠΊΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°Π³Π»ΡΠ½ΡΡΡ Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠΊΡ. Π ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ ΠΏΠΎ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π·ΠΎΠ½Π°ΠΌ. Π£ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π°, Π° Π·ΠΎΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΡΡΠ°, Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½ΠΈΠΌΠΈ β Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° β ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 1,12 ΡΠ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠ° Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠ°Π½Π΄ΠΈΠ΄Π°ΡΠΎΠΌ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π±Ρ ΡΡΠΎΡ Π·Π°Π·ΠΎΡ Π±ΡΠ» ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Ρ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠΎ ΡΠΎΠΊ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π» Π±Ρ Π½ΠΈΠΊΠΎΠ³Π΄Π°. Π‘Π»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ·ΠΊΠΈΠΉ Π·Π°Π·ΠΎΡ, ΠΊΠ°ΠΊ Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π» Π±Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π±Π΅ΡΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Β«ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΒ» ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΏΡΡΠ³Π½ΡΡΡ Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ Π½Π΅Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅Ρ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΡΠ΅ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠΎΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅ΡΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ Ρ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ) ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΡΡΡ. Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ, Π½ΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ: ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ p-n ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°
ΠΠ°Π³ΠΈΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π²Π²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ. ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΡΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΡΠΎΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΎΡΡΠΎΡ), Ρ Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π΅ ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π² ΡΠ²ΡΠ·ΡΡ . Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ n-ΡΠΈΠΏΠ° (negative), Π³Π΄Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ.
ΠΠ°ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ², Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ (Π±ΠΎΡ, Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ) ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ Β«Π΄ΡΡΠΊΠΈΒ» β ΠΌΠ΅ΡΡΠ°, Π³Π΄Π΅ Π½Π΅ Ρ Π²Π°ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ p-ΡΠΈΠΏΠ° (positive), Π³Π΄Π΅ ΡΠΎΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΠΈΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ. Π‘ΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΡ Π΄Π²ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ, ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ p-n ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.
ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΊΠ°: Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎ, Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ β ΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠΌ. ΠΡΠΎ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΈΡΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ΅Π· Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎ Π½Π°ΡΡΡΠ°ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ Π±ΡΠ»ΠΈ Π±Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ. ΠΠ°Π»Π΅ΠΉΡΠ°Ρ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π½ΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ. ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ.
βοΈ ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊΡ ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ
ΠΠΎ 1950-Ρ Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ» Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΎΠ½ ΠΈΠΌΠ΅Π» ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊ: ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠ΅ 70-80 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ² Π¦Π΅Π»ΡΡΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΠΈΡΡ, ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°Π²Π°Π» ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ» ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎ 150-200 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ², ΡΡΠΎ ΠΎΡΠΊΡΡΠ»ΠΎ ΠΏΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ.
Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ
Π₯ΠΎΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΠ΅Ρ, ΠΎΠ½ Π½Π΅ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΈΠ³ΡΠΎΠΊ Π½Π° ΡΡΠ½ΠΊΠ΅. ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ Π±ΡΠ» ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ Π² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ . Π£ Π½Π΅Π³ΠΎ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° ΡΠΆΠ΅ (0,67 ΡΠ), ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΅ΠΌΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ , Π½ΠΎ ΠΎΠ½ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Π΅Π½ ΠΊ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅. Π ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ, Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°Ρ .
Π‘ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC) ΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ (GaAs) Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ Π½ΠΈΡΠΈ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Β«ΡΠ»Π°Π±Π΅Π΅ΡΒ». Π£ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π² ΡΡΠΈ ΡΠ°Π·Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΅ΠΌΡ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ . ΠΡΠΎ Π²ΡΠ±ΠΎΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ².
Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, Π΄Π»Ρ Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ°ΠΌΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΠ»Π΅ΠΌ. ΠΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎΠΉ, Π½ΠΎ ΠΈ Ρ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΠΊΠΎΠΉ. ΠΠ΅ΡΠΎΠΊ (ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ) Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ΅Π½ Π² ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ , Π° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π° Π΄ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²Π°. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 300 ΠΌΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ° ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎ.
| ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» | Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (ΡΠ) | ΠΠ°ΠΊΡ. ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° (Β°C) | ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ |
|---|---|---|---|
| ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) | 1.12 | 150 | ΠΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ, ΠΏΠ°ΠΌΡΡΡ, Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠ° |
| ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ (Ge) | 0.67 | 75 | ΠΠΏΡΠΈΠΊΠ°, ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΈ |
| ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiC) | 3.26 | 600+ | Π‘ΠΈΠ»ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°, ΠΠ°ΡΡΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΡΠΈΠΈ |
| ΠΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ (GaAs) | 1.42 | 200 | Π Π°Π΄ΠΈΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈ, Π»Π°Π·Π΅ΡΡ |
Π ΠΎΠ»Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ MOSFET
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π³Π»Π°Π²Π½ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎ, ΡΡΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ (SiOβ) ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. Π ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° (MOSFET) ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠΌΠΈ.
ΠΠΎΠΏΡΠΎΠ±ΡΠΉΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ: Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π²ΡΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠ° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². Π§Π΅ΡΠ΅Π· ΡΡΠΎΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΊ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Ρ, ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ. ΠΡΠ»ΠΈ Π±Ρ Π²Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΉ, Π±Π΅Π·Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π±ΡΠ»ΠΎ Π±Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ.
ΠΡΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°ΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΠΠΠ (CMOS), Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½Ρ Π²ΡΠ΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ, ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° ΡΡΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°. ΠΠ΅Π· Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π±ΡΠ»Π° Π±Ρ Π² ΡΠΎΡΠ½ΠΈ ΡΠ°Π· Π½ΠΈΠΆΠ΅.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° (ΠΎΡ 90 Π½ΠΌ ΠΊ 5 Π½ΠΌ) ΡΠ»ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ, ΡΡΠΎ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ². ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°ΠΌ ΠΏΡΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΈΡΠΊΠ°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ (high-k), ΡΡΠΎΠ±Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ SiOβ Π² ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΡ .
ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ p-n ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Ρ. ΠΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π±ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΡΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠ²ΡΠΈΠΊΠΈ.
ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ
ΠΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅. Π ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², ΡΡΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ, ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π²ΡΠ±ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΠΏΠΎΠΏΡΡΠ°Π΅ΡΠ΅ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ ΠΏΡΠΈ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π±Π΅Π· ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΠΎΠΉΡΠΈ Π² ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΡ. Π ΡΡΠΎΡ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΎΠ½ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ Π²Π΅Π΄Π΅Ρ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΡΡΡΠΎΡ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΡΡ Π΅ΠΌΡ.
ΠΠ»Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π² ΡΠ΅ΠΏΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ. Π Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡ Π΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π½Π΅ Β«ΠΏΠ»Π°Π²Π°Π»ΠΈΒ» Π² ΠΆΠ°ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄. ΠΡΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π°Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ½Π°Ρ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ°, ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΠ°Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ . ΠΡΠ΅Π²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° (ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ 150Β°C) Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΌΠΎ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ.
ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΡ
ΠΠ°ΠΊΠΎΠ½ ΠΡΡΠ°, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π²ΡΠΈΠΉ ΡΠ΄Π²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠ΅ Π΄Π²Π° Π³ΠΎΠ΄Π°, ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ. ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°Π½Π°Π» ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°, Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΊΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊ ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΡ ΠΈΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠ΅ (FinFET, GAAFET), ΡΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΡΠ²Π°Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ, Π° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ β ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ, Π° Π½Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ.
Π₯ΠΎΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΠ±ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π²ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ, ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π»Ρ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡ Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ° ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΠΈΠ·Π½Π΅, ΠΎΡΡΠ°Π½Π΅ΡΡΡ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π΅ΡΠ΅ Π½Π° Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΡ. ΠΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΡΡΠ°Π½ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠ΅ ΠΏΡΡΠ°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (ΡΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠΉ 99%) ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ. ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (99.9999999% ΠΈ Π²ΡΡΠ΅), ΠΈΠ½Π°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΡΡΠ°Π½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°Π·ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ, ΡΠ±ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ.
ΠΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ²
ΠΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π²Π°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ, Π½ΠΎ ΠΈ Π½Π° ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. Π ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ Π»ΡΡΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ IGBT ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΅ MOSFET Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°. ΠΠ»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈΡΠΈΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ Π½Π° Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΡΠΎΠ±ΠΈΡΠ°Π΅ΡΠ΅ ΡΡ Π΅ΠΌΡ Π½Π° ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅, ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΠΉΡΠ΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ. ΠΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π²ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ. ΠΠ΅ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΡΡΠ΅ Π½Π° ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΡΡΠ° Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°.
ΠΠ»Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΡΠΈΡ Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅Π΄ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ°, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π΅ΡΠ»ΠΈ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΡΠΌ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡΠ²ΠΎΠ΄ Π½Π° Π½ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ
ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ
Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅ΡΠ΅ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π±Π»ΠΎΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΡΠ΅, ΡΡΠΎ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ΅ΡΠΈ, ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ Π·Π°ΡΡΠ΄, ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ. ΠΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Ρ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π»ΡΡΡΠ΅ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ?
ΠΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠ°Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° (1.12 ΡΠ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ² 0.67 ΡΠ Ρ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ). ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°ΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ (Π΄ΠΎ 150-200Β°C) Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ². ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiOβ), ΡΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ MOS-ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ².
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ Β«ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΒ» ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ?
ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π±Π΅Π· Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ½Π° Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ²: ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅Π±Ρ Β«Π΄ΡΡΠΊΠΈΒ». ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ°Π»Π°.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ?
ΠΠ΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ β ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ (Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ²). ΠΡΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡ (5 ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ΅), ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ n-ΡΠΈΠΏ Ρ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ². ΠΡΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡΡ Π±ΠΎΡ (3 ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°), ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ p-ΡΠΈΠΏ Ρ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΊΠΎΠΌ Β«Π΄ΡΡΠΎΠΊΒ». ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΡΠ°ΠΉΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΡ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ°Ρ .
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ ΠΈΠ· ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ°?
Π’Π΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π°, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ β ΡΡΠΎ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ (99.9999999%) ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ ΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠ·Π°ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½. Π‘Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΈΠ· ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎ ΡΡΠΈΡ Π»ΠΎΡΡΠΈΠ»Π°Π½Π°, ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΠΌ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ· Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ.