Π’ основС всСй соврСмСнной Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ†ΠΈΠ²ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ ΡƒΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт пСриодичСской Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ составляСт ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 28% Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Ρ‹. Π’Ρ‹ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π°-Π½ΠΈΠ±ΡƒΠ΄ΡŒ Π·Π°Π΄ΡƒΠΌΡ‹Π²Π°Π»ΠΈΡΡŒ, ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ этот ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» стал Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ для процСссоров, памяти ΠΈ микросхСм, Π° Π½Π΅ Π΅Π³ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒΡ? ΠžΡ‚Π²Π΅Ρ‚ кроСтся Π² ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ сочСтании физичСских свойств, доступности ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ ΠΈ тСхнологичСской зрСлости процСссов Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ.

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π°ΡΡŒ с гСрмания, Π½ΠΎ со Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ индустрия ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΠ»Π° Ρ€Π΅ΡˆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π½Π° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π±Ρ‹Π»ΠΎ обусловлСно Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ экономичСскими Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ отличиями Π² кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅. ПониманиС этих нюансов критичСски Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для любого ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°, Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.

ЀизичСскиС свойства ΠΈ тСмпСратурная ΡƒΡΡ‚ΠΎΠΉΡ‡ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒ

Π“Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ прСимущСством крСмния ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ являСтся Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ высокиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… характСристик. Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Ρƒ крСмния составляСт 1,12 эВ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ гСрмания (0,66 эВ). Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°ΠΌ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π΄ΠΎ 150Β°C ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ устройства Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‚ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ ΡƒΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ 70-80Β°C.

Π’Π°ΠΌ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ собствСнныС носитСли заряда. Π§Π΅ΠΌ ΡˆΠΈΡ€Π΅ запрСщСнная Π·ΠΎΠ½Π°, Ρ‚Π΅ΠΌ слоТнСС элСктронам ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΉΡ‚ΠΈ ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π² Π·ΠΎΠ½Ρƒ проводимости. Благодаря этому свойству, схСмы Π½Π° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‚ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ климатичСских условий, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎ для Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ элСктроники.

Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π² ΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄Π΅ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»Π° ΠΎΡ‚ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… Π·ΠΎΠ½ микросхСм. Высокая Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° позволяСт эффСктивно Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ, Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΠΌΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ транзисторов, прСдотвращая ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π² ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ кристалла.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ крСмния Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ с ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΈΠ½Π°Ρ‡Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ цикличСском Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ ΠΈ ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΡƒΡ‚ мСханичСскиС напряТСния, Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΊ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ Ρ‡ΠΈΠΏΠ°.

Уникальная Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ диоксида крСмния

Π‘Π°ΠΌΡ‹ΠΌ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠ²ΡˆΠΈΠΌ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ крСмния, являСтся ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ высококачСствСнный оксид ΠΏΡ€ΠΈ окислСнии. Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ гСрмания, Ρ‡Π΅ΠΉ оксид растворяСтся Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΈΠ΅ диэлСктричСскиС свойства, SiOβ‚‚ (диоксид крСмния) являСтся ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ изолятором с высокой диэлСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ СстСствСнный оксидный слой выполняСт мноТСство Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΉ: ΠΎΠ½ слуТит маской ΠΏΡ€ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, пассивируСт ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ кристалла, прСдотвращая Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΡŽ носитСлСй заряда Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π°, ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ изолятор Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π° Π² ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Ρ… транзисторах. Π‘Π΅Π· этой особСнности созданиС соврСмСнных МОП-транзисторов (MOSFET) Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π±Ρ‹ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΡ‹ тСрмичСского окислСния ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ оксидный слой с Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ контроля Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ соврСмСнной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм. Если Π²Ρ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅ с ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ пластинами, Π²Ρ‹ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡΡ‚ΠΎΠ»ΠΊΠ½Π΅Ρ‚Π΅ΡΡŒ с Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ создания качСствСнных оксидных ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ.

πŸ“Š Какой ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» считаСтся основой соврСмСнной микроэлСктроники?
Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ
ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ
АрсСнид галлия
Π£Π³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ (Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½)

Π”ΠΎΡΡ‚ΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ ΠΈ экономичСская ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ

НСльзя ΠΈΠ³Π½ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ экономичСский аспСкт вопроса. ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ являСтся Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎ распространСнности элСмСнтом Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Π΅ послС кислорода. Π•Π³ΠΎ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· пСска (ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π°), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ практичСски бСсконСчСн. Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ², встрСчаСтся Π² ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎ ΠΈ часто являСтся ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠΌ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡ΠΈ Ρ†ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

Низкая ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ исходного ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ позволяСт ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ пластины ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² (300 ΠΌΠΌ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ 450 ΠΌΠΌ Π² пСрспСктивС) с ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ влияСт Π½Π° ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ транзистора, дСлая ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡƒΡŽ элСктронику доступной массовому ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŽ. Π’Ρ‹ Π½Π΅ Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅Ρ‚Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ дСшСвого ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° с сопоставимыми свойствами.

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ очистки крСмния Π΄ΠΎ уровня ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ качСства (99,9999999% ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅) ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ производство Π½Π° глобальном ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅. Π˜Π½Ρ„Ρ€Π°ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с этим ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ ΡƒΠΆΠ΅ создана ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ.

Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ кристалличСского роста ΠΈ лСгирования

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ выращивания монокристаллов крСмния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Ρ‹ с идСальной структурой Π±Π΅Π· Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ кристаллы Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Ρ€Π°ΡΠΏΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ пластины, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ основой для создания микросхСм. ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… пластин Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ пластин ΠΈΠ· Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΡ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±Π°Ρ….

Π›Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ крСмния происходит ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ прСдсказуСмо. Вводя примСси Π±ΠΎΡ€Π°, фосфора ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΡ‹ΡˆΡŒΡΠΊΠ°, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΈΠΏ проводимости (p-Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΈΠ»ΠΈ n-Ρ‚ΠΈΠΏΠ°) ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ носитСлСй заряда. Π“Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° проникновСния Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ примСсСй Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ рСгулируСтся Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ процСсса, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ слоТныС многослойныС структуры.

  • πŸ”Ή Π›Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ создаСт Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ (p-Ρ‚ΠΈΠΏ).
  • πŸ”Ή Π”ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ фосфора обСспСчиваСт ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ (n-Ρ‚ΠΈΠΏ).
  • πŸ”Ή Высокая чистота кристалла Π³Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡Π΅ΠΊ.
  • πŸ”Ή ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ лСгирования позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ p-n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ.
πŸ’‘

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ пластинами всСгда ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ края пластин ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ острыС ΠΈ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΠ΅, Π° ΠΏΡ‹Π»ΡŒ ΠΎΡ‚ Π½ΠΈΡ… ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π²Ρ€Π΅Π΄Π½ΠΎΠΉ для Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΡ….

Π‘Ρ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ

Π₯отя ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π² Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ энСргСтикС, ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, прСвосходящиС Π΅Π³ΠΎ Π² спСцифичСских Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π°Ρ…. НапримСр, арсСнид галлия (GaAs) ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ высокой ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ элСктронов, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ для высокочастотных устройств ΠΈ оптоэлСктроники. Однако Π΅Π³ΠΎ слоТно ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡ‚ΡŒ, Π° ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ производства Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° Π½ΠΈΠΆΠ΅ дСмонстрируСт ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹Π΅ различия ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ основными ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ:

ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ (Ge) АрсСнид галлия (GaAs)
Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ (эВ) 1,12 0,66 1,42
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ (макс. Β°C) 150-200 70-85 175-200
ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ оксида ΠžΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ΅ (SiOβ‚‚) ΠŸΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠ΅ (растворим) ΠžΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΠ΅Ρ‚ (Π½ΡƒΠΆΠ½Π° Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄)
Π‘Ρ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ низкая Высокая Высокая
ΠŸΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктронов БрСдняя Высокая ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ высокая

Π‘ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π΅ развития ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ элСктроники

НСсмотря Π½Π° Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΡ‹ подошли ΠΊ физичСским ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°ΠΌ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… транзисторов (Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ ΠœΡƒΡ€Π° замСдляСтся), ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» всС Π΅Ρ‰Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π». ИспользованиС ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-Π½Π°-изоляторС (SOI) Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ гСтСроструктур позволяСт ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ энСргопотрСблСниС.

Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² с ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ. НапримСр, Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ крСмния Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅ транзистора ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ носитСлСй заряда, Π½Π΅ тСряя прСимущСств ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ оксида. Π­Ρ‚ΠΎ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄Π»Π΅Π²Π°Π΅Ρ‚ Тизнь Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π° дСсятилСтия.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ полная Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Π° крСмния маловСроятна Π² ΠΎΠ±ΠΎΠ·Ρ€ΠΈΠΌΠΎΠΌ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ. Π”Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… схСмах ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ часто остаСтся Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΉ для управлСния ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° β€” это Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π³Π΄Π΅ свСт замСняСт элСктричСскиС сигналы Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ Ρ‡ΠΈΠΏΠ°, Π½ΠΎ Π±Π°Π·Π° остаСтся ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ½Π΅ΠΉ.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ ΠœΡƒΡ€Π° ΠΈ ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΎΠ½ замСдляСтся?

Π—Π°ΠΊΠΎΠ½ ΠœΡƒΡ€Π° прСдсказывал ΡƒΠ΄Π²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ количСства транзисторов Π½Π° Ρ‡ΠΈΠΏΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹Π΅ 18-24 мСсяца. ЀизичСскиС ограничСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ², ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ эффСкты туннСлирования ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΠΈΠ»ΠΈ этот рост, заставляя ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π°Ρ€Ρ…ΠΈΡ‚Π΅ΠΊΡ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Π° Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€.

ВСхнологичСскиС Π²Ρ‹Π·ΠΎΠ²Ρ‹ ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‹

БоврСмСнная литография достигла наноскопичСских ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±ΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ эффСкты Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ транзисторов. Π’ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронов Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ оксидныС слои Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°. Для Π±ΠΎΡ€ΡŒΠ±Ρ‹ с этим ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ структуры, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ FinFET ΠΈ GAAFET (транзисторы с Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΠΎΠΌ-ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ), Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π» ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΠΎΠΌ со всСх сторон.

Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² этих условиях ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ остаСтся основным ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ. ΠΠ»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Ρ‹, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ ΠΈΠ»ΠΈ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π±Π°Π·Ρƒ для массового производства. Π˜Π½Π²Π΅ΡΡ‚ΠΈΡ†ΠΈΠΈ Π² инфраструктуру ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΡΡ‡ΠΈΡΠ»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Ρ€ΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π»Π°Ρ€ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π½Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ.

β˜‘οΈ ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹Π΅ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° крСмния

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 5
πŸ’‘

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ благодаря ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΡΠΎΡ‡Π΅Ρ‚Π°Π½ΠΈΡŽ доступности, способности Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ оксид ΠΈ высокой тСрмичСской ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ для массового производства.

ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΠΈ

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ элСктронных устройств Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ крСмния диктуСтся трСбованиями ΠΊ надСТности ΠΈ стоимости. Если Π²Π°ΠΌ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ энСргоэффСктивный ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π»Π΅Ρ€ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹ΠΉ силовой ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ. Π•Π³ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ прСдсказуСмы, Π° ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ для симуляции Π² CAD-систСмах (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, SPICE) максимально Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹.

Однако Π² спСцифичСских Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π°Ρ…, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ созданиС Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ свСрхвысокочастотных усилитСлСй для спутниковой связи, ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹. Но Π΄Π°ΠΆΠ΅ Ρ‚Π°ΠΌ часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ гибридная схСма: крСмниСвая ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° с ΡΠΏΠΈΡ‚Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ слоСм Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π²ΡƒΡŽ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ для управлСния слоТными оптичСскими ΠΈΠ»ΠΈ Π‘Π’Π§-процСссами.

  • πŸ”Έ Биловая элСктроника: IGBT ΠΈ MOSFET Π½Π° основС крСмния.
  • πŸ”Έ ΠœΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ устройства: ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠΎΡ€Ρ‹ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ.
  • πŸ”Έ БолнСчная энСргСтика: Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚Π°ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ элСмСнты.
  • πŸ”Έ Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ: MEMS-аксСлСромСтры ΠΈ гироскопы.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ строго ΡΠΎΠ±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ тСрмичСскиС ΡƒΠ΄Π°Ρ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ привСсти ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½ Π² кристаллС, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ проявятся Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· врСмя.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°Ρ…

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ крСмния для элСктроники β€” это Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ ΡΠ²ΠΎΠ»ΡŽΡ†ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ экономики Π·Π° послСдниС 70 Π»Π΅Ρ‚. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°ΠΉΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π° Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, обусловлСнная Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠ΅ΠΉ. ПониманиС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ этот ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» стал стандартом, ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°ΠΌ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ систСмы ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ устройств Π² ΡΠΊΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условиях.

Π₯отя Π½Π°ΡƒΠΊΠ° двиТСтся Π²ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ свойствами, ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ останСтся Β«Ρ…Ρ€Π΅Π±Ρ‚ΠΎΠΌΒ» Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ эпохи Π΅Ρ‰Π΅ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ. Π•Π³ΠΎ ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, дСшСвизна ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ процСссы ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΡŒ для Π»ΡŽΠ±Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡƒΡ€Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².

Π’ Ρ‡Π΅ΠΌ Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ монокристалличСским ΠΈ поликристалличСским ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ?

ΠœΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡƒΡŽ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ ΠΏΠΎ всСму ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ обСспСчиваСт Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ носитСлСй заряда. ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ состоит ΠΈΠ· мноТСства ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ… Π·Π΅Ρ€Π΅Π½, Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρ‹ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ элСктроны, сниТая ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ дСшСвлС Π² производствС.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² соврСмСнных процСссорах?

Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ слишком ΡƒΠ·ΠΊΡƒΡŽ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ½Ρƒ, ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π² Π½Π΅ΠΌ гСнСрируСтся ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ собствСнных носитСлСй заряда. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°ΠΌ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π²Ρƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ созданиС ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм с высокой ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

ΠœΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π»ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π² качСствС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°?

Π’ чистом Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎΠΌ Π½ΡƒΠ»Π΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ являСтся диэлСктриком. Однако ΠΏΡ€ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π΅ ΠΎΠ½ становится ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ. НамСрСнноС Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ большого количСства примСсСй ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ проводящим, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ Π½ΠΈΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Π²Ρ€ΠΎΠ΄Π΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ алюминия.

Π’ Ρ‡Π΅ΠΌ прСимущСство SOI (Silicon On Insulator) Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ?

ВСхнология SOI ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ слой диэлСктрика ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ слоСм. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ транзистор ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ сниТаСт ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Смкости ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ, позволяя Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высоких частотах ΠΏΡ€ΠΈ мСньшСм энСргопотрСблСнии.

КакиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΉ кристалл?

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π΄ΠΎ 150-175Β°C. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 200Β°C собствСнныС носитСли заряда Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‚ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ примСсями, ΠΈ транзистор пСрСстаСт Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ управляСмоС устройство.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ дСшСвлС гСрмания?

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ являСтся Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ самым распространСнным элСмСнтом Π½Π° Π—Π΅ΠΌΠ»Π΅, добываСтся ΠΈΠ· ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ пСска. Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ встрСчаСтся Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎ, часто ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Ρ†ΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ€ΡƒΠ΄, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Ρƒ ΠΈ очистку Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈΠΌΠΈ процСссами.