Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ²ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΡΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 28% Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡ. ΠΡ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π°-Π½ΠΈΠ±ΡΠ΄Ρ Π·Π°Π΄ΡΠΌΡΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ, ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΡΠ°Π» ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΏΠ°ΠΌΡΡΠΈ ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, Π° Π½Π΅ Π΅Π³ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ±ΡΠ°ΡΡΡ? ΠΡΠ²Π΅Ρ ΠΊΡΠΎΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ², Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π·ΡΠ΅Π»ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ.
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π°ΡΠ°Π»Π°ΡΡ Ρ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ, Π½ΠΎ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΡ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈΠ»Π° ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. ΠΡΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΡΠΌΠΈ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅. ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΡ Π½ΡΠ°Π½ΡΠΎΠ² ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π»ΡΠ±ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°, Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ
ΠΠ»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ. Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 1,12 ΡΠ, ΡΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Ρ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ (0,66 ΡΠ). ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°ΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎ 150Β°C ΠΈ Π²ΡΡΠ΅, ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ 70-80Β°C.
ΠΠ°ΠΌ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΡΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°. Π§Π΅ΠΌ ΡΠΈΡΠ΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π°, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉΡΠΈ ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Ρ, ΡΡ Π΅ΠΌΡ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΊΠ»ΠΈΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ.
Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»Π° ΠΎΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π² ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΈΠ½Π°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠΈΠΊΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΈ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠ°.
Π£Π½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ»Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π‘Π°ΠΌΡΠΌ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠ²ΡΠΈΠΌ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ. Π ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ, ΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡ ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, SiOβ (Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ) ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ.
ΠΡΠΎΡ Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ: ΠΎΠ½ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π°, ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ° Π² ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ . ΠΠ΅Π· ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΠΠ-ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² (MOSFET) Π±ΡΠ»ΠΎ Π±Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ Π·Π°ΡΡΡΠ΄Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ. ΠΡΠΎ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ
ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΡ
Π΅ΠΌ. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅ΡΠ΅ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ, Π²Ρ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½Π΅ΡΠ΅ΡΡ Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ
ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ
ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ.
ΠΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ
ΠΠ΅Π»ΡΠ·Ρ ΠΈΠ³Π½ΠΎΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ°. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠΎΡΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠ³ΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ° (ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π±Π΅ΡΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ΅Π½. ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½, Π½Π°ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ², Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠΌ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² (300 ΠΌΠΌ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ 450 ΠΌΠΌ Π² ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅) Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π·Π°ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΡΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°, Π΄Π΅Π»Π°Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΡ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΈΡΠ΅Π»Ρ. ΠΡ Π½Π΅ Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Ρ ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ.
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π΄ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° (99,9999999% ΠΈ Π²ΡΡΠ΅) ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ Π½Π° Π³Π»ΠΎΠ±Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅. ΠΠ½ΡΡΠ°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ ΡΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π° ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΡ Ρ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ Π±Π΅Π· Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. ΠΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΡΠΎ ΡΠΏΡΠΎΡΠ°Π΅Ρ ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π°Ρ .
ΠΠ΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΠΎ. ΠΠ²ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π±ΠΎΡΠ°, ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ°, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠΏ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ (p-ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈΠ»ΠΈ n-ΡΠΈΠΏΠ°) ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°. ΠΠ»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ ΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ.
- πΉ ΠΠ΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ Π΄ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ (p-ΡΠΈΠΏ).
- πΉ ΠΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ° ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ (n-ΡΠΈΠΏ).
- πΉ ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΡΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ ΡΡΠ΅ΡΠ΅ΠΊ.
- πΉ ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ p-n ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Ρ Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ.
ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠΉΡΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΠΊΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡΠ°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΡΡΡΠ΅ ΠΈ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠ΅, Π° ΠΏΡΠ»Ρ ΠΎΡ Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΡ .
Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ
Π₯ΠΎΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΠ΅Ρ Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠ΅, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ°Ρ . ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ (GaAs) ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡΡ, Π° ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° Π½ΠΈΠΆΠ΅ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ:
| ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ | ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) | ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ (Ge) | ΠΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ (GaAs) |
|---|---|---|---|
| Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (ΡΠ) | 1,12 | 0,66 | 1,42 |
| Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ (ΠΌΠ°ΠΊΡ. Β°C) | 150-200 | 70-85 | 175-200 |
| ΠΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° | ΠΡΠ»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ (SiOβ) | ΠΠ»ΠΎΡ ΠΎΠ΅ (ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌ) | ΠΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ (Π½ΡΠΆΠ½Π° Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄) |
| Π‘ΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΡΡΡ | ΠΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ |
| ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² | Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ | ΠΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ | ΠΡΠ΅Π½Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ |
ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΌΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΡΠ»ΠΈ ΠΊ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°ΠΌ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² (Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ ΠΡΡΠ° Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΡΠ΅ΡΡΡ), ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π²ΡΠ΅ Π΅ΡΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π». ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-Π½Π°-ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠ΅ (SOI) ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°, Π½Π΅ ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°. ΠΡΠΎ Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄Π»Π΅Π²Π°Π΅Ρ ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π° Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΡ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½Π°Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½Π° Π² ΠΎΠ±ΠΎΠ·ΡΠΈΠΌΠΎΠΌ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠ°ΠΆΠ΅ Π² ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° β ΡΡΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π³Π΄Π΅ ΡΠ²Π΅Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Ρ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΡΠΈΠΏΠ°, Π½ΠΎ Π±Π°Π·Π° ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ½Π΅ΠΉ.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ ΠΡΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ½ Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΡΠ΅ΡΡΡ?
ΠΠ°ΠΊΠΎΠ½ ΠΡΡΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π» ΡΠ΄Π²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΡΠΈΠΏΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠ΅ 18-24 ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ°. Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ², ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΡ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠΎΡ ΡΠΎΡΡ, Π·Π°ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈΡΠΊΠ°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π°ΡΡ ΠΈΡΠ΅ΠΊΡΡΡΡ, Π° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π²ΡΠ·ΠΎΠ²Ρ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π»Π° Π½Π°Π½ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±ΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². Π’ΡΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠ»Ρ Π±ΠΎΡΡΠ±Ρ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ FinFET ΠΈ GAAFET (ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ Ρ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ-ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ), Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π» ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ΅Π½ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½.
Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ. ΠΠ»ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°ΡΠΈΠ²Ρ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π³ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΠ±ΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ Π±Π°Π·Ρ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. ΠΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΈ Π² ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΡΡΠΈΡΠ»ΡΡΡΡΡ ΡΡΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ², ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π½Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ Π·Π°ΡΡΡΠ΄Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ.
βοΈ ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΠ΅Ρ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°.
ΠΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΈΠΈ
ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠ»ΠΈ Π²Π°ΠΌ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Π»Π΅Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠΎΠΌ. ΠΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΡ, Π° ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠΌΡΠ»ΡΡΠΈΠΈ Π² CAD-ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ
(Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, SPICE) ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠ½Ρ.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ°Ρ , ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ, ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ. ΠΠΎ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄Π½Π°Ρ ΡΡ Π΅ΠΌΠ°: ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Ρ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΎΡΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π‘ΠΠ§-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ.
- πΈ Π‘ΠΈΠ»ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°: IGBT ΠΈ MOSFET Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
- πΈ ΠΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°: ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ.
- πΈ Π‘ΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠ°: Π€ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ.
- πΈ ΠΠ°ΡΡΠΈΠΊΠΈ: MEMS-Π°ΠΊΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΈ Π³ΠΈΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΡ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΡΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΄Π°ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π²ΡΠ΅ΠΌΡ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΡΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ
ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ β ΡΡΠΎ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΠΊΠΈ Π·Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ 70 Π»Π΅Ρ. ΠΡΠΎ Π½Π΅ ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎΡΡΡ, Π° Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠ΅ΠΉ. ΠΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΡΠ°Π» ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ°ΠΌ Π»ΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Π² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ .
Π₯ΠΎΡΡ Π½Π°ΡΠΊΠ° Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π½Π΅ΡΡΡ Β«Ρ ΡΠ΅Π±ΡΠΎΠΌΒ» ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡ ΠΈ Π΅ΡΠ΅ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ. ΠΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ, Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΠΈΠ·Π½Π° ΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π±Π°ΡΡΠ΅Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅ΡΡ Π΄Π»Ρ Π»ΡΠ±ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ².
Π ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ?
ΠΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°. ΠΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ Π·Π΅ΡΠ΅Π½, Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²Π»Π΅ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ°Ρ ?
ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ·ΠΊΡΡ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π² Π½Π΅ΠΌ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΊΠ°ΠΌ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΡΠ΅Π²Ρ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ.
ΠΠΎΠΆΠ΅Ρ Π»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°?
Π ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΈ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ Π½ΡΠ»Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΎΠΌ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΎΠ½ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ. ΠΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΌ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ Π½ΠΈΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π²ΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ.
Π ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ SOI (Silicon On Insulator) ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ?
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ SOI ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΏΠ°ΡΠ°Π·ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠΊΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π½Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ.
ΠΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»?
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎ 150-175Β°C. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π²ΡΡΠ΅ 200Β°C ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π°Π΄ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΌΠΈ, ΠΈ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ.
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²Π»Π΅ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ?
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠΎΡΡΠΌ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π½Π° ΠΠ΅ΠΌΠ»Π΅, Π΄ΠΎΠ±ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ· ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ°. ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ, ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ΄, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΡ ΠΈ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ.